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[发明专利]榫槽面密封结构及半导体容器-CN202311027388.X在审
发明人：毛克华;杨敏;袁磊 -专利权人：江苏南大光电材料股份有限公司;南大光电半导体材料有限公司
申请日： 2023-08-15 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： F17C13/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种榫槽面密封结构及半导体容器。榫槽面密封结构包括：第一连接机构、第二连接机构和密封机构，第一连接机构上设置有至少一第一槽状结构，第二连接机构上设置有至少一第一凸起结构，密封机构设置在第一槽状结构内，当第一连接机构与第二连接机构结合时，至少第一凸起结构的部分设置在第一槽状结构内，密封机构位于第一凸起结构与第一槽状结构之间，密封机构能够在外力压迫下发生变形，密封机构与第一槽状结构的第一槽面、第一凸起结构的第一榫面无间隙的贴合。本发明适用于真空工况、高压工况、高温工况，且可避免密封机构被半导体介质腐蚀、破损而导致密封失效以及对容器主体内的半导体介质造成污染的问题发生。
榫槽面密封结构半导体容器

[发明专利]用于更换管道连接件的保护装置-CN202310882702.6在审
发明人：赵梓淏;王凯;杨敏;宋利常 -专利权人：江苏南大光电材料股份有限公司;南大光电半导体材料有限公司
申请日： 2023-07-18 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： F16L55/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于更换管道连接件的保护装置，管道连接件用于连接第一管道和第二管道，保护装置包括：柔性罩，包括展开为平面的第一状态及套设于管道上的第二状态，柔性罩包括罩体及位于罩体两侧的第一卷绕件和第二卷绕件，于第二状态下，第一卷绕件和第二卷绕件分别密封安装于第一管道和第二管道外侧，罩体密封安装于第一管道和第二管道外侧，管道连接件位于罩体内部；供气装置，于第二状态下，供气装置通过输气管与罩体内部相连通，用于向罩体内部供应惰性气体。本发明提供一种用于更换管道连接件的保护装置，可隔绝空气，避免操作人员与管道的直接接触，减少风险。该保护装置结构简单、密封性好。
用于更换管道连接保护装置

[发明专利]安全处理装置-CN202310748547.9在审
发明人：王凯;赵梓淏;杨敏;宋利常 -专利权人：江苏南大光电材料股份有限公司;南大光电半导体材料有限公司
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B09B3/70 文献下载
摘要：本发明公开了一种安全处理装置，包括中空设置的壳体及活动安装于壳体内部的置物板，置物板下方的壳体内用于盛放分解液，于第一状态下，置物板两侧的水平高度均为第一高度，于第二状态下，置物板两侧的水平高度至少有一侧低于第一高度，以使置物板上的待处理工件浸入分解液中，分解液用于分解待处理工件表面的活泼金属和/或活泼金属化合物。本发明提供的安全处理装置结构简单，效果显著，能使操作人员有效远离分解液，防止产生爆炸而对人员造成伤害。
安全处理装置

[发明专利]有机硅组合物及其应用-CN202211462774.7有效
发明人：杨敏;陈德义;宛志文;陆平;茅炳荣;袁磊 -专利权人：江苏南大光电材料股份有限公司;南大光电半导体材料有限公司
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： C07F7/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种有机硅组合物，其包含：二乙氧基甲基硅烷；第一浓度的溶解的残留无机氯和有机氯；第二浓度的乙醇；以及第三浓度的副产物（杂质）；其中第一浓度定义为所述有机硅组合物在全消解情况下获得的所有存在的氯元素的浓度的总和。本发明的有机硅组合物，引进了副产物（杂质）的概念，对产品的品质管控有关键作用，同时无机氯和有机氯及乙醇的残留很低，尤其是无机氯的残留极少，因而二乙氧基甲基硅烷的品质稳定，当应用于半导体器件中，例如在制备各类低介电常数薄膜时，该低介电常数薄膜的介电常数小于或等于3.5，性能稳定可控，优于现有的有机硅组合物。
有机硅组合及其应用

[发明专利]一种烷氧基硅烷组合物的纯化方法-CN202211462930.X有效
发明人：范光华;宛志文;蒋寅斌;陈德义;陆平;茅炳荣;袁磊;杨敏 -专利权人：江苏南大光电材料股份有限公司;南大光电半导体材料有限公司
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C07F7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种烷氧基硅烷组合物的纯化方法，所述组合物包含烷氧基硅烷和氯化物，其中当烷氧基硅烷包含多个烷氧基时，这些烷氧基相同；所述方法包括：1）将烷氧基硅烷组合物与醇混合，得到混合物，其中所述醇的烷基与所述烷氧基硅烷的烷氧基中的烷基相同，优选具有C1至C10烷基；2）使混合物反应，以将所述组合物中所含的有机氯化物转化为氯化氢；3）将混合物与惰性气体相接触，去除氯化氢，得到经纯化的烷氧基硅烷组合物。本发明的纯化方法便捷，能够充分地除去烷氧基硅烷组合物中的无机氯，并且不会给原有体系引入额外杂质。
一种烷氧基硅烷组合纯化方法

