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[发明专利]纳米图案的拼接方法、纳米压印板及光栅-CN201910085631.0在审
发明人：黄华;谭伟 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2019-01-29 - 公布日： 2019-04-12 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种纳米图案的拼接方法、纳米压印板及光栅，涉及纳米压印技术领域，所述纳米图案的拼接方法包括：初始压印步骤：在衬底基板的拼接区域内形成压印胶层；采用纳米压印母板对所述压印胶层进行纳米压印，形成纳米图案；超疏水处理步骤：对所述纳米图案进行超疏水表面处理；压印胶形成步骤：在所述衬底基板上形成另一压印胶层，所述另一压印胶层覆盖与所述拼接区域邻接的另一拼接区域和部分所述纳米图案；压印图案形成步骤：采用所述纳米压印母板对所述另一压印胶层进行纳米压印，形成新纳米图案；去除步骤：去除所述纳米图案上的所述新纳米图案。
纳米图案压印胶纳米压印拼接拼接区域光栅衬底基板重叠区域压印板段差母板去除超疏水表面处理纳米压印技术压印步骤压印图案超疏水邻接剥落覆盖

[发明专利]纳米线结构及其制造方法-CN201510278514.8有效
发明人：傅劲逢;陈德芳;严佑展;李佳颖;李俊鸿;林焕哲 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2015-05-27 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： H01L29/06 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种器件，器件包括具有第一图案的第一组纳米线、具有第二图案的第二组纳米线、具有第三图案的第三组纳米线和具有第四图案的第四组纳米线，其中，第一图案、第二图案、第三图案和第四图案形成重复图案本发明还涉及纳米线结构及其制造方法。
图案纳米线纳米线结构图案形成重复图案制造

[发明专利]一种用于多种衬底表面制备纳米颗粒图案的方法-CN201610209718.0在审
发明人：边捷 -专利权人：边捷
申请日： 2016-04-01 - 公布日： 2017-07-25 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：一种用于多种衬底表面制备纳米颗粒图案的方法，包括如下步骤(1)准备带有特定纳米图案的纳米压印模板；(2)在衬底上均匀涂覆一层含有纳米颗粒的纳米压印胶；(3)压印出与模板对应的纳米图案；(4)刻蚀掉压印胶残余层，得到独立的压印胶图案；(5)部分去掉压印胶，得到纳米颗粒的图案。本发明方法可应用于多种纳米颗粒的任意纳米图案的制备，且该方法制备分辨率高，工艺简单，能高效率，低成本大面积地在多种衬底上制备纳米颗粒图案，能够很好的满足实际需求。
一种用于多种衬底表面制备纳米颗粒图案方法

[发明专利]一种纳米图案的拼接方法、纳米压印板、光栅及制作方法-CN201910023266.0在审
发明人：董立文;张笑;贺芳;谢昌翰 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2019-01-10 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种纳米图案的拼接方法、纳米压印板、光栅及制作方法，涉及显示技术领域。纳米图案的拼接方法包括：压印区域界定步骤：在形成有第一膜层的衬底基板上形成第二膜层，对第二膜层进行构图，形成区域界定图案；压印图案形成步骤：形成压印胶层，对待压印区域和与待压印区域邻接的部分其他区域进行纳米压印，形成压印图案；刻蚀步骤：以压印图案为掩膜，对待压印区域的第一膜层进行刻蚀，形成纳米图案；去除步骤：采用刻蚀工艺，去除区域界定图案；拼接步骤：重复执行压印区域界定步骤、压印图案形成步骤、刻蚀步骤和去除步骤，形成拼接的第一纳米图案。从而，能形成精度高的纳米图案，制作出大尺寸的纳米图案，成本低廉，制作效率高。
纳米图案压印区域拼接压印图案去除第一膜层刻蚀步骤区域界定光栅压印板界定膜层制作图案衬底基板刻蚀工艺纳米压印重复执行压印胶邻接刻蚀掩膜

[发明专利]触控面板及其制作方法、显示装置-CN201810703674.6在审
发明人：陈龙;乔贵洲;张秀玉 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2018-06-30 - 公布日： 2018-11-20 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：触控面板包括：柔性基底、触控电极层和导电层，触控电极层包括纳米金属图案和走线图案，走线图案与纳米金属图案相接触以实现电连接，导电层至少覆盖走线图案与纳米金属图案的部分相接触处。触控面板的制作方法包括：提供一柔性基底；形成一触控电极层，触控电极层包括纳米金属图案和走线图案，走线图案与纳米金属图案相接触以实现电连接；以及形成一导电层，导电层至少覆盖走线图案与纳米金属图案的部分相接触处因走线图案与纳米金属图案的相接触处上覆盖了一导电层，则可以增加走线图案与纳米金属图案的有效接触面积，从而减小触控面板的电阻，增强其触控效果，提高显示装置的可靠性。
纳米金属走线图案图案触控面板导电层触控电极层显示装置相接触处柔性基底电连接覆盖制作有效接触面积触控电阻减小

