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[实用新型]涂覆有抗裂氟退火膜的制品-CN202122827231.8有效
发明人： N·困达;劳季钧;S·J·安杰洛尼;W·内夫 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2021-11-18 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及涂覆有抗裂氟退火膜的制品。提供与具有优异的抗等离子体蚀刻性且可延长RIE组件的使用寿命的涂层相关的制品。制品具有真空兼容衬底及覆盖所述衬底的至少一部分的保护膜。所述膜包括含钇的氟化金属氧化物，其中使用AC电源沉积氧化钇。所述膜在所述膜的30％总厚度的深度处具有至少10的氟原子％，并且所述膜不具有当使用激光共聚焦显微镜以1000倍的放大率观察所述膜的整个深度时可见的在所述膜的表面下方的表面下裂纹。
涂覆有抗裂氟退火制品

[发明专利]涂覆有抗裂氟退火膜的制品及制造方法-CN202111367249.2在审
发明人： N·困达;劳季钧;S·J·安杰洛尼;W·内夫 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2021-11-18 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本申请涉及涂覆有抗裂氟退火膜的制品及制造方法。提供与具有优异的抗等离子体蚀刻性且可延长RIE组件的使用寿命的涂层相关的制品及方法。制品具有真空兼容衬底及覆盖所述衬底的至少一部分的保护膜。所述膜包括含钇的氟化金属氧化物，其中使用AC电源沉积氧化钇。所述膜在所述膜的30％总厚度的深度处具有至少10的氟原子％，并且所述膜不具有当使用激光共聚焦显微镜以1000倍的放大率观察所述膜的整个深度时可见的在所述膜的表面下方的表面下裂纹。
涂覆有抗裂氟退火制品制造方法

[发明专利]用于产生特别是EUV辐射和/或软X射线辐射的方法和设备-CN200480037540.1有效
发明人： G·H·德拉;R·T·A·阿佩茨;W·内夫;O·罗西尔;P·青克 -专利权人：皇家飞利浦电子股份有限公司
申请日： 2004-12-13 - 公布日： 2009-03-18 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：描述了一种用于产生由等离子体(26)发射的特别是EUV辐射(12)和/或软X射线辐射(12a)的方法。等离子体(26)是由放电空间(14)中的工作气体(22)形成的，所述放电空间(14)包括至少一个辐射发射窗口(16)和具有至少一个阳极(18)和至少一个阴极(20)的电极系统。该电极系统借助于被引入到放电空间(14)中的电荷载体(24)而将电能传输给等离子体(26)。为了得到以高重复频率可靠地点燃等离子体(26)，建议将由至少一个辐射源(28)产生的辐射(30)引入到放电空间(14)中以便使得可获得放电载荷(24)。
用于产生特别是 euv 辐射射线方法设备

[发明专利]产生极紫外辐射或软X射线辐射的方法和设备-CN200480026283.1有效
发明人： J·约恩克尔斯;D·M·沃德雷范格;W·内夫 -专利权人：皇家飞利浦电子股份有限公司;弗劳恩霍弗实用研究促进协会
申请日： 2004-09-01 - 公布日： 2006-10-18 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：一种通过电气操纵放电而产生极紫外辐射(EUV)或软X射线辐射的方法，其尤其用于EUV光刻或度量，其中在放电空间(12)内的至少两个电极(14、16)之间的气体介质内点燃等离子体(22)，所述等离子体发射待产生的所述辐射。从金属熔融物质(24)产生该气体介质，该金属熔融物质被涂敷到所述放电空间(12)内的表面，且该金属熔融物质至少部分地被能量束、特别是激光束(20)蒸发。
产生紫外辐射射线方法设备

[发明专利]用于产生远紫外线和软X射线的装置-CN200480022673.1无效
发明人： K·贝尔格曼;W·内夫 -专利权人：皇家飞利浦电子股份有限公司
申请日： 2004-07-29 - 公布日： 2006-09-13 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种气体放电源，尤其是用于产生远紫外线和/或软X射线，其中气体填充中间电极间隙(3)位于两个电极(1、2)之间，其中具有用于气体进入和排空的装置，以及其中一个电极(1)具有限定对称轴线(4)且被用于射线释放的开口(5)。提出的改进在于隔膜(6)，该隔膜(6)在对称轴(4)上具有至少一个开口(7)且在两个电极(1、2)之间作为差动泵级工作。
用于产生紫外线射线装置

[发明专利]用于超紫外辐射的气体放电灯-CN200380104994.1有效
发明人： G·H·德拉;J·R·R·帕科特;W·内夫;K·伯格曼恩;J·乔克斯 -专利权人：皇家飞利浦电子股份有限公司
申请日： 2003-11-28 - 公布日： 2006-01-11 - 主分类号： H01J61/09 文献下载
摘要：本发明涉及用于超紫外辐射的一种气体放电灯，该放电灯配有一个阳极(1)和一个空心阴极(2)，其中空心阴极(2)具有至少两个孔(3，3’)，阳极(1)具有一个通孔(4)，其特征在于，空心阴极孔(3)的纵轴线(5，5’)有一个共同的切合点S，该切合点处在阳极孔(4)的对称轴线(6)上。
用于紫外辐射气体放电灯

[发明专利]产生远紫外辐照和软X射线辐照的方法和装置-CN02807825.X无效
发明人： J·克莱恩;W·内夫;S·赛维特;K·伯格曼;J·潘克特;M·罗肯 -专利权人：弗劳恩霍弗实用研究促进协会;皇家菲利浦电子有限公司
申请日： 2002-03-23 - 公布日： 2004-09-22 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：本发明涉及用于以在巴申曲线的左分支上工作的气体放电产生远紫外辐照和软X射线辐照的方法，尤其是用于EUV光刻，其中在放电空间(10)中采用预定的气体压力和两个电极(11、12)，所述的两个电极各有一个在同一对称轴(13)上的开口(14、15)，并且在电压上升(16)的过程中在达到预定的起辉电压(Uz)时构成处在其开口(14、15)区域中的等离子体(17)，所述的等离子体是要产生的辐射(17｀)的源，其中通过对气体压力施加影响和/或通过触发进行等离子体(17)的起辉，并且具中在等离子体(17)起辉时储能器借助于电极(11、12)向等离子体(17)中馈入储存的能量，其特征在于，在使用预定的起辉延迟(18)的条件下进行等离子体(17)的起辉。
产生紫外辐照射线方法装置

[发明专利]用于产生远紫外线辐射或软X射线辐射的方法和装置-CN02807601.X有效
发明人： W·内夫;K·博格曼;O·罗西尔;J·潘克特 -专利权人：弗劳恩霍弗实用研究促进协会;皇家菲利浦电子有限公司
申请日： 2002-03-21 - 公布日： 2004-05-26 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：借助气体放电产生远紫外线辐射/软X射线辐射的方法，尤其被用于EUV光刻术，其中，在放电室(11)内给两个电极施加高电压，在所述的两个电极之间，根据在帕申曲线的左支路上进行的放电工作而在两个同轴电极开孔(12，13)的区域内提供一种具有预定气压的气体填充，在该气体填充当中通过输入能量而构造发出辐射的等离子体(10)，其特征在于：所述的等离子体(10)在所述的电极开孔(12，13)的区域内借助气体填充的压力变化而被偏移。
用于产生紫外线辐射射线方法装置