[发明专利]1,1,1-三氯乙硅烷的合成-CN201880051020.8有效
发明人： A·米尔沃德;B·D·瑞肯;T·森德兰;J·K·杨;X·周 -专利权人： 南大光电半导体材料有限公司
申请日： 2018-06-21 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： C07F7/02 文献下载
摘要：公开了一种制造三卤代乙硅烷的方法，所述方法包括：将还原有效量的烷基氢化铝、包含至少4个卤素原子的卤代乙硅烷、和溶剂在150℃的温度下组合，并还原所述卤代乙硅烷以形成包含三卤代乙硅烷和烷基卤化铝的反应产物混合物。
三氯乙硅烷合成

[实用新型]全自动熏蒸设备-CN202222831081.2有效
发明人：陈德义;陈功峰;王智;孙健;杨敏 -专利权人： 南大光电半导体材料有限公司;全椒南大光电材料有限公司;江苏南大光电材料股份有限公司
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： A01M17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全自动熏蒸设备，包括循环装置，包括循环风机、第一管道及第二管道，所述循环风机的出风口通过所述第一管道与料仓相连通，所述循环风机的进风口通过所述第二管道与料仓相连通；第一储罐用于存储熏蒸剂，所述第一储罐通过第三管道与所述第一管道相连通；第二储罐用于存储冷却剂和/或阻燃剂，所述第二储罐通过第四管道与所述第三管道相连通；温度检测装置设置于第一管道上临近循环风机出风口一端，用于检测第一管道内循环气体的温度；第一浓度检测装置，用于检测第一管道内循环气体中熏蒸剂的浓度。本实用新型的全自动熏蒸设备能够提升使用气态熏蒸剂时的安全性以及具有较高的自动化程度。
全自动熏蒸设备

[发明专利]一种新戊硅烷中间体制备方法及其应用-CN202211051107.X在审
发明人：周晓兵;郭楠;黄艺 -专利权人： 南大光电半导体材料有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于制备新戊硅烷中间体的方法，将通式(1)的硅化合物在叔胺催化剂的存在下反应，以生成含四(三卤代甲硅烷基)硅烷和四卤化硅的第一混合物，反应结束后进一步加入路易斯酸化合物，然后分离掉生成的四卤化硅化合物，得如通式(2）所示的新戊硅烷中间体。本发明通过加入足够量的路易斯酸进而灭活催化剂将最小化减少副反应的发生，所述副反应将降低新戊硅烷中间体的纯度与产率。本发明不仅可高产率地生产具有高纯度的新戊硅烷，还可以提高生产的安全性和便捷性，降低生产成本。
一种硅烷中间体制备方法及其应用

[发明专利]MO源中氯离子含量的检测方法-CN202210731072.8在审
发明人：陈德义;杨敏;茅炳荣;陆平;常华 -专利权人： 南大光电半导体材料有限公司;江苏南大光电材料股份有限公司
申请日： 2022-06-24 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01N30/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种MO源中氯离子含量的检测方法，包括以下步骤：在保护氛围中，将络合剂与MO源待测样混合进行络合反应，得到样品；使用萃取液对样品中的氯离子进行萃取，得到中间样；对中间样进行后处理，得到测试样；以及根据离子色谱法检测测试样中氯离子的含量，并计算出MO源待测样中氯离子的含量。本发明的MO源中氯离子含量的检测方法，可以安全的、可靠的、稳定的检测出MO源中氯离子含量。
mo 氯离子含量检测方法

[实用新型]一种液态前驱体材料的分装容器-CN202122688848.6有效
发明人：沈斌;戴光虎 -专利权人： 南大光电半导体材料有限公司
申请日： 2021-11-03 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： B01D33/19 文献下载
摘要：本实用新型涉及新材料技术领域，具体为一种液态前驱体材料的分装容器，包括容器主体，容器主体的顶端开设有物料进口，容器主体的内部设置有容器内腔，容器内腔的内部且位于顶端设置有分流机构，分流机构的顶端设置有分流器，分流器呈圆台状，其外表面设置有均匀分布的条状槽，条状槽呈弧形，分流机构还包括安装柱，安装柱位于分流机构的下方，安装柱的下方连接有搅拌螺杆，容器内腔的内部且位于其中心位置设置有固液分离机构。通过分流机构从而使得固液混合物均匀落下，避免前驱体固液混合物由于其粘附性容易出现堆积的情况，使得容器入口堵塞；通过固液分离机构从而实现了固液分离的目的，对其进行分装。
一种液态前驱材料分装容器

