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[发明专利]一种线宽测量方法和线宽测量系统-CN201910282144.3有效
发明人：曾赞廷;褚忠涛 -专利权人： TCL华星光电技术有限公司
申请日： 2019-04-09 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： G01B21/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种线宽测量方法和线宽测量系统，所述线宽测量方法包括以下步骤：获取待测产品的工艺类型；根据所述待测产品的工艺类型对所述线宽测量机进行机差调整；采用机差调整后的线宽测量机对所述待测产品进行线宽测量线宽测量机对不同工艺类型的待测产品进行线宽测量前都进行了相应的机差调整，及时消除机差对测量结果的影响，保证了不同工艺类型的待测产品的产险判断，提高了不同工艺类型的待测产品的品质。
一种测量方法测量系统

[发明专利]图形线宽测量方法及系统、数据处理装置-CN201811365293.8有效
发明人：成在文 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种图形线宽测量方法及系统、数据处理装置。该图形线宽测量方法包括：获取掩膜板的待测量区域的光透过率信息，所述掩膜板包括多个待测量区域；根据所述待测量区域的光透过率信息和预先建立的光透过率信息和图形线宽信息的对应关系，确定出所述待测量区域的光透过率信息对应的图形线宽信息本发明所提供的图形线宽测量方法及系统、数据处理装置，能够实现对掩膜板所有区域的图形线宽进行测量，准确地测量出掩膜板所有区域的图形线宽均匀性。
图形测量方法系统数据处理装置

[发明专利]一种阻抗线宽的测量方法、计算机可读存储介质-CN202310263278.7在审
发明人：李凯;张德金;王嘉敏 -专利权人：广州广合科技股份有限公司
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明涉及电路板的生产技术领域，具体涉及一种阻抗线宽的测量方法、计算机可读存储介质。该测量方法，包括S1、制前辅助制造自动化设备获取待测量的阻抗线的阻抗信息；S2、计算机辅助制造软件通过自动化脚本获取制前辅助制造自动化设备上的阻抗信息，自动化脚本根据阻抗信息自动生成自动线宽测量仪程式；S3、生产设备根据自动线宽测量仪程式测量电路板上的阻抗线宽实际值；S4、将自动线宽测量仪程式生成的阻抗线宽标准值和生产设备测量的阻抗线宽实际值生成报表，根据比较值判断阻抗电路板的阻抗线宽是否符合要求，该阻抗线宽的测量方法能够直接、准确地测量出电路板上的阻抗线宽实际值，利于提高电路板的生产质量，也利于提高电路板的精密度。
一种阻抗测量方法计算机可读存储介质

[发明专利]线宽测量系统和线宽测量装置-CN201710527292.8有效
发明人：范纪铭;徐兵;周畅;陈跃飞 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-06-30 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种测量系统，包括线宽测量单元、焦面检测及轮廓测量单元、离焦粗测单元和标记搜索定位单元。所述测量系统可以实现CD测量、标记搜索定位、剖面轮廓测量与焦面检测。本发明还公开了一种线宽测量系统，包括线宽测量单元与焦面检测及轮廓测量单元、离焦粗测单元和标记搜索定位单元中至少一个。本发明还公开了一种线宽测量装置。本发明还公开了一种线宽测量方法。
测量系统装置

[发明专利]测量介质布里渊增益线型和线宽的装置及基于该装置测量介质布里渊增益线型和线宽的方法-CN201210316485.6有效
发明人：吕志伟;陈义;王雨雷;张昀 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2012-08-31 - 公布日： 2012-12-05 - 主分类号： G01J11/00 文献下载
摘要：测量介质布里渊增益线型和线宽的装置及基于该装置测量介质布里渊增益线型和线宽的方法，涉及测量介质布里渊增益线型和线宽的装置及基于该装置测量介质布里渊增益线型和线宽的方法。它为了解决目前对布里渊线型和线宽的测量存在测量结果可信度低和Stokes信号自身线宽对布里渊线型和线宽的测量结果有影响的问题。本发明通过激光源发射激光脉冲经Stokes光产生系统产生Stokes信号光，由测量系统对Stokes光进行频谱测量，利用斩波器在光路中控制泵浦光通过与不通过，进而控制入射放大后Stokes光或放大前的Stokes光，根据Stokes光频谱放大前后信息来测量介质布里渊线型和线宽，本发明适用于激光非线性领域。
测量介质布里渊增益线型装置基于方法

