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[发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN201210174363.8无效
发明人：宫本英典;佐保田勉 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2012-05-30 - 公布日： 2012-12-05 - 主分类号： B05C9/14 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法，该基板处理装置具备：第一腔，其具有将含有易氧化性的金属及溶剂的液状体的涂敷膜形成在基板上的涂敷部；第二腔，其具有加热所述涂敷膜的第一加热部；连接部，其将所述第一腔与所述第二腔之间连接，其中，在所述连接部设有对涂敷在所述基板上的所述涂敷膜进行加热的第二加热部及对所述涂敷膜的周围的压力进行调整的压力调整部。
处理装置方法

[发明专利]多层涂敷膜的制造方法-CN200910211616.2无效
发明人：伊藤洁 -专利权人：大日本印刷株式会社
申请日： 2009-09-30 - 公布日： 2010-05-26 - 主分类号： G03C1/74 文献下载
摘要：本发明涉及一种多层涂敷膜的制造方法，其具有预先将多个涂敷液进行多层化后，使多层化的涂敷液转移至基材上的工序，其特征在于，在将要层叠的2种涂敷液之间，插入同时含有所述2种涂敷液所分别含有的被膜形成成分且其合计浓度比所述2种涂敷液的各浓度都高的涂敷液作为中间层，从而进行多层化。该制造方法不使用调节粘度以进行层叠的凝胶化剂，同时涂布多种涂敷液，从而可以简便且生产性良好地制造层间密合性极其优异的多层涂敷膜。
多层涂敷膜制造方法

[发明专利]基片处理方法和基片处理装置-CN202010293846.4在审
发明人：高桥哲平 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-04-15 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：处理基片的基片处理方法包括：(a)通过旋涂法在基片的表面涂敷涂敷液来形成涂敷膜的步骤；(b)对在上述(a)步骤中形成于基片的表面周缘部的上述涂敷膜的凸部，供给上述涂敷液的溶剂的步骤；和(c)在停止供给上述溶剂的状态下本发明能够除去形成在基片的表面周缘部的涂敷膜的凸部，使该涂敷膜在基片面内均匀地形成。
处理方法装置

[发明专利]偏振膜的制造方法-CN202080017318.4有效
发明人：大学纪二;山崎达也 -专利权人：日东电工株式会社
申请日： 2020-03-25 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： B05D3/00 文献下载
摘要：本发明的目的在于，提供连续且稳定地制造起偏镜与粘合剂层、及透明保护膜与粘接剂层的粘接性优异的偏振膜的方法。本发明的偏振膜的制造方法包括：在起偏镜的贴合面涂敷含有SP值为21.0(MJ/m3)1/2以上且26.0(MJ/m3)1/2以下的聚合性化合物X的易粘接组合物而形成第1涂膜的第1涂敷工序；在透明保护膜的贴合面涂敷含有上述聚合性化合物X的粘接剂组合物而形成第2涂膜的第2涂敷工序；对上述第1涂膜及上述第2涂膜的厚度进行在线测定的厚度测定工序；以及基于通过上述在线测定得到的上述第1涂膜及上述第2涂膜的厚度，以使将上述第1涂膜及上述第2涂膜贴合而得到的未固化粘接剂层中的上述聚合性化合物X的含量成为40～64质量％的方式调节上述第1涂敷工序中的上述易粘接组合物的涂敷量和/或上述第2涂敷工序中的上述粘接剂组合物的涂敷量的涂敷量调节工序。
偏振制造方法

[发明专利]制造坐标检测器的方法-CN200910139063.4有效
发明人：近藤幸一 -专利权人：富士通电子零件有限公司
申请日： 2009-05-15 - 公布日： 2009-11-18 - 主分类号： G06F3/045 文献下载
摘要：本发明提供一种制造具有电阻膜和用于对电阻膜施加电压的公共电极的坐标检测器的方法，包括以下工序：(a)在形成于由绝缘体构成的基板上的电阻膜上涂敷光致抗蚀剂；(b)经过预定的掩模将所涂敷的光致抗蚀剂曝光并随后将所涂敷的光致抗蚀剂显影，从而在电阻膜上形成抗蚀剂图案；(c)通过去除没有抗蚀剂图案的电阻膜的一部分以形成电阻膜去除区域；(d)在工序(c)后去除抗蚀剂图案；以及(e)在工序(d)后在电阻膜去除区域上方形成公共电极。
制造坐标检测器方法

