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[发明专利]多晶硅铸锭的制备方法-CN201310352738.X有效
发明人：刘华;张小建;王悦;王丙宽;屈涛 -专利权人：天津英利新能源有限公司
申请日： 2013-08-13 - 公布日： 2013-12-11 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种多晶硅铸锭的制备方法，包括以下步骤：将氮化硅水溶液喷涂在热坩埚内壁，再将氮化硅和硅粉的混合水溶液喷涂在热坩埚底部，再将上述步骤得到的热坩埚进行烘烤，得到装料坩埚，最后向所述装料坩埚中装入硅料本发明提供的制备方法通过对热坩埚底部喷涂氮化硅和硅粉的混合水溶液，使得坩埚底部形成一层氮化硅与硅粉的混合的涂层，在铸锭生产的长晶过程中涂层中的硅粉会作为晶核形成点，使得形成晶粒分布均匀，从而得到较好品质的多晶硅铸锭
多晶铸锭制备方法

[发明专利]金属粉末装料装置-CN202310966109.X在审
发明人：姚力军;李桂鹏;杨俊杰 -专利权人：同创（丽水）特种材料有限公司
申请日： 2023-08-02 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B65G65/32 文献下载
摘要：本发明涉及半导体溅射靶材装料回收技术领域，尤其涉及一种金属粉末装料装置。该金属粉末装料装置包括料仓、转运车和升降车。升降车上设置有计量称，计量称上放置有坩埚，升降车位置可调节地设置在料仓下方，以使第二开口正对坩埚，计量称用于称重坩埚内的氢化钽金属粉末的重量。该金属粉末装料装置无需人工将氢化钽金属粉末铲入坩埚中，减少了作业人员的劳动强度，提高工作效率，节约成本。
金属粉末装料装置

[实用新型]一种外部装料结构-CN201420520573.2有效
发明人：朱亮;王巍;倪军夫;孙明;沈兴潮 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2014-09-11 - 公布日： 2015-02-25 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及直拉硅单晶生长设备的辅助设备，旨在提供一种外部装料结构。该种外部装料结构用于将石英坩埚和真空罩连接密封后，整体吊装放入或取出单晶炉热场；外部装料结构的主体包括单晶炉中的籽晶系统和旋转机构，籽晶系统安装在副炉室上，籽晶系统利用钢丝绳与真空罩上的吊环连接，实现对连接密封后的石英坩埚和真空罩整体进行升降运动；旋转机构用于带动副炉室进行旋转运动，进而带动安装在副炉室上的籽晶系统进行旋转运动，实现吊装在籽晶系统上的连接密封后的石英坩埚和真空罩整体完成旋转运动和升降运动。本实用新型不需增加额外吊装辅助设备，利用了单晶炉固有的籽晶系统和副炉室旋转机构，能有效的实现坩埚炉外装料。
一种外部装料结构

[发明专利]用于增加多晶硅熔化速率的间歇式加料技术-CN200710086008.4无效
发明人： J·D·霍尔德 -专利权人： MEMC电子材料有限公司
申请日： 2002-11-12 - 公布日： 2007-10-17 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：一种用于在坩埚中制备硅熔体供在用直拉法生长单晶硅锭时使用的方法。坩埚首先用块状多晶硅装料，并加热以便部分地熔化装料。然后将粒状多晶硅加料到露出的未熔化的块状多晶硅上，以便完成坩埚中硅的装料。将装料的块状多晶硅和加料的粒状多晶硅熔化，以便形成硅熔体。
用于增加多晶熔化速率间歇加料技术

[发明专利]用于增加多晶硅熔化速率的间歇式加料技术-CN02822314.4无效
发明人： J·D·霍尔德 -专利权人： MEMC电子材料有限公司
申请日： 2002-11-12 - 公布日： 2005-02-23 - 主分类号： C30B15/02 文献下载
摘要：一种用于在坩埚中制备硅熔体供在用直拉法生长单晶硅锭时使用的方法。坩埚首先用块状多晶硅装料，并加热以便部分地熔化装料。然后将粒状多晶硅加料到露出的未熔化的块状多晶硅上，以便完成坩埚中硅的装料。将装料的块状多晶硅和加料的粒状多晶硅熔化，以便形成硅熔体。
用于增加多晶熔化速率间歇加料技术

[发明专利]冷坩埚-CN202080013147.8在审
发明人：卡德·扎伊达特;克里斯汀·加尼叶;吉塔法·哈桑 -专利权人：格勒诺布尔理工学院;国家科学研究中心;格勒诺布尔-阿尔卑斯大学
申请日： 2020-02-06 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种冷坩埚。本发明在高温单晶材料生产领域得到了应用。根据本发明的冷坩埚(1’)包括：冷笼(10)，所述冷笼包括扇形部(100)，所述扇形部由电的良导体的材料制成并且装料在其中熔融；以及具有传热流体的冷却装置(11)，所述冷却装置被配置成从内部冷却冷笼的每个扇形部冷坩埚的至少一个扇形部包括壳体(101)并且是可移除的。壳体(101)适合并且用于在其中容纳至少一个被称为冷坩埚(1’)的功能化装置(12，120)。该功能化装置被配置成修改和/或分析冷笼中的装料、尤其是熔融装料的至少一种特性。
坩埚

