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[发明专利]一种柱矢量光束激发表面等离子体共振传感装置-CN201610777531.0有效
发明人：王冠学;苗玉;曾祥堉;隋国荣;高秀敏 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： G01N21/73 文献下载
摘要：本发明提供了一种柱矢量光束激发表面等离子体共振传感装置，具有这样的特征，包括：柱矢量光束激发单元，包含依次光路连接的光源、光束整形器、偏振转换部件以及空间光调制器；表面等离子体共振传感单元，包含柱形棱镜以及双层结构本发明的柱矢量光束激发表面等离子体共振传感装置具有结构简单、稳定性高、灵敏度高、一致性高、无机械运动部件、可实现区域测量以及功能易于拓展等优点。
一种矢量光束激发表面等离子体共振传感装置

[发明专利]LSPR辅助可兼顾不同量子点能量传递结构及其制备方法-CN201810167817.6有效
发明人：李东升;张汉杰;杨德仁 -专利权人：浙江大学
申请日： 2018-02-28 - 公布日： 2019-08-20 - 主分类号： B82B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了LSPR辅助可兼顾不同量子点能量传递结构，包括具有多个局域表面等离子激元共振峰的金属纳米颗粒，所述金属纳米颗粒外包覆二氧化硅壳层，所述二氧化硅壳表面覆盖一层氨基，所述氨基外吸附与所述金属纳米颗粒表面等离子共振峰耦合的量子点；本发明还提供了LSPR辅助可兼顾不同量子点能量传递结构的制备方法；本发明由于施主受主分别与不同的表面等离子激元共振峰耦合，使得受体光致发光显著增大，实现196.44％的增幅，而且制得的二氧化硅包覆金属纳米颗粒复合结构分散性好
量子点金属纳米颗粒能量传递结构氨基共振峰制备表面等离子共振表面等离子激元二氧化硅壳层等离子激元二氧化硅壳包覆金属表面覆盖二氧化硅分散性好复合结构光致发光局域表面纳米颗粒耦合工艺流程外包覆耦合的受主吸附增幅制作

[发明专利]等离子体共振可逆调控银纳米颗粒薄膜及其制备方法与应用-CN201910842490.2有效
发明人：王文寿;刘伦涛;李新典;杨智民 -专利权人：山东大学
申请日： 2019-09-06 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： B29C41/24 文献下载
摘要：本发明涉及等离子体共振可逆调控银纳米颗粒薄膜及其制备方法与应用，该等离子体共振可逆调控银纳米颗粒薄膜，包括基体，所述的基体表面均匀设置有强碱弱酸盐覆盖层，所述的强碱弱酸盐覆盖层表面均匀设置有银纳米颗粒堆积形成的薄层本发明的等离子体共振可逆调控银纳米颗粒薄膜具有优异的SPR可逆调控特性。通过施加水汽，呵气，甚至指尖缓慢接触都可以驱动银纳米颗粒薄膜发生可逆的颜色转化。
等离子体共振可逆调控纳米颗粒薄膜及其制备方法应用

[实用新型]一种痕量物质分析装置-CN201020635143.7无效
发明人：鲁通通;李劲松 -专利权人：中国计量学院
申请日： 2010-11-26 - 公布日： 2011-10-26 - 主分类号： G01N21/31 文献下载
摘要：本实用新型将表面等离子体共振技术和法-珀腔技术相结合，本实用新型的结构包括电压源、表面等离子体共振器、偏振态调节器、光电探测器、法-珀腔装置和光源组成，其中，法-珀腔装置由第一透明导电膜、入射高反射膜、本实用新型将表面等离子体共振技术和法-珀腔技术相结合，具有高光通量、高灵敏、无机械运动部件、系统结构简单、稳定性高等特点。
一种痕量物质分析装置

[发明专利]局域等离子共振传感器和检查装置-CN200580010774.1无效
发明人：松下智彦;青山茂;西川武男;长冈真吾;和沢铁一 -专利权人：欧姆龙株式会社
申请日： 2005-03-30 - 公布日： 2007-03-28 - 主分类号： G01N21/27 文献下载
摘要：本发明提供一种局域等离子共振传感器和检查装置。在透明基板(32)的表面上隔着一定间隔固定金属微粒(33)，将吸附特异的配体的受体(35)固定于透明基板(32)或金属微粒(33)之上。入射光在透明基板(32)的表面全反射，产生于该表面的消散光与金属微粒(33)发生局域等离子共振。通过消散光与金属微粒发生局域等离子共振将较强的电场局限于金属微粒附近。
局域等离子共振传感器检查装置

