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[发明专利]一种硅片的夹具损伤的预测方法及装置、硅片-CN202110868906.5在审
发明人：赖信;胡浩;张俊宝;宋洪伟;陈猛 -专利权人：上海超硅半导体股份有限公司;重庆超硅半导体有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片的夹具损伤的预测方法及装置、硅片，其中，硅片的夹具损伤的预测方法包括：获取硅片的边缘区域的设定区域在沿径向方向的厚度变化速率的快慢；所述径向方向由所述硅片的中心区域指向所述边缘区域；若所述设定区域的厚度变化速率的快慢超出安全速率区间，则判定所述硅片的表面处于易被夹具损伤的易损伤状态。本发明提供的技术方案，可降低夹具对硅片表面损伤的可能性，提高硅片质量。
一种硅片夹具损伤预测方法装置

[发明专利]含惰性气体原子的晶格损伤层的重结晶方法-CN202111105985.0在审
发明人：何力;骆军委;温书育;朱元昊;刘昊文;管闪 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： H01L21/208 文献下载
摘要：本发明公开了一种含惰性气体原子的晶格损伤层的重结晶方法，包括：制备一种表面具有晶格损伤的晶体材料，其中，晶体材料的晶格损伤层含有惰性气体原子；利用脉冲激光对晶格损伤层进行辐照使晶格损伤层熔融；通过液相外延生长，获得晶格损伤层的重结晶。
惰性气体原子晶格损伤重结晶方法

[发明专利]基于激光声表面波的硅片加工表面损伤和残余应力表征方法-CN202111574343.5在审
发明人：林滨;刘再蔚;梁小虎;杜安尧;马小康 -专利权人：天津大学
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：本发明属于超声检测的技术领域，具体涉及基于激光声表面波的硅片加工表面损伤和残余应力表征方法，包括建立正演模型，基于正演模型构建声表面波频散数据的反演模型和数据误差函数，进行激光超声实验激发复频声表面波，进行频散分析得到相应的频散数据，基于实验频散数据及构建的反演模型计算得到所测区域的亚表面损伤及残余应力。本发明可准确量化硅片加工表面的亚表面损伤程度及残余应力大小，并且，其测量结果具有更高的检测精度与可信度。
基于激光表面波硅片加工表面损伤残余应力表征方法

[发明专利]一种光学薄膜损伤过程中表面温度的实时测量方法-CN201611221680.5有效
发明人：凌秀兰;田二明;刘晓凤;颜兵;王高 -专利权人：中北大学
申请日： 2016-12-19 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： G01K11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种光学薄膜损伤过程中表面温度的实时测量方法，步骤是：(1)、调整光路：使得波长为λ₁的激光辐照在待测样品上；(2)、通过透镜的移动调节结构，使波长为λ₁的激光辐照在待测样品上有合适的光斑大小；(3)、进行纳秒脉冲激光诱导光学薄膜损伤的测量：启动第一激光器、第二激光器、移动平台、能量计及CCD在线损伤判断装置判断待测样品是否出现损伤；(4)、进行损伤过程中表面温度的测量：CCD在线损伤判断装置，启动第三激光器，使波长为λ₃的探测激光与波长为λ₁的主激光有一定的角度辐照在待测样品上，同时调节两个Si雪崩光电二极管探测器和示波器，记录待测样品表面的热反射信号，以确定样品表面在主激光辐照下损伤破坏过程中的温度变化。
一种光学薄膜损伤过程表面温度实时测量方法

[发明专利]一种基于静电感应的金属表面接触损伤在线监测系统及监测方法-CN201110403483.6无效
发明人：左洪福;徐一鸣;陆晓华;陈志雄 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2011-12-07 - 公布日： 2012-06-27 - 主分类号： G01N27/61 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于静电感应的金属表面接触损伤在线监测系统及监测方法，该系统包括由静电感应头、屏蔽罩、绝缘部件、电荷放大电路组成的静电传感器，由计算机及信号处理程序、信号调理采集硬件组成的信号采集分析系统利用这套系统可以在线监测金属表面接触损伤，判断金属表面是否发生接触损伤，以及判断损伤发生的程度，该监测系统和方法，属于直接监测损伤表面，可以替代已经普遍使用的振动信号监测、温度监测等二次影响参数的监测系统和方法
一种基于静电感应金属表面接触损伤在线监测系统方法

[发明专利]一种利用光偏转法测试混凝土表面空化损伤的方法及装置-CN202310556448.0在审
发明人：徐桂弘;段莉;张著芳;陈永胜;李振学;任旭;张强;张卫彪 -专利权人：贵州理工学院
申请日： 2023-05-17 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明提供一种利用光偏转法测试混凝土表面空化损伤的方法及装置，将表面光滑的试块置于水槽内，将水槽内的水位调整至淹没试块指定高度；通过YAG激光器发出激光，激光经过衰减片和扩束准透镜，再由聚焦透镜聚焦在水箱中的试块表面，使试块表面处形成空泡，空泡经演化和溃灭过程，对试块壁面造成损伤，空泡的演化和溃灭过程通过高速摄像机录制；再将试块表面暴露于空气中，通过He‑Ne激光器发出激光对混凝土试块表面损伤处进行光偏转观测。以解决现有方法及设备无法针对空泡溃灭时对固体结构表面造成的损伤程度进行研究的问题。属于混凝土结构材料伤损维护技术领域。
一种利用偏转测试混凝土表面损伤方法装置