[发明专利]形成氧化硅纳米图案的方法，形成金属纳米图案的方法以及使用其的信息存储用磁性记录介质-CN201380046681.9有效
发明人：韩阳奎;李济权;李显振;金鲁马;尹圣琇;申恩知;郑连植 -专利权人：株式会社LG化学;汉阳大学校产学协力团
申请日： 2013-09-05 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明涉及形成氧化硅纳米图案的方法、形成金属纳米图案的方法以及使用该纳米图案的信息存储用磁性记录介质，所述方法可易于形成纳米点或纳米孔型纳米图案，并且使得使用所述纳米图案形成的金属纳米图案等适用于用于信息存储等的新一代磁性记录介质形成氧化硅纳米图案的方法包括在基底上的氧化硅上形成嵌段共聚物薄膜的步骤，所述嵌段共聚物包括预定的硬链段以及具有基于(甲基)丙烯酸酯的重复单元的软链段；对准所述薄膜的步骤；从所述嵌段共聚物薄膜选择性地移除所述软链段的步骤；以及使用已移除软链段的嵌段共聚物薄膜作为掩膜通过在所述氧化硅上进行反应离子蚀刻形成氧化硅的纳米点或纳米孔图案。
形成氧化纳米图案方法金属以及使用信息存储磁性记录介质

[发明专利]一种光罩结构-CN202010432698.X在审
发明人：莫超德 -专利权人： TCL华星光电技术有限公司
申请日： 2020-05-20 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本申请公开一种光罩结构，包括设置在透明基板上的光罩图案；所述光罩图案至少包括：第一纳米材料图案、第二纳米材料图案及透明绝缘层；所述第一纳米材料图案与所述第二纳米材料图案错位分布；其中，所述第一纳米材料图案和/或所述第二纳米材料图案通过施加电压，可实现透光和遮光的光罩作用。本申请将多种光罩图案制作在同一光罩结构上，有效的减少了光罩数量，降低了生产成本，在后续图案化制程中，简化了图形对准工艺，提高了生产效率。
一种结构

[发明专利]制备具有预定图案纳米碳管膜的导电板的方法及具有预定图案纳米碳管膜的导电板-CN201310210034.9有效
发明人：陈志勇;李亚青;陈思妏 -专利权人：奇美实业股份有限公司;财团法人成大研究发展基金会
申请日： 2013-05-30 - 公布日： 2013-12-18 - 主分类号： H01B13/00 文献下载
摘要：本发明涉及制备具有预定图案纳米碳管膜的导电板的方法及具有预定图案纳米碳管膜的导电板。一种制备具有预定图案纳米碳管膜的导电板的方法，包含以下步骤：提供粘着基板，该粘着基板包括基板本体及形成在该基板本体上且具有预定图案的粘着部；利用纳米碳管组分，与该具有预定图案的粘着部接触，并于该粘着部上形成具有预定图案的纳米碳管膜；接着，施予固化处理，将该具有预定图案的粘着部固化，即可获得具有预定图案纳米碳管膜的导电板；该具有预定图案的纳米碳管膜的预定图案与该具有预定图案的粘着部的预定图案相同。
制备具有预定图案纳米碳管膜导电方法

[发明专利]可挠触控结构-CN201910384244.7有效
发明人：洪裕民;王进立 -专利权人：业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司
申请日： 2019-05-09 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：可挠触控结构包含可挠透明基板、图案化的纳米银丝层、导电保护层以及图案化的金属层。可挠透明基板具有触控动作区与外围线路区。图案化的纳米银丝层位于触控动作区与外围线路区内。图案化的纳米银丝层在可挠透明基板上方。其中，图案化的纳米银丝层还包含复数个纳米银丝以及涂布材。纳米银丝均匀分布于涂布材中。纳米银丝凸出至图案化的纳米银丝层的表面。导电保护层位于图案化的纳米银丝层之纳米银丝凸出的表面上。图案化的金属层位于外围线路区内。金属层位于导电保护层上。导电保护层的存在避免纳米银丝层与金属层直接接触，并且在蚀刻金属层时避免损害到纳米银丝层。
可挠触控结构

[发明专利]具有预定宽度的原子层金属二硫属元素化物的直接图案化生长方法-CN202010092018.4有效
发明人：阿韦季克·哈鲁特云岩 -专利权人：本田技研工业株式会社
申请日： 2020-02-14 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明题为“具有预定宽度的原子层金属二硫属元素化物的直接图案化生长方法”。本发明提供了一种生长金属二硫属元素化物原子层的图案的方法，该方法包括提供基底；在基底上提供碳纳米结构的对准图案；提供与碳纳米结构的图案的第一部分接触的第一金属部分和与碳纳米结构的图案的第二部分接触的第二金属部分；在基底和碳纳米结构的图案上沉积盐层；电阻加热碳纳米结构的图案以从基底去除碳纳米结构的图案和沉积在碳纳米结构的图案上的盐，其中从基底去除碳纳米结构的图案和沉积在碳纳米结构的图案上的盐在基底上提供盐图案；以及在盐图案上生长金属二硫属元素化物原子层，其中金属二硫属元素化物原子层以对准的图案提供，该对准的图案均具有预定宽度。本发明还公开了根据本公开的方法制备的金属二硫属元素化物原子层的图案。
具有预定宽度原子金属二硫属元素直接图案化生方法

