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[发明专利]一种硅表面平坦化和湿式清洗工艺-CN202310951601.X在审
发明人：江成陈;贺贤汉;曹德坤 -专利权人：安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅表面平坦化和湿式清洗工艺，本发明工艺可以更好地维持硅片表面粗糙度。另外，高温溶液以及碱性溶液对于粗糙度的影响最大，这两种溶液中OH‑的浓度非常高，而氢氧根离子会刻蚀Si表面，引起表面粗糙度的恶化。因而本发明不使用这些高温溶液，在保护硅片表面粗糙度方面具有优良的表现。在本发明中清洗工艺也会引起硅片粗糙度的变化，但是由于表面活性剂易于附着于硅表面，使得H2O2和HF对硅片表面的氧化与刻蚀速度更加均匀，因此表面粗糙度也可以很好的保持。
一种表面平坦清洗工艺

[发明专利]荫罩和荫罩用的基质材料-CN99125585.2无效
发明人：牧田明;松元丰 -专利权人：大日本印刷株式会社
申请日： 1999-10-20 - 公布日： 2004-06-23 - 主分类号： H01J29/07 文献下载
摘要：本发明是关于高精细度孔板，是含有小孔侧表面中心线平均粗糙度Ra在0.25μm以下，大孔侧表面中心线平均粗糙度Ra比小孔侧表面中心线平均粗糙度Ra大0.25μm以上，而且大孔侧中心线表面粗糙度Ra在1μm
荫罩用基质材料

[发明专利]一种表面粗糙度在线测量方法-CN201810817139.3在审
发明人：刘瑞珍;张鹏翀;陈峙;杨晶晶;马文娟;马立峰;闫献国 -专利权人：太原科技大学
申请日： 2018-07-24 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： G01B7/34 文献下载
摘要：本发明属于表面粗糙度测量技术领域，具体涉及一种表面粗糙度在线测量方法，利用热电偶原理，通过与待测表面进行摩擦产生热电动势，通过采集热电动势值得到温差，将表面粗糙度与温差建立起关系，从而得到对应的表面粗糙度值本发明可实现工件加工过程中在线实时的测量其粗糙度，避免了工件的拆卸，具有操作方便、装配简单、更换方便、测量精度高、使用寿命长等优点。
表面粗糙度热电动势在线测量温差表面粗糙度测量工件加工过程测量精度高使用寿命粗糙度热电偶拆卸装配摩擦测量采集

[发明专利]衬纸用聚乙烯系树脂发泡片-CN201410023143.4有效
发明人：落合哲也;植田晃司;阿南伸一;南贵博 -专利权人：积水化成品工业株式会社;日本电气硝子株式会社
申请日： 2014-01-17 - 公布日： 2017-08-11 - 主分类号： C08L23/06 文献下载
摘要：提供一种衬纸用聚乙烯系树脂发泡片，其特征在于，厚度为0.15～0.50mm，基重为15～50g/m2，表面电阻率为109～1013Ω/□，表面粗糙度的算术平均粗糙度为25～50μm，表面粗糙度的最大高度为120～250μm，表面粗糙度的轮廓单元的平均长度为200～600μm，厚度除以表面粗糙度的最大高度所得到的值为1.3～3。
衬纸聚乙烯树脂发泡

[发明专利]一种激光切割机的智能化切割数据处理方法、装置及设备-CN202310564551.X有效
发明人：于嘉龙;董大哲;路世强;马耀滨 -专利权人：济南邦德激光股份有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明属于激光切割控制技术领域，具体提供一种激光切割机的智能化切割数据处理方法、装置及设备，所述方法包括如下步骤：激光切割机正常工作中，检测激光切割机喷嘴工作的状态参数数据以及工作时的实测表面粗糙度；基于检测的激光切割机喷嘴工作的状态参数数据结合智能喷嘴检测模型，计算工作时的理论表面粗糙度；计算工作时的实测表面粗糙度与理论表面粗糙度的差值，结合表面粗糙度偏差参考值，分析喷嘴工作过程中的粗糙度是否发生异常。标定后的智能检测模型具有设备自身的特性，该模型就是避免设备的差异性，设备使用中的变化导致判断错误，有效提高了粗糙度异常判断的准确性。
一种激光切割机智能化切割数据处理方法装置设备

