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- [发明专利]极紫外光产生方法和系统-CN202210302262.8在审
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马修泉;刘旭奇;吴寒;陆培祥
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广东省智能机器人研究院
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2022-03-25
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2022-06-28
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G03F7/20
- 本申请涉及一种极紫外光产生方法及系统,包括:光纤激光光源装置根据激光参数产生激光脉冲;液滴靶生成装置在真空环境中根据液滴靶参数生成两路以上交替喷出的液滴靶流,在预设打靶位置形成重复频率与激光脉冲的重复频率匹配的液滴靶;激光脉冲在预设打靶位置轰击对应的液滴靶,产生极紫外光。通过采用能产生高重复频率激光脉冲满足系统要求的光纤激光光源装置,并搭配液滴靶生成装置生成多路交替喷出的液滴靶流,在预设打靶位置形成重复频率与所述激光脉冲的重复频率匹配的液滴靶,实现多路液滴靶流的液滴靶都能在预设打靶位置完全被激光脉冲轰击得到极紫外光,以较高的轰击频率达到提升极紫外光转换效率的目的。
- 紫外光产生方法系统
- [发明专利]极紫外光产生方法及装置-CN202210605785.X在审
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吴寒;徐晨;马新敏;马修泉;陆培祥
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广东省智能机器人研究院
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2022-05-31
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2022-09-27
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H05G2/00
- 本发明涉及一种极紫外光产生方法及装置,极紫外光产生方法包括步骤:不同时间先后产生的激光脉冲分别进入至相应的传输路径的输入端;相对较早产生的激光脉冲经过相对较长的传输路径传递至汇聚点;来自不同传输路径的激光脉冲在汇聚后轰击液滴激光脉冲在传输路径中传播时,在传输路径中的传播时间与传输路径的长度相关,由于多个传输路径在长度上存在差值,因而不同的激光脉冲的传播时间存在差异。通过不同传输路径上的长度差值而调整激光脉冲到达汇聚点的时间,从而能使产生次序不同的激光脉冲能在同一时间到达汇聚点,使多个能量较低的激光脉冲通过汇聚形成能量较高的激光脉冲,对液滴产生有效的轰击并获取满足功率要求的极紫外光
- 紫外光产生方法装置
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