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[实用新型]电感镇流器式子母节能灯-CN200620069916.3无效
发明人：姚克祥;董银玲 -专利权人：姚克祥
申请日： 2006-03-07 - 公布日： 2007-02-21 - 主分类号： F21S2/00 文献下载
摘要：结构包括外壳灯架、边头外罩、节能灯泡、节能灯座、日光灯管、日光灯座、反光镜板、开关线、双控开关、电源线、电子镇流器、起辉器、起辉器座；节能灯座安装在外壳灯架边头内，节能灯安装在节能灯座上，日光灯座安装在外壳灯架内，日光灯管安装在日光灯座上，在日光灯管与外壳灯架之间安装有反光镜板，电感镇流器安装在灯架边头，起辉器装在起辉器座上，双控开关连接在电源线火线上，通过导线分别与节能灯座、日光灯座相连接，电感镇流器电源输出端与电源地线相连接，电感整流器输入端与日光灯座相连，节能灯座接双控开关，在外壳灯架两边头设置有边头外罩。
电感镇流器式子节能灯

[实用新型]一种带有复合式电子镇流器的荧光灯照明装置-CN00263369.8无效
发明人：葛葆珪;葛葆璋 -专利权人：葛葆珪
申请日： 2000-12-19 - 公布日： 2001-10-24 - 主分类号： H05B41/16 文献下载
摘要：本实用新型属于一种荧光灯照明装置,包括电感镇流器(1)、起辉器(2)、荧光灯管(3)和灯具,其特征在于在电感锁流器(1)输出端和电源线间插入一只简易式专用电子镇流器(4),起辉器为电容起辉器(5);采用本设计的荧光灯具有电子镇流器各种特点
一种带有复合电子镇流器荧光灯照明装置

[发明专利]等离子体起辉状态监测方法及监测装置和半导体处理设备-CN201710561903.0有效
发明人：范光涛 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2017-07-11 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体起辉状态监测方法及监测装置和半导体处理设备。该等离子体起辉状态监测方法包括：在等离子体开始起辉时，采集形成在基片表面的等离子体鞘层的对地交流电压信号；对等离子体鞘层的对地交流电压信号进行处理，以获得等离子体鞘层的对地交流电压信号的最大峰值电压；判断等离子体鞘层的对地交流电压信号的最大峰值电压是否达到了等离子体的起辉成功电压，以确定等离子体是否起辉。该等离子体起辉状态监测方法通过对等离子体鞘层的对地交流电压信号进行监测，能够判断等离子体的起辉状态是否正常，无需再采用等离子体光谱监测方法，从而不仅能够有效地监测等离子体辉光放电状态，而且有效地降低了等离子体起辉状态的监测成本
等离子体状态监测方法装置半导体处理设备

[其他]感应反授灯管-CN85102543无效
发明人：张保杰 -专利权人：张保杰
申请日： 1985-04-01 - 公布日： 1986-07-09 - 主分类号： H01J61/00 文献下载
摘要：且光线柔和，紫外线少，光效大，用人工起辉节省灯管；结构简单售价便宜。本发明的技术特征是对灯管配有感应反授装置；用灯泡取代镇流器；起辉开关取代起辉器；并有专用布线。能适合各种照明。
感应灯管

[实用新型]容抗型电压合成日光灯电子起辉器-CN88219314.7无效
发明人：谭春阳 -专利权人：谭春阳
申请日： 1988-09-30 - 公布日： 1989-05-10 - 主分类号： H05B41/26 文献下载
摘要：一种“容抗型电压合成日光灯电子起辉器”。它可以不用加热灯丝而直接用1KV的高压使灯管起辉，起辉后自动转为脉动低电压以保证日光灯的正常工作电流。所以，它可以正常使用无灯丝的的灯管或废旧灯管。
容抗电压合成日光灯电子起辉器