[实用新型]一种三甲基铝提纯设备-CN202122688974.1有效
发明人：陆平;孟庆典 -专利权人： 南大光电半导体材料有限公司
申请日： 2021-11-03 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： B01J19/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及微电子材料领域，尤其是涉及一种三甲基铝提纯设备，包括反应仓，所述反应仓的上端内表面固定连接有冷凝器，所述冷凝器的右侧固定连接有储物盒，所述反应仓的左侧靠近下端的位置固定连接有进料管，所述反应仓的下端边缘处固定连接有支撑腿，所述反应仓的下端固定连接进气管，所述反应仓的内部靠近下端的位置固定连接有搁板，所述搁板的内部中心处固定连接有加热块，所述搁板的内部靠近两侧的位置均固定连接有气筒，该装置能够在通入惰性气体的时候，通过气压带动螺纹杆转动，进而使搅拌叶转动，这样可以对三甲基铝溶液进行搅拌，使得三甲基铝与惰性气体更好的接触，使得到的三甲基铝更纯。
一种甲基提纯设备

[发明专利]一种用于检测前驱体材料气化特性的装置及使用方法-CN202111432432.6在审
发明人：陈德义;颜桂花 -专利权人： 南大光电半导体材料有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G01N7/16 文献下载
摘要：本发明涉及反应釜技术领域，具体为一种用于检测前驱体材料气化特性的装置及使用方法，包括反应釜本体，所述反应釜本体的内部开设有反应室，所述反应釜本体的侧壁固定安装有用于向反应室的内部投入物料的导料管，所述反应釜本体的侧壁固定安装有排料管，所述导料管以及排料管的内部均设有控制阀，还包括S1，投料；S2，掺料；S3，气化；S4，收集。本发明通过电机带动反应室内部的转轴转动，对反应室内部的物料进行搅拌，进而提高反应室内部物料间的混合度，带动多个金属板转动，使得金属板快速地发热，然后对反应室内部的物料进行加热，加快反应室内部物料的气化，从而提高气体逸出的效率。
一种用于检测前驱材料气化特性装置使用方法

[实用新型]一种大型IC钢瓶的固定砧板-CN202122780283.4有效
发明人：马德森;付傲 -专利权人： 南大光电半导体材料有限公司
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： F17C13/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大型IC钢瓶的固定砧板，包括固定座，所述固定座呈柱形空心结构设计，且其上侧设置有钢瓶主体，所述钢瓶主体的下端位于柱形空心固定座的内部，所述固定座的外表面上侧环形等距离至少分布三组夹持组件，所述固定座的内部从上往下依次设置有上囊体、中心座以及下囊体，所述中心座的外表面与夹持组件对应位置均设置有弹性片，且弹性片的一端与固定座内壁固定。通过在该装置中添加夹持组件，在钢瓶主体放置过程中缓冲减震的基础上同样下压L型结构夹持板水平端，使其垂直端向内侧翻折进而对钢瓶主体外表面夹持固定，使其针对于不同大小容积的钢瓶仍能够结合固定座实现固定、防护效果。
一种大型 ic 钢瓶固定砧板

[发明专利]可拆卸密封装置物料转移管-CN202111442774.6在审
发明人：刘能巧;彭元兵 -专利权人： 南大光电半导体材料有限公司
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： B65G33/24 文献下载
摘要：本发明涉及物料转移领域，具体为可拆卸密封装置物料转移管，包括端管，所述端管的数量为两组，左侧所述端管的左侧活动连接有电机，左侧所述端管的上端固定连接有进料管，右侧所述端管的上端固定连接有出料管，且进料管及出料管均与端管相连通；两个所述端管之间活动连接有抗撞管机构，两个所述端管之间边缘处螺栓连接有连接丝杆，两个所述端管之间中心处转动连接有输送轴，且输送轴位于抗撞管机构的内部；所述输送轴的左侧贯穿并延伸至左侧端管的外部与电机转动连接，且输送轴的外壁固定连接有输送叶片；所述抗撞管机构能够减小输送轴偏振撞击产生的噪音且降低输送叶片碰撞时的损伤，保障了物料的转移效率。
可拆卸密封装置物料转移

[实用新型]前驱体材料气化特性的测定装置-CN202122978230.3有效
发明人：陈德义;颜桂花;钱瑶;王荣 -专利权人： 南大光电半导体材料有限公司
申请日： 2021-11-26 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及前驱体材料气化特性的测定装置，载气储罐，提供载气源；载气流量调节阀，调节载气流量，连接于载气储罐与载气流量计之间；载气流量计，控制载气流量，与前驱体钢瓶连接；气压计，测定前驱体钢瓶内被测样品的气相分压；温度计二，测定前驱体钢瓶内被测样品温度；前驱体钢瓶，置于恒温加热控温模块中，二者置于热重分析仪上；温度计一，测定恒温加热控温模块温度；混合气流量调节阀，调节样品气流量，连接于前驱体钢瓶与颗粒度仪之间；颗粒度仪，测定液体前驱体材料汽化后气相产品的颗粒物含量；混合气流量计，与颗粒度仪连接；截止阀，连接于混合气流量计与液氮冷阱和样品回收装置之间。实现全方位评估前驱体材料气化特性。
前驱材料气化特性测定装置

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