[发明专利]信息记录材料的制造方法及信息记录材料-CN200580016644.9无效
发明人：鬼头宏和 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2005-05-23 - 公布日： 2007-05-02 - 主分类号： B05D1/34 文献下载
摘要：在涂敷前或涂敷中能够以不使涂敷液高粘度化的状态正常地进行同时多层涂敷，且在涂敷后能够高粘度化从而防止层间混合。一种信息记录材料的制造方法，其形成行使的支承体(14)上用滑珠涂敷装置(16)同时多层涂敷了多种涂敷液的多层中的至少一层是信息记录层的多层涂敷膜，并用干燥装置(20)干燥所形成的多层涂敷膜，其中，使多层涂敷液中的至少一种涂敷液含有若相互接触或混合则该涂敷液高粘度化的
信息记录材料制造方法

[发明专利]涂敷方法和涂敷装置-CN201110168382.5有效
发明人：一野克宪;吉原健太郎;吉原孝介 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2011-06-17 - 公布日： 2011-12-21 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明提供一种涂敷方法和涂敷装置，即使在涂敷液例如抗蚀剂液的供给量较少的情况下也能在基板的表面上均匀地形成涂敷膜。涂敷方法包括：预湿工序，将预湿液供给到基板(W)的中心，并且使基板旋转而使预湿液扩散到第1基板的整个表面上；涂敷膜形成工序，向供给了预湿液的基板供给涂敷液(例如抗蚀剂液)，使该涂敷液干燥，从而在上述第1基板的表面形成涂敷膜。采用比涂敷液的表面张力高的混合液体作为预湿液，通过使能够溶解涂敷膜成分(例如抗蚀剂成分)的溶剂、和表面张力高于该溶剂的高表面张力液体混合，获得上述混合液体。
方法装置

[发明专利]扬声器振动膜用边缘及其制造方法-CN03136833.6无效
发明人：高桥良幸;田端信也;沟根信也;清水俊宏;曾根志夫 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2003-05-20 - 公布日： 2004-05-12 - 主分类号： H04R31/00 文献下载
摘要：本发明扬声器振动膜用边缘，品质的不均少，没有由局部的共振产生的走调，没有基本频率(f₀)的偏差，可以轻松地进行振动膜的边缘的柔软性及刚性的变更或修正，抑制了振动膜的共振，或者可以强调共振而使扬声器的周波数特性变更，另外，产品的成本率高，可以降低成本，抑制扬声器的制造成本，提高了品质。由丝网印刷手段将形状赋予剂和表面涂层剂只涂敷在基布10的表面的必要部分上，将涂敷加工实施成环状，由加热成型金属模具加热该部分而成形为环状的可挠性部6b。其后，在扬声器振动膜与框架的粘接部上涂敷热熔粘接剂。
扬声器振动边缘及其制造方法

[发明专利]外周涂敷方法、基片处理装置和存储介质-CN202210545563.3在审
发明人：川北直史 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供外周涂敷方法、基片处理装置和存储介质，其能够抑制基片的外周涂敷中的缺陷。周缘涂敷方法包括：步骤(A)，其对基片的周缘部供给紫外线固化型材料的涂敷液，形成比目标宽度宽的涂敷膜；步骤(B)，其对比上述目标宽度宽的上述涂敷膜中的、具有上述目标宽度的规定的区域，选择性地照射紫外线而使其固化；和步骤(C)，其利用溶剂除去比上述目标宽度宽的上述涂敷膜中的未照射上述紫外线而未固化的部分。
外周涂敷方法处理装置存储介质

[发明专利]剥离膜及其制造方法-CN03124360.6无效
发明人：饭田修治;宫原裕之;高桥丰;川崎薰 -专利权人： TDK株式会社
申请日： 2003-04-02 - 公布日： 2004-10-06 - 主分类号： B32B7/02 文献下载
摘要：通过使剥离层的涂敷条件最佳化，提供一种将陶瓷涂料涂敷在剥离层上时，不发生弹起，结果是从剥离膜上剥离后获得具有良好尺寸形状(特别是宽度方向端部中)陶瓷印刷电路基板的剥离膜及其制造方法。在基体材料膜1的至少一个面上，利用涂敷设置剥离层2形成的剥离膜中，在基体材料膜1的宽度方向两端部具有未涂敷剥离层2的部分，并在涂敷包括剥离层2的由目视识别的端部4和未涂敷部分5的油性墨水9时，不沾着油性墨水9的部分8，从由目视识别的端部4到未涂敷部分5的宽度方向上的长度，在2.0mm以下。
剥离及其制造方法