[发明专利]低压放电灯的起动器-CN200680006330.5无效
发明人： F·斯特法诺;A·吉斯滕布鲁 -专利权人：电灯专利信托有限公司
申请日： 2006-02-06 - 公布日： 2008-02-20 - 主分类号： H05B41/04 文献下载
摘要：公开了一种用于馈入交流电的、在输入扼流圈上运行的低压放电灯的起动器，其包括起辉器、与起辉器串联的热敏电阻(NTC电阻)以及可复原的双金属开关，该双金属开关与起辉器和热敏电阻串连并与热敏电阻热接触，其中热敏电阻在冷却状态下具有高欧姆的阻值
低压电灯起动器

[实用新型]日光灯固态起辉器-CN91220632.2无效
发明人：赵为政 -专利权人：赵为政
申请日： 1991-08-03 - 公布日： 1992-01-22 - 主分类号： H05B41/04 文献下载
摘要：该固态启辉器采用预热谐振式启动方式，具有快速的软启辉性能，并可在低压低温下启动日光灯，且能显著延长日光灯管的寿命，由于为无触点固态形式，自身寿命长，不易损坏，无接触火花，干扰小，可直接取代目前普遍使用的双金属片式启辉器
日光灯固态起辉器

[实用新型]一种医用微波治疗仪的发光辐射器-CN201020268417.3无效
发明人：宋苏平;宋炜 -专利权人：宋苏平
申请日： 2010-07-22 - 公布日： 2011-02-09 - 主分类号： A61N5/04 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种具有可视性的医用微波治疗仪的发光辐射器，该医用微波治疗仪的发光辐射器包括敞口灯罩状的金属壳体及通过天线支架固定在壳体内的微波天线，所述微波天线与一根伸出壳体外的电缆相连；壳体内还通过灯管支架固定有有极荧光灯管上述医用微波治疗仪的发光辐射器结构简单、起辉功率小，只需3瓦就可起辉，热量微小不需要专门散热装置；有极荧光灯管不会影响微波发射，其亮度高且均匀、起辉响应快，除连续波外，脉冲波起辉也非常同步，非常适合应用于医用微波治疗仪无热或微热照射治疗
一种医用微波治疗发光辐射器

[发明专利]匹配方法及应用该匹配方法的等离子体装置-CN200810117344.5有效
发明人：王一帆 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2008-07-29 - 公布日： 2010-02-03 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种匹配方法及应用该匹配方法的等离子体装置，首先通过传感器得到的数字量，计算阻抗的实部或虚部，然后对各个控制周期计算出的阻抗实部或虚部取差值，并对各个差值进行比较，找到突变的差值，突变的差值所在的控制周期已进入等离子体起辉带然后再利用相应的控制方法控制电容在起辉带内进行调整，直到达到匹配。可以使匹配器在匹配过程中的调整更有针对性。匹配器进入起辉带后，采用相应的控制方式进行匹配，不会出现在起辉带附近反复调整的情况，缩短了匹配时间，优化了匹配路径，延长了匹配器的工作寿命。
匹配方法应用等离子体装置

[发明专利]优化工艺流程的方法及装置、存储介质和半导体处理设备-CN201910221399.9在审
发明人：金晨;韩彬;李建银 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：包括：步骤S110、判断当前工艺步骤是否为点火工艺步骤，若是，执行步骤S120；若否，执行步骤S130；步骤S120、判断当前工艺步骤是否起辉成功，若是，执行步骤S130；若否，执行步骤S140；步骤S130、顺次执行下一工艺步骤；步骤S140、判断起辉失败次数是否超出报警阈值，若是，执行步骤S150；若否，执行步骤S160；步骤S150、输出起辉失败报警信号；步骤S160、将工艺步骤计数器减1，并改变当前工艺步骤的起辉影响因子值在存在偶发性的起辉失败现象时，用户不必干预，从而可以使得工艺流程的时效性较强、可操作性提高，保证工艺流程可以正常进行，提高产能。
优化工艺流程方法装置存储介质半导体处理设备