[实用新型]一种碳化硅单晶生长装料装置-CN202222915317.0有效
发明人：贺秀山;罗烨栋;浩瀚;赵新田;杨弥珺;赵子惠 -专利权人：宁波合盛新材料有限公司
申请日： 2022-11-02 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本实用新型公开一种碳化硅单晶生长装料装置，涉及半导体生产设备技术领域，主要结构包括支撑平台、固定机构、加料机构、垂直压料机构、夹紧机构和震动机构；支撑平台用于支撑固定机构，固定机构内底部设置有用于盛放碳化硅原料的石墨坩埚；加料机构设置于固定机构顶部，且加料机构的底部出口延伸至石墨坩埚的上方；垂直压料机构设置于固定机构上且位于石墨坩埚正上方；夹紧机构设置于固定机构侧部，夹紧机构用于固定石墨坩埚；震动机构设置于固定机构底部通过震动和气动压紧，装料量由之前的2000g‑3000g之间的浮动，调整到目前的3150±50g，有效控制了装料的震实密度。
一种碳化硅生长装料装置

[实用新型]多晶硅铸锭用石英坩埚加高装置-CN201120071418.3有效
发明人：张福军;杨艳红;张伏严;周佳晖 -专利权人：常熟华融太阳能新型材料有限公司
申请日： 2011-03-17 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种多晶硅铸锭用石英坩埚加高装置，呈规则方形结构，包括前后左右四个侧壁，上下部敞开，前后左右四个侧壁的下边沿分别设有连接卡套，四个侧壁的内表面涂有一层氮化硅涂层。该加高装置可与目前业内的石英坩埚精确的配合，降低石英坩埚的高度，而不减少单次装料量；或者直接于目前的石英坩埚上进行加高，使单次装料量增加；可重复使用多次，减少铸锭过程中石英坩埚的消耗，显著降低多晶硅铸锭的制造成本
多晶铸锭石英坩埚加高装置

[实用新型]坩埚反应系统-CN202122872147.8有效
发明人：陈锦杰;吴伟平;严嘉明 -专利权人：广东长信精密设备有限公司
申请日： 2021-11-22 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： F27B14/18 文献下载
摘要：本公开提供一种坩埚反应系统，其包括进料输送装置、出料输送装置、坩埚翻转装置、装料小车、反应炉以及机器人，进料输送装置和出料输送装置并排设置且整体位于机器人的第一侧并与机器人相邻，进料输送装置和出料输送装置的输送方向相反；反应炉整体位于机器人的第二侧，第二侧与第一侧垂直；坩埚翻转装置能够定位在与机器人的第一侧相反的第三侧，装料小车能够在坩埚翻转装置的与机器人相背的一侧且机器人在与第一侧至第三侧的第一水平方向垂直的第二水平方向上至少部分处于装料小车和反应炉之间以机器人为基准在三个侧来布置进料输送装置、出料输送装置、坩埚翻转装置、装料小车及反应炉，充分发挥机器人的三维运动机能，使空间布局紧凑有效。
坩埚反应系统

[实用新型]一种多孔坩埚振动装料装置-CN202121119333.8有效
发明人：耿林华;武建军;龚军 -专利权人：山西贝特瑞新能源科技有限公司
申请日： 2021-05-24 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： B65B1/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及锂电池负极材料技术领域，更具体而言，涉及一种多孔坩埚振动装料装置。包括下料装置、多孔坩埚、升降装置、盖板和振动棒，所述升降装置上端设置有升降台，所述多孔坩埚固定设置于升降台的上端，所述盖板与下料装置连接，盖板中部设置有与下料装置相连通的进料口，振动棒设置于盖板的下方，振动棒设置数量与多孔坩埚的孔数相同，振动棒排列位置与多孔坩埚的孔排列位置相对应。本实用新型通过设置盖板和密封罩，在装料和振实过程中，避免粉料从坩埚外侧掉落，既改善了生产环境，同时也避免了粉料的浪费。
一种多孔坩埚振动装料装置

[实用新型]一种多工位碳化硅晶体生长装置-CN201921154199.8有效
发明人：李留臣;周正星 -专利权人：江苏星特亮科技有限公司
申请日： 2019-07-22 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多工位碳化硅晶体生长装置，包括至少两个生长机构；每个生长机构均包括装料仓、与装料仓连通的生长腔、可沿装料仓和生长腔的排列方向来回运动的设于装料仓和生长腔中的坩埚、用于驱动坩埚来回运动的驱动机构、用于为生长腔加热的加热机构；装置还包括用于同时为至少两个加热机构供电的电源机构、用于同时为至少两个装料仓抽真空的抽真空机构、设于抽真空机构与每个装料仓之间的隔离阀。本实用新型一种多工位碳化硅晶体生长装置，至少两个晶体生长机构共用电源机构和抽真空机构，不仅能够实现对每个生长腔中坩埚的精确控温以生长出优质的晶体，还节约了晶体生长装置的配置和空间利用，降低了设备成本，有利于规模化生产
一种多工位碳化硅晶体生长装置