[实用新型]基于反射双共振谷光纤表面等离子共振传感器-CN201820153247.0有效
发明人：戴心玥;肖功利;韦清臣;宋美颖;黄文海;梁峰;周继振;杨宏艳;徐俊林;杨秀华;窦婉滢 -专利权人：桂林电子科技大学
申请日： 2018-01-30 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： G01N21/552 文献下载
摘要：本实用新型公开一种基于反射双共振谷光纤表面等离子共振传感器，包括位于光纤端面的金属膜，金属膜上均匀排列满工字型纳米狭缝结构，其中工字型纳米狭缝结构由三条相互连通的矩形狭缝构成。本实用新型的传感器具有两个共振波长，相互修正结果的两个共振波长可以使得测量结果更加精确。并且这两个共振波长的大小可以通过调节传感器的结构参数来调整，从而来适应不同的实用范围。实现了一种检测精度高、适用范围广、易于加工的光纤表面等离子体共振传感器。
传感器共振波长光纤表面本实用新型等离子共振纳米狭缝工字型金属膜共振反射等离子体共振结构参数矩形狭缝均匀排列光纤端种检测连通修正加工

[发明专利]微波等离子体激发装置-CN201110065895.3有效
发明人：张志振;黄昆平;谢宇泽 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2011-03-18 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明公开一种微波等离子体激发装置，包括一等离子体反应腔室、一金属窗框、具有多个窗口的多个窗格、多个微波发射机以及多个导波管。所述金属窗框设置于等离子体反应腔室的一面。窗格设置于金属窗框的窗口内，微波发射机则设置于等离子体反应腔室外。而导波管分别连接各个微波发射机与各个窗格，以构成多个等离子体激发单元。另外，在金属窗框上分别放置多个永久磁铁，则可使上述微波等离子体激发装置用作可大面积化的电子回旋共振等离子体装置。
微波等离子体激发装置

[实用新型]电子回旋共振等离子体刻蚀机-CN94242373.9无效
发明人：任兆吉;史义才;丁振峰;李忆馥;张束清 -专利权人：南京双兴高技术应用开发公司
申请日： 1994-08-09 - 公布日： 1995-09-27 - 主分类号： H01J37/305 文献下载
摘要：本实用新型电子回旋共振(ECR)等离子体刻蚀机涉及的是一种集成电路制作工艺中的微电子芯片加工设备。结构具有真空室、微波系统、磁场、真空抽放气系统、配气系统、监控系统，真空抽放气系统由机械泵、扩散泵和相应管道、阀门组成，其特征是真空室由等离子体发生室，等离子体约束室，处理室组成，等离子体发生室外套有两组串接的磁场线圈，在等离子体约束室周围均布永久磁钢，处理室内装有基片架。
电子回旋共振等离子体刻蚀

[发明专利]有机发射装置-CN201911202279.0在审
发明人： M·富塞拉;N·J·汤普森 -专利权人：环球展览公司
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：提供用于获得OLED装置的装置和技术，所述OLED装置包括至少部分地由等离子体材料形成的一或多个增强层，所述等离子体材料展现与有机发射层中的有机发射材料非辐射耦合的表面等离子体共振，其中将大部分激发态能量从所述有机发射材料转移到所述增强层中的表面等离子体偏振子的非辐射模式
有机发射装置

[发明专利]一种终端反射型螺旋芯光纤表面等离子体共振传感器-CN201610482612.8有效
发明人：郑喆轩;黎敏;郜洪云 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2016-06-27 - 公布日： 2018-06-12 - 主分类号： G01N21/552 文献下载
摘要：本发明提供了一种终端反射型螺旋芯光纤表面等离子体共振传感器，其特征在于：包括宽谱光源、3dB光纤耦合器、微透镜耦合器、光纤传感单元和光谱仪，宽谱光源与光纤耦合器连接，光纤耦合器与微透镜耦合器连接，微透镜耦合器与光纤传感单元连接本发明通过在光谱仪中检测到的表面等离子体共振波谱来判断传感单元中无芯光纤的外介质的折射率。当无芯光纤的外介质的折射率增大时，共振波长增大；外介质折射率减小时，共振波长减小。本发明相比于传统光纤表面等离子体共振传感器能量利用率高，灵敏度高，使用方便。
光纤传感单元光纤耦合器光谱仪无芯光纤螺旋芯微透镜耦合器等离子体共振共振波长光纤表面宽谱光源终端反射折射率传感器表面等离子体共振传感器表面等离子体共振介质折射率镜面反射膜能量利用率传感单元传统光纤敏感金属灵敏度终端面波谱减小薄膜光纤侧面检测