[发明专利]基于3D扫描重构混凝土表面三维粗糙度的测试方法-CN201911065766.7有效
发明人：谢洪波;张雪锋;夏晋;胡淑婷;金伟良 -专利权人：杭州都市高速公路有限公司;浙江大学
申请日： 2019-11-04 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： G01B5/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于3D扫描重构混凝土表面三维粗糙度的测试方法。目前，混凝土结构现场施工过程中，对于装配式混凝土结合界面的粗糙处理未有明确的指导手册，故现场施工处理的混凝土表面粗糙度情况参差不齐。目前工程中一般采用的铺砂法、探针法可用于现场混凝土表面粗糙度检测，但存在一定的局限性，如铺砂法易受到人为主观因素影响，且检测精度较低；而探针法检测的粗糙度值仅仅为混凝土表面的二维表征，但实际粗糙度应是一个三维指标故本发明提出重新建模3D扫描评定混凝土表面三维粗糙度的方法。该方法为：通过制作混凝土表面镜像模型，将镜像模型在实验室内进行3D扫描试验，分析计算获得三维粗糙度指标值。
基于扫描混凝土表面三维粗糙测试方法

[发明专利]一种基于法向量统计特性的零部件表面粗糙度测量方法-CN202310059675.2在审
发明人：赵永强;郭阳;林曦;姚乃夫 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2023-01-19 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于法向量统计特性的零部件表面粗糙度测量方法，首先获取粗糙度对比样块表面四个偏振角度的红外图像，通过求解斯托克斯矢量计算出红外辐射的偏振参数，建立目标红外辐射偏振特性与表面法向量之间的关系，其次从粗糙度对比样块中选择一个样块并提取出该样块内区域的法向量平均值，再计算余弦相似度均值，依次获取不同标准粗糙度模块的法向量平均余弦相似度，然后建立最小二乘拟合模型，拟合出粗糙度对比样块表面的法向量平均余弦相似度‑粗糙度函数模型，最后计算出待测量的目标表面法向量平均余弦相似度并带入模型即可得到粗糙度值。
一种基于向量统计特性零部件表面粗糙测量方法

[发明专利]控制研磨速率的载具头膜粗糙度-CN200980150054.3有效
发明人：荣·J·派克;阿施施·布特那格尔;卡泽拉·瑞玛雅·纳伦德瑞纳斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2009-12-09 - 公布日： 2011-11-16 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：一种设备，包含可挠性膜，用于与基材化学机械研磨设备的载具头一起使用，该膜包含外表面，其提供基材接收表面，其中该外表面具有中心部分及环绕该中心部分的边缘部分，其中该中心部分具有第一表面粗糙度而该边缘部分具有第二表面粗糙度，该第一表面粗糙度大于该第二表面粗糙度。
控制研磨速率载具头膜粗糙

[发明专利]粗糙度传感器及粗糙度等级评估与三维评价装置与方法-CN202310780943.X有效
发明人：宋乐;路斯莹;于德鑫;刘益维;陶乐颖;陈佳一;陈伟民;杨永;郑叶龙;房丰洲 -专利权人：天津大学
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明提供了一种粗糙度传感器及粗糙度等级评估与三维评价装置与方法，所述粗糙度传感器包括保护膜、红外反射膜、力敏感层、支撑板、微透镜阵列和基底，所述装置包括粗糙度传感器以及侧开成像口的硬管内窥镜，所述装置通过深度学习算法实时给出接触探测表面的粗糙度等级，并可通过抽取视频帧得到单帧图片下接触位置的粗糙度三维评价参数值，通过矩阵均衡化方法进行被测表面形貌的三维参数评价，对物体表面感知的高触觉灵敏度，图像视觉的立体维度、等级评估的实时性和参数评价的全面性等方面具有较大优势，为内壁、孔洞等狭小空间物体表面探测和粗糙度评估提供技术支持。
粗糙传感器等级评估三维评价装置方法

[发明专利]一种表面分析、仿真与重构系统-CN201610304570.9有效
发明人：黄伟峰;胡松涛;刘向锋;刘莹;王玉明 -专利权人：清华大学
申请日： 2016-05-10 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种表面分析、仿真与重构系统，解决了表面分析、仿真和重构的问题；由表面输入、多尺度表面分析、粗糙度表面分析、数据显示和数据输出五个子模块构成表面分析模块，单独实现对用户指定表面的分析功能；由表面参数与函数输入、粗糙度表面仿真、粗糙度表面误差分析、多尺度表面仿真、多尺度表面误差分析和数据输出六个子模块构成表面仿真模块，单独实现对用户指定表面的仿真功能；联合使用表面分析与表面仿真模块，实现对用户指定表面的重构功能；本发明适合于多尺度表面和粗糙度(高斯或非高斯)表面，粗糙度表面特别涉及多工艺表面(例如汽车发动机内采用平顶珩磨方式加工的内缸表面)和磨损表面等分层粗糙度表面。
一种表面分析仿真系统