[发明专利]产生远紫外辐照和软X射线辐照的方法和装置-CN02807825.X无效
发明人： J·克莱恩;W·内夫;S·赛维特;K·伯格曼;J·潘克特;M·罗肯 -专利权人：弗劳恩霍弗实用研究促进协会;皇家菲利浦电子有限公司
申请日： 2002-03-23 - 公布日： 2004-09-22 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：，尤其是用于EUV光刻，其中在放电空间(10)中采用预定的气体压力和两个电极(11、12)，所述的两个电极各有一个在同一对称轴(13)上的开口(14、15)，并且在电压上升(16)的过程中在达到预定的起辉电压(Uz)时构成处在其开口(14、15)区域中的等离子体(17)，所述的等离子体是要产生的辐射(17｀)的源，其中通过对气体压力施加影响和/或通过触发进行等离子体(17)的起辉，并且具中在等离子体(17)起辉时储能器借助于电极(11、12)向等离子体(17)中馈入储存的能量，其特征在于，在使用预定的起辉延迟(18)的条件下进行等离子体(17)的起辉。
产生紫外辐照射线方法装置

[实用新型]多功能荧光灯电路-CN88209074.7无效
发明人：杨益文 -专利权人：杨益文
申请日： 1988-07-24 - 公布日： 1989-08-23 - 主分类号： H05B41/16 文献下载
摘要：该电路经多档开关变换，使电容器和镇流器形成串联谐振，电容器上输出几倍于电源电压的高压，其不用起辉继电器，就能直接使灯管起辉发光，而且还能使已断了灯丝或无灯丝的灯管起辉发光，及在电源电压偏低于额定值原荧光灯电路不能使灯管起辉的情况下，其仍能使之起辉发光。
多功能荧光灯电路

[实用新型]低压直流高效节能日光灯-CN90200104.3无效
发明人：蒋佳 -专利权人：广西壮族自治区机械工业研究所
申请日： 1990-01-04 - 公布日： 1991-02-06 - 主分类号： H05B41/28 文献下载
摘要：本实用新型涉及到一种改进的低压直流高效节能日光灯，在日光灯管和逆变器组成的电路中加入起辉器和光电检测元件，组成光电调节逆变电路。自动调整逆变器的工作点，从而保证日光灯正常的预热起辉，解决逆变电路日光灯的灯管两端容易发黑问题，使灯管寿命延长2～3倍。当日光灯起辉点亮后，自动调节逆变电路，使它工作在最佳效率的工作点上，达到节能效果，比白炽灯节能80％。
低压直流高效节能日光灯

[实用新型]一种新型的氙灯电源系统-CN201420832401.9有效
发明人：王金 -专利权人：深圳市蓝丝腾科技有限公司
申请日： 2014-12-23 - 公布日： 2015-05-13 - 主分类号： H05B41/38 文献下载
摘要：它包括电源控制电路、提供24V直流开关电源的外部电源、将外部电源转换成各个电路所需电压值的辅助电源电路、预燃电路、起辉电路、用于实现起辉电路与预燃电路之间切换并设定起辉时间的继电器控制电路、用于设置氙灯灯丝电流值的键盘电路和显示当前电流值的LCD显示电路；电源控制电路分别与预燃电路、起辉电路、继电器控制电路、辅助电源电路、键盘电路和LCD显示电路连接。本实用新型具有电流调节、起辉时间可控并且自动切换起辉和预燃控制电路，实现了亮度可调的光源高稳定运行，具有控制精度高、性能可靠、集成性高，具有很强的实用性。
一种新型氙灯电源系统

[实用新型]电子式日光灯起辉器的灯管保护装置-CN92223736.0无效
发明人：汪金缵 -专利权人：汪金缵
申请日： 1992-05-30 - 公布日： 1993-04-14 - 主分类号： H05B41/04 文献下载
摘要：一种日光灯的灯管保护装置，它通过一固体定时器控制一延时常闭接点的状态而控制该日光灯的起辉启动，该延时常闭接点乃串接有一辅助启动电容，然后再并联于该日光灯两端电极的原启动电容。固体定时器从电子式日光灯起辉器的直流电源端取得工作电源，当起辉时，通过控制该辅助启动电容而使日光灯两端的瞬间脉冲电压有效地降低，以保护日光灯，增长其寿命。
电子日光灯起辉器灯管保护装置