[发明专利]一种柔性石墨烯发热膜的制备方法-CN201710999407.3在审
发明人：赵荣荣;陈同来;柳伟 -专利权人：中国海洋大学
申请日： 2017-10-24 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： C01B32/194 文献下载
摘要：本发明公开一种柔性石墨烯发热膜，具有如下结构：石墨烯膜/无机固化膜，通过（1）采用涂敷法，将水性石墨烯溶液涂敷至硬性衬底上；（2）采用涂敷法，将无机固化膜涂敷至石墨烯膜表面；（3）烘箱中烘干后，采用直接剥离法，将石墨烯膜/无机固化膜从硬性衬底上剥离出来；（4）获取的石墨烯膜/无机固化膜可以直接贴服至任意衬底材料上，抑或单独使用。上述的石墨烯发热膜，与现有的可加热石墨烯膜相比，具有使用灵便，可耐高温，粘附性好，有良好的机械性能等特点。
石墨烯膜无机固化发热膜柔性石墨涂敷法衬底机械性能烘箱石墨烯膜表面衬底材料单独使用水性石墨剥离法可加热耐高温石墨烯粘附性烘干膜涂涂敷制备剥离

[发明专利]涂敷膜形成方法和涂敷膜形成装置-CN202010017203.7在审
发明人：稻叶翔吾 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-01-08 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明提供一种在基片表面形成涂敷膜的涂敷膜形成方法，其包括：涂敷扩散步骤，在上表面具有开口的涂敷杯状体内，使基片以第1转速旋转，对基片的表面供给用于形成所述涂敷膜的涂敷液，使该涂覆液扩散；和干燥步骤，在所述涂敷扩散步骤之后一边从环状部件与基片表面之间的间隙进行排气，其中，所述环状部件以其中心与基片表面的中心位于同轴上的方式配置在基片的上方，且具有使其外周端部位于与基片的外周端部的位置相同或其外侧的位置的大小，在所述干燥步骤中，与所述涂敷扩散步骤中的涂敷杯状体内的排气相比以更高的压力进行排气由此，能够在基片的面内快速形成均匀性良好的膜厚的涂敷膜。
涂敷膜形成方法装置

[实用新型]一种纸张涂敷装置-CN202320551673.0有效
发明人：黄钦泛;黄晓明;董国俊 -专利权人：上海宝中宝胶粘制品有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B05C9/08 文献下载
摘要：本申请涉及一种纸张涂敷装置，涉及自动化设备技术领域，其包括机架，机架上设有传送电机和与传送电机的输出轴连接的涂敷辊，机架上还设有涂敷电机，涂敷电机的输出轴连接有主动齿，主动齿啮合有从动齿，从动齿连接有存储框，存储框上开设有供硅油放置的存储槽，在进行硅油的涂敷时，可将存储框转动扣于涂敷辊上，淋膜纸通过涂敷辊和存储框之间，存储在存储槽内的硅油便可涂敷在淋膜纸上，机架远离存储框的一侧设有消除淋膜纸上的静电的除静电组件本申请可以实现硅油涂敷厚度可调的效果。
一种纸张装置

[发明专利]一种解决气冷涡轮叶片热障涂层堵孔的方法-CN201611073601.0在审
发明人：程玉贤;王璐;王博;张艺馨;宋佳 -专利权人：沈阳黎明航空发动机（集团）有限责任公司
申请日： 2016-11-29 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： B24B5/48 文献下载
摘要：本发明属于航空发动机气冷涡轮叶片热障涂层涂敷技术，特别是涉及一种解决气冷涡轮叶片涂敷热障涂层过程中堵孔的方法。该方法通过采用表面涂敷有金刚石耐磨涂层的打磨针对涂敷完热障涂层的气膜孔内表面打磨，有效去除气膜孔内的多余热障涂层，同时使气膜孔内壁更加光滑，并打磨电火花打孔时引入的重熔层。采用表面涂敷有金刚石耐磨涂层的打磨针对涂敷完热障涂层的气膜孔内表面打磨，可以有效解决气冷涡轮叶片热障涂层堵孔问题，时间短，且不破坏原有气膜孔形状。
热障涂层气膜孔气冷涡轮叶片打磨涂敷堵孔表面涂敷耐磨涂层金刚石内表面电火花航空发动机有效解决打孔光滑内壁去除重熔引入

[发明专利]有机EL显示器的制造方法-CN201880028327.6有效
发明人：池田文彦 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-04-18 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：一种有机EL显示器的制造方法，其包括光学部件形成步骤，该光学部件形成步骤在预先形成有有机发光二极管的基片上涂敷包含液晶分子和溶剂的光学膜用涂敷液并使其干燥，来形成液晶分子已取向的光学膜。
有机 el 显示器制造方法