专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体工艺设备及其处理方法-CN202210444781.8在审
  • 汤中海;张建坤;赵尊华;胡海洋;桑强强;蔡亲华 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2022-04-26 - 2022-08-05 - H01L21/67
  • 本申请实施例提供了一种半导体工艺设备及其处理方法。该半导体工艺设备的处理方法,用于在对晶圆执行工艺之前对工艺腔室内进行处理,包括:对工艺腔室内的残留物进行清理;在清理后的工艺腔室内壁上沉积第一致密氧化物层;对第一致密氧化物层进行致密处理,以在第一致密氧化物层表面上形成第二致密氧化物层,其中,第二致密氧化物层的含氧量大于第一致密氧化物层的含氧量。本申请实施例通过在工艺腔室内壁上形成第一致密氧化物层及第二致密氧化物层,并且第二致密氧化物层的致密性较佳,使其在刻蚀工艺过程中不会因为疏松而剥落为颗粒,避免其对晶圆造成污染,从而大幅提高刻蚀工艺良率。
  • 半导体工艺设备及其处理方法
  • [发明专利]基板处理方法-CN201780053159.1有效
  • 樋口鲇美;岩崎晃久 - 株式会社斯库林集团
  • 2017-09-20 - 2023-08-22 - H01L21/304
  • 本发明的基板处理方法对在表面形成有低介电常数覆膜的基板W进行处理。执行致密化工序,在该致密化工序中,通过使低介电常数覆膜的表层部致密化来转换成致密化层。然后,执行修复液供给工序,在该修复液供给工序中,在致密化层形成工序之后,向低介电常数覆膜的表面供给用于修复致密化层的修复液。
  • 处理方法
  • [发明专利]一种粉末冶金烧结致密化工艺-CN202310046049.X在审
  • 廖永红;祁羽;许家诚 - 惠州丰楷电子科技有限公司
  • 2023-01-30 - 2023-05-12 - B22F3/10
  • 本发明涉及一种粉末冶金烧结致密化工艺,上述粉末冶金烧结致密化工艺步骤简练精妙、容易操控,压坯件成型步骤将金属粉末制成毛坯件,初步真空烧结步骤将毛坯件进行初步烧结成为初步烧结件,加强保护烧结步骤对初步烧结件进行再次烧结成为次级烧结件表层烧结致密处理步骤对次级烧结件的表面进一步地烧结加强,成为致密性更好的终极烧结件。压轧加强致密处理步骤对终极烧结件进行旋煅致密处理,进一步地加强了终极烧结件的致密性。上述粉末冶金烧结致密化工艺生产出来的金属件致密性高、结构强度大、机械性能强、硬度高、耐腐蚀性强大。
  • 一种粉末冶金烧结致密化工
  • [发明专利]一种钼铜合金品质改良的方法-CN202110392091.8在审
  • 王敬泽;尹佳庆;常晶;翁冠军;孙云龙 - 哈尔滨理工大学
  • 2021-04-12 - 2021-07-13 - B22F3/24
  • 本发明通过以下步骤获得高品质的钼铜合金:1)通过理论计算,确定钼铜合金致密化的可行性,确定致密化热处理的温度及时间;2)将宏观裂纹明显的钼铜合金进行温挤压预处理,预处理温度为400℃~700℃;3)将钼铜合金放入热处理炉,使合金致密化,致密化温度分别为700℃~900℃,致密化时间分别为0h~10h;4)通过OM观察致密化热处理后的钼铜合金;5)观察钼铜合金硬度随时间变化曲线并绘制图谱;6)观察钼铜合金硬度随温度变化曲线并绘制图谱该方法提供的制备方法可操作性强、成本低,解决了市售钼铜合金孔洞多、致密度差问题,可以制备致密度高且性能较好的钼铜合金材料。
  • 一种铜合金品质改良方法
  • [发明专利]一种粉末冶金表面致密化的方法-CN201510763661.4在审
  • 董金杨;邓恩龙;官劲松 - 扬州保来得科技实业有限公司
  • 2015-11-11 - 2016-02-17 - B22F3/24
  • 本发明公开了一种粉末冶金表面致密化的方法,粉末冶金零件烧结后先进行精整处理,以达到预定的表面平面度水平;接着进行擦拭、洗净处理,去除表面异物;再接着进行表面挤压处理,实现表面致密化;其中,挤压设备为CNC车床,挤压刀进给量为0.23-0.27mm;经过上述表面致密处理后,在零件表面形成140-160um厚度的致密化层,致密化层密度大于7.6g/cm3。本发明具有的优点有:该对粉末冶金零件表面进行挤压处理的方法,使得零件表面致密化,致密层密度可以达到7.6g/cm3以上,同时使表面层具有较高的硬度及较好的耐磨性能,从而满足零件特殊使用要求
  • 一种粉末冶金表面致密方法
  • [发明专利]一种高温炉用炭/炭进气喷嘴的制备方法-CN200810018028.2有效
  • 李永军;肖志超;侯卫权;谢乔;彭志刚;苏君明;孟凡才 - 西安超码科技有限公司
  • 2008-04-23 - 2008-11-26 - C04B35/83
  • 本发明涉及一种高温炉用炭/炭进气喷嘴的制备方法,采用针刺平纹炭布准三向结构预制体;通过化学气相渗透、树脂浸渍-炭化致密预制体,反复致密处理数次;在一定的温度下对致密的毛坯进行高温处理,以增大其表面的开孔率,然后进一步进行致密处理;采用树脂-炭化致密工艺,到密度≥1.75g/cm3致密工艺结束,最终高温纯化处理后进行机械加工,对表面进行CVD涂层即可制得炭/炭进气喷嘴。本发明采用化学气相渗透、树脂浸渍-炭化相结合的工艺方法致密制成炭/炭喷嘴材料,在用于多晶硅氢化炉用进气喷嘴方面,可有效的提高进气喷嘴的强度,提高喷嘴的抗冲刷能力、耐腐蚀能力,延长喷嘴的使用寿命和降低喷嘴的更换率
  • 一种高温炉用炭炭进气喷嘴制备方法

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