[发明专利]基于矩形环共振腔与入射波导接桥的表面等离子体滤波器-CN201410525433.9无效
发明人：夏秀山;王继成;宋慈;曲世年 -专利权人：江南大学
申请日： 2014-10-08 - 公布日： 2015-01-07 - 主分类号： G02B5/20 文献下载
摘要：本发明提供一种基于矩形环共振腔与入射波导接桥的表面等离子体滤波器，主要简化了现有表面等离子体滤波器通过改变结构参数调谐振频率的手段，以此达到简化这类滤波器制作工艺的目的。该基于矩形环共振腔与入射波导接桥的表面等离子体滤波器包括设置在介质层两侧的金属层，介质层一侧的金属层内设置单个矩形环共振腔，共振腔与入射波导之间接一波导桥，波导桥设置在共振腔的对称轴上。
基于矩形共振入射波导表面等离子体滤波器

[发明专利]超薄薄膜厚度和光学常数的测量装置和测量方法-CN201610415169.2在审
发明人：胡国行;单尧;谷利元;贺洪波;曾爱军 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2016-06-14 - 公布日： 2017-12-22 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：一种超薄薄膜厚度和光学常数的测量装置和测量方法，本发明通过采集不同起偏角和不同检偏角下的等离子体共振图像，分析得出等离子体共振诱导的椭偏参数曲线，拟合椭偏参数曲线，将最优解作为测量结果，得到超薄薄膜的厚度和光学常数
超薄薄膜厚度光学常数测量装置测量方法

[发明专利]一种嵌入式Au纳米薄膜电极表面等离子体共振免疫分析的方法-CN201910990081.7在审
发明人：潘宏程;郭垠;陈雯 -专利权人：桂林理工大学
申请日： 2019-10-17 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： G01N33/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种嵌入式Au纳米薄膜电极表面等离子体共振免疫分析的方法。其方法步骤：采用柠檬酸钠还原法制备的胶体金，并利用自组装的方式将胶体金修饰在ITO电极上，通过简单的退火处理改变该传感器的局与表面等离子共振灵敏度，实现对鼠抗人IgG的灵敏检测。
胶体金表面等离子体共振表面等离子共振柠檬酸钠还原法纳米薄膜电极鼠抗人IgG 灵敏检测免疫分析退火处理制备过程灵敏度嵌入式自组装传感器修饰制备

[发明专利]用于制造合成金刚石的微波等离子体反应器和基底-CN201180068064.X有效
发明人： C·N·道奇;P·N·英格利斯;G·A·斯卡斯布鲁克;T·P·莫拉特;C·S·J·皮克尔斯;S·E·科;J·M·多德森;A·L·卡伦;J·R·布莱顿;C·J·H·沃特 -专利权人：六号元素有限公司
申请日： 2011-12-14 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种用于通过化学汽相沉积制造合成金刚石材料的微波等离子体反应器，所述微波等离子体反应器包括：微波发生器，所述微波发生器构造成以频率f产生微波；等离子体室，所述等离子体室包括基部、顶板和侧壁，所述侧壁从所述基部延伸至所述顶板，从而限定了位于基部和顶板之间用于支持微波共振模式的共振腔；微波耦合构造，所述微波耦合构造成从微波发生器将微波供应至所述等离子体室；气体流动系统，所述气体流动系统用于将处理气体供应至所述等离子体室以及从所述等离子体室移除所述处理气体；基底保持件，所述基底保持件布置在所述等离子体室中并且包括用于支撑基底的支撑表面；和基底，所述基底布置在所述支撑表面上，所述基底具有生长表面，在使用中，所述合成金刚石材料将沉积在所述生长表面上，其中，基底尺寸和在所述共振腔内的位置选择为在使用中横跨所述生长表面产生局部轴对称的
用于制造合成金刚石微波等离子体反应器基底

[发明专利]利用可调谐共振激光诱导击穿光谱检测猪肉重金属分布的装置-CN201711162254.3在审
发明人：黄林;姚明印;罗子奕;许方豪;饶刚福;陈添兵;杨晖;刘木华;陈金印;林金龙;何秀文;周华茂 -专利权人：江西农业大学
申请日： 2017-11-21 - 公布日： 2018-03-06 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：利用可调谐共振激光诱导击穿光谱检测猪肉重金属分布的装置，采用脉冲激光束对干燥压片的猪肉样品进行烧蚀击穿产生等离子体；由OPO激光器将输出激光波长调节为待测元素原子的共振激发波长，调节位置调节机构以控制OPO聚焦透镜三维空间位置的移动，从而使OPO激光束聚焦在等离子体中心位置，待测元素原子吸收能量跃迁，进而发射荧光光谱，由球面反射镜对等离子体进行空间约束，从而使尽可能多的等离子体被等离子体采集消色差透镜组聚焦后通过光纤探头收集传输到光谱仪
利用调谐共振激光诱导击穿光谱检测猪肉重金属分布装置