[发明专利]刻蚀偏差的计算方法以及计算系统-CN201911261448.8在审
发明人：王健;杜杳隽;舒强;姚赛楠;张迎春 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2019-12-10 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： G06F30/367 文献下载
摘要：一种刻蚀偏差的计算方法以及计算系统，刻蚀偏差的计算方法包括：提供基底，包括待刻蚀层及位于待刻蚀层上的掩膜图形，基底包括待测量区域，待测量区域的掩膜图形包括多个第一待测量图形；获取第一待测量图形的光刻后线宽平均值；以掩膜图形为掩膜刻蚀待刻蚀层形成目标图形，与第一待测量图形对应的为第二待测量图形；获取第二待测量图形的刻蚀后线宽平均值；建立计算模型并获取第二待测量图形的实际刻蚀后线宽，计算模型包括线宽校正项，适于补偿待测量区域中不同位置的第二待测量图形的实际刻蚀后线宽与刻蚀后线宽平均值的偏差量；计算光刻后线宽平均值和任一第二待测量图形的实际刻蚀后线宽的差值作为刻蚀偏差。
刻蚀偏差计算方法以及计算系统

[发明专利]线宽测量方法和线宽测量装置-CN202110307788.0在审
发明人：王明望 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2021-03-23 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： G01B21/02 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种线宽测量方法和线宽测量装置，线宽测量方法包括：采集测量样本的视野图像，所述测量样本为具有线路图案的基板；将预存的与所述视野图像中的特征图案对应的标准图案与所述特征图案进行匹配；若匹配成功，则在所述视野图像中获取预设图案；以所述预设图案为基准定位所述视野图案中的待测图案，并对所述待测图案的目标线宽进行测量，以得到所述目标线宽的测量结果。本申请实施例使用两级定位来减少特征图案的偏移对线宽测量的影响，提高了线路边线抓取识别的准确性，使得线宽测量结果可靠，进而减小了对显示面板制程的影响。
测量方法测量装置

[发明专利]线宽测量方法-CN200610004954.5有效
发明人：野上大 -专利权人：株式会社日立国际电气
申请日： 2006-01-11 - 公布日： 2006-07-19 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明提供一种可以保持稳定的对比度状态的线宽测量方法。本发明的线宽测量方法，在由反射光及透射光同时照明测量试料的两侧，来测量半透明膜的线宽的线宽测量装置中，上述测量试料是在透明基板(21)上形成不透明图案(22)、并跨着透明基板与不透明图案而形成半透明膜(23)，在测量半透明膜的线宽时，对透明基板和不透明图案分别指定调光区域(26、27)后分别调光，然后测量上述半透明膜的线宽。
测量方法

[发明专利]基于硅晶面间距的纳米线宽测量方法及系统-CN202211364768.8在审
发明人：王芳;施玉书 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2022-11-02 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于硅晶面间距的纳米线宽测量方法和系统。所述基于硅晶面间距的纳米线宽测量方法，基于获取的硅晶面间距图像得到硅晶面间距像素跨度，基于获取的线宽结构图像得到半高宽像素跨度，然后，基于硅晶面间距像素跨度和半高宽像素跨度确定纳米线宽，以提高纳米线宽测量的精确度，填补现有技术中没有基于硅晶面间距进行纳米线宽测量的技术空白。
基于硅晶面间距纳米测量方法系统

[发明专利]一种窄线宽高速扫频光源瞬时线宽测量方法、测量系统-CN202310577722.2在审
发明人：王肇颖;张杰 -专利权人：天津大学
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本申请提供一种窄线宽高速扫频光源瞬时线宽测量方法，步骤包括：预制频率标尺；将待测扫频光源与预制频率标尺耦合并进行瞬时并行采样，获得瞬时采样信息；基于预制频率标尺，对瞬时采样信息进行叠加累积，以获取待测扫频光源在累积等效长时间窗口内的干涉光谱数据；对累积等效长时间窗口内的干涉光谱数据进行处理分析，可获得待测扫频光源在任意时刻的瞬时线宽。本申请一种窄线宽高速扫频光源瞬时线宽测量方法，基于多载波光源作为频率标尺，对扫频速度不高于1016Hz且线宽不小于40kHz的扫频光源的瞬时线宽进行捕捉和测量，测量方法不仅再现性好，而且测量结果精准、稳定。本申请还提出一种窄线宽高速扫频光源瞬时线宽测量系统。
一种窄线宽高速光源瞬时测量方法测量系统