[发明专利]使用复制的图案化外形和自组装单层的微加工-CN200680029400.9有效
发明人：庆·P·阮;马修·H·弗雷;张海燕;张俊颖 -专利权人： 3M创新有限公司
申请日： 2006-07-31 - 公布日： 2008-08-13 - 主分类号： C23C28/00 文献下载
摘要：公开了一种选择性地和化学地将金属沉积在具有金属图案化的纳米结构表面上的方法。所述方法包括提供具有图案化的纳米结构表面的工具，所述图案化的纳米结构表面具有的表面区域具有纳米结构化表面，将所述工具图案化的纳米结构表面复制到基底上以形成基底图案化的纳米结构表面，在所述基底图案化的纳米结构表面上设置金属层形成金属图案化的纳米结构表面区域，在所述金属图案化的纳米结构表面区域上形成自组装单层，将所述自组装单层暴露于包含沉积金属的化学镀溶液中，然后将所述沉积金属选择性地化学沉积在具有金属纳米结构化表面的表面区域上。
使用复制图案化外组装单层加工

[发明专利]壳体及其制备方法-CN201510431436.0在审
发明人：刘会芬;曲建飞;李庆孟 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2015-07-21 - 公布日： 2015-12-02 - 主分类号： H04M1/02 文献下载
摘要：所述壳体适用于电子设备，所述壳体包括：透明基板和覆盖在所述透明基板上的微纳米结构层，所述微纳米结构层设于所述透明基板靠近所述电子设备中的电子元件的一侧，所述微纳米结构层为微纳米级沟槽和凸台组成的微纳米图案壳体包括透明基板和覆盖在透明基板上的微纳米结构层，其中微纳米结构层为微纳米级沟槽和凸台组成的微纳米图案，该微纳米图案由微纳米级沟槽和凸台组成可以呈现立体、变幻图案，且微纳米级尺寸的微结构保证了图案精度较高，同时由于该微纳米图案处于壳体的内侧，既不影响用户使用，又能避免图案掉色或膜层脱落等失效风险。
壳体及其制备方法

[发明专利]图像传感器及包括该图像传感器的电子装置-CN201510501045.1有效
发明人：李启滉;李光熙;林东晳;陈勇完 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2015-08-14 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：该图像传感器包括：半导体基板，集成有多个感光器件；以及纳米图案层，在半导体基板上，该纳米图案层具有多个纳米图案，其中该多个纳米图案中的单个纳米图案对应于该多个感光器件中的单个感光器件。
图像传感器包括电子装置

[发明专利]纳米材料图案化印刷设备-CN201410670179.1在审
发明人：苏萌;陈硕然;黄占东;李风煜;宋延林 -专利权人：中国科学院化学研究所
申请日： 2014-11-21 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： B41F17/00 文献下载
摘要：本发明涉及纳米材料精确图案化印刷设备。本发明利用喷墨打印技术将纳米材料悬浮液以点阵形式打印在曲面或平板上，作为引导纳米颗粒组装的模板，可诱导纳米材料自组装成精确可控的图案化功能材料。纳米材料在基底上大面积精细可控印刷，使其在微纳电子电路、光学元件、生物检测等方面都具有潜在的应用价值。
纳米材料图案印刷设备

[发明专利]纳米纤维批量图案化装置-CN201410264712.4有效
发明人：雷廷平;卢希钊;付胜杰;杨帆;刘灿华;苟艳丽 -专利权人：华侨大学
申请日： 2014-06-13 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： D01D5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种纳米纤维批量图案化装置，包括纳米纤维发生装置，纳米纤维收集基板、导轨平台、高压气源、导气管、滑块、气体流量计和喷气嘴，纳米纤维发生装置用于产生纳米纤维；高压气源用于提供稳定的高压气体并通过导气管连接喷气嘴；气体流量计用于检测流经导气管和喷气嘴的气体流量并控制气体流量；喷气嘴连接导气管并固定于滑块之上；纳米纤维收集基板固定于导轨平台之上；导轨平台上设有导向槽，滑块适配该导向槽并通过滑块在该导向槽上的滑动改变喷气嘴的射流方向；通过喷气嘴的气体射流方向以及射流流量的改变来改变纳米纤维在纳米纤维收集基板上的排列，从而形成规律排列的纳米纤维图案；设备装置比较简单，具有易操作性和易实施性。
纳米纤维批量图案化装

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