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- [实用新型]一种新型熏制设备-CN201620803531.9有效
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高孝雪
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高孝雪
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2016-07-28
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2017-03-01
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A23B4/044
- 本实用新型公开了一种新型熏制设备,其结构包括烟熏机和烟熏架,烟熏机由支脚、锁头、门、铰链、控制台、警报灯、电机、烟熏室、框架、观察窗口组成,烟熏架由平面、支架、轮子组成,支脚固定装设在框架下,锁头与门活动连接,门通过铰链与框架活动连接,控制台固定装设在框架上,警报灯与框架固定连接,电机与框架固定连接,烟熏室固定装设置在框架内,观察窗口与门固定连接,平面与支架固定连接,支架下固定装设着轮子,控制台由蒸发时间显示器、蒸发温度显示器、烘干时间显示器、烘干温度显示器、蒸发时间显示器开关、蒸发温度显示器开关、控制台表面组成,本实用新型烟熏室内活动设有一个烟熏架,有效利用了烟熏室内的空间,提高生产效率。
- 一种新型熏制设备
- [发明专利]一种直写式真空蒸发系统及其方法-CN201480000021.1有效
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闫鹏;张立源;张震;郭雷
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北京航空航天大学
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2014-01-03
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2014-07-23
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C23C14/30
- 本发明提出一种直写式真空蒸发系统及其方法,属于镀膜加工领域。装置包括电子束发生装置、真空蒸发室、真空系统、样品室、驱动器、多路信号采集调理模块、主控计算机、量子检测台、控制柜、显示与检测模块。方法包括:步骤1,准备;步骤2,抽真空;步骤3,定位;步骤4,靶材蒸发;步骤5,靶材束沉积镀膜;步骤6,样品台特定轨迹运动;步骤7,判断;步骤8,量子效应检测;步骤9,是否具有量子效应。本发明克服了现有真空蒸发系统中样品固定的镀膜机制,控制蒸发材料以直写形式镀膜到做超精密运动的基片表面,实现了量子功能器件制备中对图案、点阵和多层结构的加工要求,有效提高了真空蒸发镀膜的精度、效率和功能。
- 一种直写式真空蒸发系统及其方法
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