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- [发明专利]一种物体探测系统-CN201310060782.3有效
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何继中
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无锡微焦科技有限公司
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2013-02-26
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2013-07-10
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G01N21/88
- 本发明公开了一种物体探测系统，其包括载物台、驱动所述载物台旋转的驱动装置、用于定位所述载物台的位置的光学编码器、用于对于载物台上的目标物体进行探测的探测器以及控制模块。在扫描模式时，所述控制模块根据来自光学编码器的第一分辨率刻度数据去控制所述驱动装置以第一预定转速驱动所述载物台旋转以进行缺陷扫描。在检测模式时，所述控制模块根据来自光学编码器的第二分辨率刻度数据去控制所述驱动装置以第二预定转速驱动所述载物台旋转以进行缺陷检测。一方面，利用低分辨率刻度数据进行高速缺陷扫描，同时结合时间偏差及转速来精确定位缺陷位置，另一方面，利用高分辨率刻度数据进行低速缺陷定位，从而兼顾了快速扫描和精确的缺陷检测。
- 一种物体探测系统
- [发明专利]一种基于TFNet的晶圆工艺缺陷分类分割方法-CN202310889434.0在审
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陈一宁;罗悦宁;高大为
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浙江大学
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2023-07-18
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2023-10-20
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G06V20/69
- 本发明涉及一种基于TFNet的晶圆工艺缺陷分类分割方法,包括：将初始缺陷sem图输入至特征提取网络中，生成特征映射；将特征提取网络中其中一个编码器块输出的特征映射输入至形状流分支中，生成第一拼接特征；将特征提取网络中最后一个编码器块输出的分辨率最小的第五特征映射与第一拼接特征进行拼接，获取第二拼接特征；将第二拼接特征输入至卷积核中，生成拼接特征；将所述拼接特征与编码器块输出的特征映射共同输入至MCF交叉注意模块，获取融合特征；将融合特征输入至解码器中，生成mask图；将mask图输入至网络分类头，生成缺陷类别和混淆矩阵。本发明可以高速准确地分割缺陷图像，具有良好的泛化性和分割效果，有助于实现对相应缺陷工艺的修复改进。
- 一种基于tfnet工艺缺陷分类分割方法
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