[发明专利]线宽参数测量方法、装置及图像处理设备-CN202111216710.4在审
发明人：张晓东;李锁印;韩志国;赵琳;许晓青;吴爱华 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2021-10-19 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种线宽参数测量方法、装置及图像处理设备。该方法包括：接收待测线宽样板的像素图像；获取标准线宽样板的标准线宽参数；根据像素图像确定待测线宽样板的像素线宽参数；根据标准线宽参数、像素线宽参数和转换关系确定待测线宽样板的真实线宽参数；其中，转换关系用于表征像素线宽参数和真实线宽参数之间的关系；或者，利用最小二乘法，对像素线宽参数进行亚像素边缘识别，并根据亚像素边缘识别的结果确定待测线宽样板的真实线宽参数。本发明能够提高测量线宽参数的准确性。
参数测量方法装置图像处理设备

[发明专利]一种PCB板线宽测量方法及系统-CN201710918243.7有效
发明人：吴伟辉;管术春;孟娟 -专利权人：江西景旺精密电路有限公司
申请日： 2017-09-30 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种PCB板线宽测量方法及系统，所述方法包括：获取待测PCB板的图像，并在预设线路资料库中查找所述待测PCB板的线路资料；根据所述线路资料在所述图像中确定待测线路，在确定的待测线路中选取若干测量位置，并分别获取所述若干测量位置的第一线宽；根据获取的所有第一线宽计算待测线路的第二线宽，并根据所述第二线宽确定所述待测PCB板的线宽。本发明以预设线路资料中的标识线为依据对图像中的待测线路进行定位，提高了线宽量测的精度和效率。同时，可以实现实时在线定点量测线宽数据，降低了PCB线宽测量的人力成本。
一种 pcb 板线宽测量方法系统

[发明专利]线宽标准样片的线宽量值确定的方法及系统-CN202010333627.4有效
发明人：韩志国;李锁印;梁法国;冯亚南;张晓东;赵琳;许晓青;吴爱华 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明适用于微纳米测量仪器计量技术领域，提供了一种线宽标准样片的线宽量值确定的方法及系统，该方法包括：对椭偏仪进行校准；建立基于多层膜沉积工艺的多层膜厚样片测量模型，并在所述多层膜厚样片测量模型建立过程中对初次校准后的椭偏仪进行再次校准；基于多层膜沉积工艺沉积多层膜厚样片；采用再次校准后的椭偏仪，对所述多层膜厚样片的薄膜厚度进行测量，得到测量结果，并将所述测量结果作为线宽标准样片的线宽量值，从而可以确定纳米级线宽标准样片的量值，提高纳米级线宽标准样片定值的准确度
标准样片量值确定方法系统

[发明专利]红外波段化学激光线宽的测量装置及其测量方法-CN202110315840.7有效
发明人：卢兴吉;曹振松;朱文越;黄印博;刘强;黄宏华;王英俭 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2021-03-24 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： G01J11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种红外波段化学激光线宽的测量装置，主要包括化学激光器、窄线宽激光器、数据采集卡；所述化学激光器与窄线宽激光器输出的激光合束，依次经过快响应探测器、射频滤波器、功率检波器后输入数据采集卡；所述窄线宽激光器反射的窄线宽激光经过光学多通吸收池和光电探测器，光电探测器输出的信号输入数据采集卡；所述窄线宽激光器反射的窄线宽激光还依次经过反射镜输入波长计，波长计输出数据输入数据采集卡。还公开了一种红外波段化学激光线宽的测量方法。本发明测量精度高、测试过程简便，为工程应用实现精确、快速测量红外波段化学激光器线宽提供了一种有效方法。
红外波段化学激光测量装置及其测量方法

[发明专利]一种钇铁石榴石材料铁磁共振线宽测量方法-CN202210236130.X在审
发明人：李鹏浩;钟智勇;韩莹 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： G01R33/32 文献下载
摘要：本发明属于微波铁氧体材料测量领域，涉及钇铁石榴石材料的铁磁共振线宽测量，具体提供一种钇铁石榴石材料铁磁共振线宽测量方法，用以解决钇铁石榴石等铁氧体材料铁磁共振线宽测量的传统谐振腔微扰法存在的球形样品制备较困难以及材料性能参数提取不准确等问题本发明首次将基于矢网铁磁共振技术的线宽测试方法引入钇铁石榴石铁氧体材料铁磁共振线宽测量中，针对钇铁石榴石材料块状样品，将矢网铁磁共振(VNA‑FMR)测量系统匹配设计为中心导体信号线呈“S”形的“S”型共面波导，实现了钇铁石榴石材料铁磁共振线宽测量，并有效提升测量结果的准确性与可靠性。
一种铁石石材磁共振测量方法

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