[发明专利]中空囊状件修复方法-CN202010160741.1有效
发明人：乔纳森·A·圣地亚哥;迈克尔·A·李;金·昂格;约翰·D·莫里斯 -专利权人：波音公司
申请日： 2020-03-10 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B29C73/10 文献下载
摘要：本文公开了中空囊状件修复方法，具体地，一种修复由固化的弹性体制成的中空囊状件的外表面中的表面损伤的方法。该方法包括由未固化的弹性体制成的第一条带至少部分地并排布置在中空囊状件的外表面内的表面损伤内。该方法还包括将表面损伤、第一条带和外表面的围绕该表面损伤的一部分密封在真空袋中。该方法还包括相对于真空袋外部减小真空袋内的压力。
中空囊状件修复方法

[发明专利]基于光纤光谱技术的苹果表面早期损伤快速无损识别方法-CN201811021625.0在审
发明人：孟庆龙;张艳;尚静 -专利权人：贵阳学院
申请日： 2018-09-03 - 公布日： 2019-01-25 - 主分类号： G06K9/62 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光纤光谱技术的苹果表面早期损伤快速无损识别方法，该方法包括以下步骤：收集完好无损和表面有轻微损伤苹果样本随机分配，建立校正样本集和检验样本集；利用光谱采集系统采集校正样本集和检验样本集中苹果样本的光谱反射率，得到校正和检验样本集原始光谱数据；采用标准正态变换（SNV）对原始光谱数据进行预处理，并利用主成分分析方法对预处理后的光谱数据进行降维，以提取能反映苹果表面早期损伤的特征光谱，建立校正和检验样本集特征数据库；最后，利用简化的K最近邻（SKNN）模式识别方法，建立苹果表面早期损伤的识别模型。本发明基于光纤光谱技术结合化学计量学，可快速、无损识别出表面有轻微损伤的苹果。
损伤检验样本苹果表面校正光纤光谱无损预处理原始光谱数据样本集苹果样本光谱采集系统光谱反射率化学计量学特征数据库主成分分析光谱数据技术结合模式识别随机分配特征光谱正态变换最近邻降维采集

[发明专利]基于断裂强度的脆性材料亚表面损伤深度快速评估方法-CN202110856355.0在审
发明人：杨晓京;杜广源;刘用;刘卓;姚同 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2021-07-28 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于断裂强度的脆性材料亚表面损伤深度快速评估方法，包括：S1、制备试样；S2、维氏压痕试验生成并估算中位裂纹深度；S3、测出试样的断裂强度；S4、通过对断裂强度及中位裂纹深度进行线性拟合，根据拟合曲线获得待测研磨后试样断裂强度与亚表面损伤深度的关系式，根据关系式推算出亚表面损伤深度。本发明根据待测材料断裂强度与亚表面损伤深度的关系式推算出试样亚表面损伤深度，为以后的同类脆性材料提供SSD指导；该方法所得结果与黏结截面切片技术测量的SSD深度值相比较，结果表明，它们之间具有良好的一致性
基于断裂强度脆性材料表面损伤深度快速评估方法

[发明专利]一种薄皮水果亚表面机械损伤检测方法-CN202310739385.2在审
发明人：王玉伟;朱浩杰;杨玲玲;王子龙;饶元;侯文慧;刘路;廖娟 -专利权人：安徽农业大学
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明涉及水果机械损伤检测技术领域，公开了一种薄皮水果亚表面机械损伤检测方法，包括以下步骤：S1搭建光照明反射成像系统，并采集灰度反射图像；S2利用三相解调算法从灰度反射图像中求解出直流分量图像与交流分量图像本发明采用结构光照明反射成像技术，解决了水果亚表面机械损伤区域因表面几乎看不见而导致的难检测问题；使得水果亚表面机械损伤区域呈现更好的对比度；解决了水果近似球形形状导致靠近边缘区域的亚表面机械损伤难以被有效检测的问题
一种水果表面机械损伤检测方法