[发明专利]一种单晶炉-CN201710224908.4在审
发明人：杨晓红;朱伟忠;苏晓良;周杰;沈浩锋;王宏琳;俞敏人 -专利权人：天通吉成机器技术有限公司
申请日： 2017-04-07 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种单晶炉，包括主炉室、副室、坩埚、坩埚提升机构和晶体提拉机构，还包括称重机构，设置在晶体提拉机构上，晶体提拉机构的提拉绳承载于所述称重机构上，用于称量晶体重量；锅跟比调节装置，与称重机构和坩埚提升机构均控制连接，用于根据称重机构所称量的当前时刻的晶体重量、坩埚的装料总重量和坩埚的内部尺寸得到当前时刻的理论锅跟比，并根据理论锅跟比调整坩埚提升机构的提升速度，使坩埚的实际锅跟比接近理论锅跟比。本单晶炉通过增加称重机构和锅跟比调节装置，利用坩埚内的装料总重量和实时称量的晶体重量，得到坩埚内的剩余料重量，来实时动态控制坩埚提升机构的提升速度，避免锅跟比过小或者过大影响晶体生长。
一种单晶炉

[实用新型]一种真空炉叠层坩埚组件-CN201820140841.6有效
发明人：王玉洁 -专利权人：苏州楚翰真空科技有限公司
申请日： 2018-01-26 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： F27D5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空炉叠层坩埚组件，包括料台、衬板、环形坩埚、隔套、提料杆、料杆底托、散热缝、环挡圈；所述料台中间设有下凹式平面、外周边设有环挡圈；所述环挡圈内设有带有圆形通孔衬板，所述圆形通孔内装配有料杆底托，所述料杆底托中心一体式设有提料杆，所述提料杆上间隔式、嵌套叠层设有多层环形坩埚和隔套；所述环形坩埚中孔上部配置有隔套；相邻两层环形坩埚之间形成环形散热缝；本新型采用叠层圆环组合坩埚设计，分层坩埚层内装料少，受力小不易变形；坩埚之间有隔套，坩埚受热面积更大，加热更均匀；分散装料有利于杂质挥发，真空排气；组合坩埚极大提高产品质量，更利于不同规格产品同炉处理，提高设备利用率。
环形坩埚叠层隔套提料杆底托环挡料杆装料圆形通孔组合坩埚坩埚组件散热缝真空炉衬板料台坩埚设备利用率嵌套本实用新型不易变形规格产品真空排气受热间隔式外周边坩埚层多层分层挥发两层受力下凹圆环加热装配配置

[实用新型]一种真空炉叠层坩埚组件-CN201721209754.3有效
发明人：王玉洁 -专利权人：苏州楚翰真空科技有限公司
申请日： 2017-09-21 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： C21D9/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空炉叠层坩埚组件，包括料台、衬板、环形坩埚、隔套、提料杆、料杆底托、散热缝、环挡圈；所述料台中间设有下凹式平面、外周边设有环挡圈；所述环挡圈内设有带有圆形通孔衬板，所述圆形通孔内装配有料杆底托，所述料杆底托中心一体式设有提料杆，所述提料杆上间隔式、嵌套叠层设有多层环形坩埚和隔套；所述环形坩埚中孔上部配置有隔套；相邻两层环形坩埚之间形成环形散热缝；本新型采用叠层圆环组合坩埚设计，分层坩埚层内装料少，受力小不易变形；坩埚之间有隔套，坩埚受热面积更大，加热更均匀；分散装料有利于杂质挥发，真空排气；组合坩埚极大提高产品质量，更利于不同规格产品同炉处理，提高设备利用率。
环形坩埚叠层隔套提料杆底托环挡料杆装料圆形通孔组合坩埚坩埚组件散热缝真空炉衬板料台坩埚设备利用率嵌套本实用新型不易变形规格产品真空排气受热间隔式外周边坩埚层多层分层挥发两层受力下凹圆环加热装配配置

[实用新型]一种生产负极材料用坩埚自动装料装置-CN202120831587.6有效
发明人：王瑞刚;陈培圣 -专利权人：山东兴丰新能源科技有限公司
申请日： 2021-04-22 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B28B13/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种生产负极材料用坩埚自动装料装置，涉及负极材料生产设备技术领域，包括底座，所述底座顶部一侧连接有固定柱，固定柱沿竖直方向转动连接有立柱，且立柱顶部侧面焊接有上压盘，底座一侧固定连接有总电机本实用新型通过于活动板上通过固定环与夹持环夹持住坩埚，总电机通过从动凸轮与震动棒的相互配合间歇敲击坩埚，将坩埚内的粉末状负极材料震实、震紧、不松散，从而解决了现有技术中往坩埚中加料时，由于负极材料物料比重小，装在坩埚内的负极材料装料不紧实，十分松散，仍然需要人工将负极材料装进坩埚内后，再手动将坩埚内的物料压紧实的问题。
一种生产负极材料坩埚自动装料装置