[发明专利]钽环滚花表面粗糙度控制方法-CN201811226171.0在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;毛杰 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2018-10-19 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： B24B29/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，涉及半导体的技术领域，包括在滚花后的工件表面进行抛光；抛光后检查工件上的花纹平面是否一致；确认抛光完成后，对工件表面进行粗糙度检测，确认工件表面粗糙度的一致性本发明的目的在于提供一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，对环件表面花纹进行抛光处理，使环件表面花纹粗糙度一致，花纹高低平整，从而提高产品在客户端的使用性能。
粗糙度控制滚花表面抛光钽环表面花纹工件表面环件花纹工件表面粗糙度粗糙度检测检查工件抛光处理使用性能粗糙度滚花半导体平整客户

[发明专利]显示装置-CN202210271930.5在审
发明人：柳洙昌;郭先中 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-03-18 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G09F9/30 文献下载
摘要：一种显示装置，包括：显示面板，包括被配置为绕折叠轴可折叠的折叠区域和与所述折叠区域相邻的非折叠区域；以及窗，在所述显示面板上并且被配置为与所述显示面板一起可折叠，其中：所述显示面板的侧表面在所述折叠区域中具有第一表面粗糙度并且在所述非折叠区域中具有第二表面粗糙度；所述第一表面粗糙度低于所述第二表面粗糙度；并且所述窗的侧表面在所述非折叠区域和所述折叠区域中具有相同的表面粗糙度。
显示装置

[发明专利]适合于冷连轧机组的上下工作辊表面原始粗糙度综合设定方法-CN201510386343.0有效
发明人：王康健;郑涛 -专利权人：宝山钢铁股份有限公司
申请日： 2015-06-30 - 公布日： 2017-10-31 - 主分类号： B21B37/30 文献下载
摘要：一种适合于冷连轧机组的上下工作辊表面原始粗糙度综合设定方法，属冷轧领域，其根据机组带钢上下表面压印率相对系数，收集换辊周期内产品的工艺参数和现场设备工艺参数，得到生产第k卷时的上、下工作辊的实时粗糙度，计算上、下辊粗糙度优化设定值，通过设定合理的上、下工作辊表面原始粗糙度，使带钢上、下表面的乳化液附着量差异通过上、下工作辊的粗糙度设定来进行补偿，进而减小了带钢上下表面的粗糙度差异，保证了带钢表面质量。可广泛用于冷连轧机组上、下工作辊表面的加工处理以及冷连轧机组的生产工艺控制领域。
适合于轧机上下工作表面原始粗糙综合设定方法

[发明专利]一种激光切割工艺设计方法及系统-CN202211181738.3在审
发明人：计效园;王治国;陈嘉龙;王泽明;涂先猛;王伟;周圣智;罗建东;周建新;任黎平 -专利权人：华中科技大学;中国核动力研究设计院
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G06F30/27 文献下载
摘要：本发明提供一种激光切割工艺设计方法及系统，包括：确定训练好的神经网络模型；其包括：BP隐层和ELM隐层；确定激光切割产品的目标粗糙度，并利用教与学算法根据所述目标粗糙度初步设计多组工艺参数；将初步设计的各组工艺参数输入到训练好的神经网络模型，分别预测按照所述各组工艺参数切割得到产品的上下表面粗糙度；结合目标粗糙度和各组工艺参数预测得到的粗糙度，利用模糊优选法从初步设计的多组工艺参数选取一组最优的工艺参数，以便基于教与学算法再次为所述目标粗糙度设计对应的工艺参数，并循环执行上述粗糙度预测、目标函数选取以及再次设计工艺参数的过程，直至预测的上下表面粗糙度达到目标粗糙度。
一种激光切割工艺设计方法系统

[发明专利]一种表面粗糙度仪支架及表面粗糙度测量装置-CN201910070763.6在审
发明人：温树彬;郑锦标;张振;陈建立;孙东辰;陈冬梅 -专利权人：佛山职业技术学院
申请日： 2019-01-25 - 公布日： 2019-04-23 - 主分类号： G01B5/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种表面粗糙度仪支架及表面粗糙度测量装置，支架包括：调整盘、角度盘和定位销；所述角度盘设有：第一连接部、轴杆和销孔阵列，轴杆与所述角度盘法向连接；所述调整盘设有：第二连接部、连接孔和至少一个定位孔装置包括所述支架、高度仪和表面粗糙度测量仪。该发明主要用于零件表面粗糙度的测量中。
销孔调整盘角度盘支架轴杆表面粗糙度测量装置表面粗糙度仪定位孔定位销连接孔孔心表面粗糙度测量仪第二连接部第一连接部穿过零件表面轴杆转动圆心呈弧状粗糙度高度仪中轴线法向测量

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