[发明专利]一种检测球面光学元件亚表面损伤程度表征参数的方法-CN201410330795.2有效
发明人：王海容;陈洪凤;肖利辉;付广龙;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2014-07-11 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明公开了一种检测球面光学元件亚表面损伤程度表征参数的方法，其特征在于，采用磁流变抛光工艺在球形光学元件上加工出一环形截面，腐蚀处理加工后的环形截面，使用激光共聚焦显微镜观察暴露、放大的微裂纹形貌，对微裂纹二维图像进行测量处理和计算，得到重积层在抛光后环形截面上的宽度W、亚表面损伤层在抛光后环形截面上的宽度S、微裂纹的长度AB、密度及微裂纹与亚表面损伤层外径的夹角θ；通过已知的球面光学元件的曲率半径R，以及所得数据信息，根据平面几何关系，计算获得球面光学元件亚表面损伤层厚度dssd、亚表面损伤层的深度hssd、微裂纹在光学元件球面上的径向长度dscrack。
一种检测球面光学元件表面损伤程度表征参数方法

[发明专利]大口径元件表面检测装置及相应的损伤快速定位方法-CN201410041410.0有效
发明人：张峰;张正涛;史亚莉;陶显;徐德 -专利权人：中国科学院自动化研究所
申请日： 2014-01-28 - 公布日： 2014-04-16 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明公开了一种大口径光学元件表面损伤检测装置。该装置包括：线阵相机组件，获取光学元件表面局部低精度线阵图像；显微相机组件，获取光学表面局部高精度面阵图像；扫描聚焦组件，控制线阵相机组件和显微相机组件对光学元件表面的扫描、定位和聚焦；专用夹具，对光学元件进行定位夹紧和姿态调整本发明还公开一种元件损伤的快速定位方法。该方法通过在线阵图像中指定感兴趣损伤点，将显微相机组件的轴心快速移动到损伤点位置。本发明能够对光学元件表面的损伤进行快速定位，并进行高精度的显微成像，定位精度约为50微米。本发明具有广泛的应用前景和可观的社会经济效益。
口径元件表面检测装置相应损伤快速定位方法

[发明专利]一种晶体硅RIE制绒表面损伤层的清洗工艺-CN201210202913.2有效
发明人：赖涛;刘杰;王慧;姜丽丽;路忠林;盛雯婷;张凤鸣 -专利权人：天威新能源控股有限公司;保定天威集团有限公司
申请日： 2012-06-19 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶体硅RIE制绒表面损伤层的清洗工艺，包括以下步骤：（1）对RIE刻蚀后的硅片表面损伤层进行去离子水表面预清洗；（2）制备清洗溶液，该清洗溶液为HF、HCl和H2O2的混合溶液，并且HF、HCl和H2O2按体积比为3～15：3～15：1～5；（3）使用清洗溶液对硅片进行去损伤层清洗4～15min。本发明的清洗工艺对损伤层的刻蚀速率较慢，确保在刻蚀过程不对硅片表面绒面结构产生影响，适用于晶体硅RIE制绒的精细化表面结构的去损伤过程；工艺过程简单，无需经过碱洗和二次酸洗，大大减少了工艺流程，节省了原料
一种晶体 rie 表面损伤清洗工艺

[发明专利]管道缺陷表面完整性检测装置及其检测方法-CN201010607380.7无效
发明人：白桦;高立新;陈冰 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2010-12-27 - 公布日： 2011-08-24 - 主分类号： F17D5/06 文献下载
摘要：管道缺陷表面完整性检测装置及其检测方法，它为解决现有管内检测装置对不同材质、不同类型缺陷的检测敏感度各不相同，测量数据间相互独立，很难准确判断管道损伤程度的问题而提出。检测组件的超声检测数据信号输出输入端、图像检测数据信号输出输入端和位置信息数据输出端分别连控制组件的超声检测数据信号输入输出端、图像检测数据信号输入输出端和位置信息数据输入端，一、获取管道损伤表面的图像数据并计算出管道缺陷表面区域及损伤特征参数；二、对限定区域内的厚度信息的检测；三、进行缺陷表面及损伤区域完整性三维实体建模；四、运用有限元分析方法得到结果。它可准确地判断管道损伤程度并适用于需要对缺陷表面完整性检测的场合。
管道缺陷表面完整性检测装置及其方法

[发明专利]一种结构损伤在线实时监测方法及系统-CN201710818527.9在审
发明人：张玉燕;杨德功;王振春;郭全丽;温银堂;孙娜;李永保;李万达 -专利权人：燕山大学
申请日： 2017-09-12 - 公布日： 2017-12-22 - 主分类号： G01N29/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种结构损伤在线实时监测方法及系统，该方法或者该系统通过对方向垂直于结构的微小振动响应信号采用集合经验模分解算法，得到第一阶固有频率和第二阶固有频率，并判断第一阶固有频率和第二阶固有频率与未损伤结构的固有频率是否相等；若是则确定结构表面未发生损伤；若否则确定结构表面发生损伤，并计算不同滑动次数不同测量点的能量值；比较不同滑动次数某一测量点的能量值与未损伤结构的对应的测量点的能量值是否都相等；若是则确定该测量点未损伤；若否则该测量点是损伤位置。因此，采用本发明提供的方法或者系统，能够在高频、高速背景条件下，实时检测结构瞬态微小损伤并确定损伤位置。
一种结构损伤在线实时监测方法系统