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- [实用新型]具有颗粒监测功能的去离子水清洗设备-CN202023058996.1有效
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吴镐硕;朴灵绪
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苏州恩腾半导体科技有限公司
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2020-12-18
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2021-10-22
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B08B3/08
- 本实用新型提供一种具有颗粒监测功能的去离子水清洗设备，包括去离子水清洗槽、补给管路、颗粒监测装置、控制装置及报警装置；去离子水清洗槽用于承载去离子水及待清洗件；补给管路一端与去离子水清洗槽相连通，另一端与去离子水源相连接；颗粒监测装置位于补给管路上且与去离子水清洗槽相邻；控制装置与颗粒监测装置及报警装置相连接，以当颗粒监测装置监测到去离子水中的颗粒数量超过预设值时产生报警信息。本实用新型经改善的结构设计，对进入清洗槽内的去离子水进行实时在线监测，并在监测到去离子水中的颗粒污染物超标时产生报警信息以提醒工作人员采取应对措施，避免因去离子水的污染导致晶圆的污染，有助于提高晶圆清洗质量
- 具有颗粒监测功能离子水清洗设备
- [实用新型]晶片清洗设备-CN201020541339.X无效
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王敬;翟志华
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王敬;江西旭阳雷迪高科技股份有限公司
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2010-09-25
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2011-08-31
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H01L21/00
- 本实用新型公开了一种晶片清洗设备，包括：清洗室；与清洗室相邻设置的干燥装置；以及贯穿清洗室设置的传输部，所述清洗室进一步包括：分别位于所述清洗室两端的、用于运入和运出所述待清洗晶片的进料口和出料口；设置于进料口的第一去离子水冲洗区；相邻设置于第一去离子水冲洗区的清洗液洗涤区；以及设置于所述出料口附近的第二去离子水冲洗区，其中第二去离子水冲洗区的出水管路与第一去离子水冲洗区的进水管路通过管路连接，从而将所述第二去离子水冲洗区的冲洗后液回收并用于所述第一去离子水冲洗区进行所述第一阶段冲洗根据本实用新型的晶片清洗设备，可以在保证清洗效果的同时大幅地降低去离子水的使用量，节约资源和成本。
- 晶片清洗设备
- [发明专利]清洗设备-CN202210420811.1在审
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陈嘉朗
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陈嘉朗
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2022-04-21
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2022-08-05
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B08B3/02
- 本发明提供一种清洗设备，可适用于机械设备或居家产品的油污清洗或杀菌处理，经一电解水生成器将一洗涤水成为一第一碱性离子水及一第一酸性离子水，第一碱性离子水或第一酸性离子水再被导入一蒸气产生槽，快速形成一碱性离子水蒸气或一酸性离子水蒸气，碱性离子水蒸气或酸性离子水蒸气再被加压后经由一蒸气喷洒器而对准被放置于一清洗件放置区内的一清洗件进行喷洒清洁工作。若选择碱性离子水蒸气的喷洒，不仅可去除清洗件表面上的油污或油脂，也可提高清洗件的金属抗腐蚀性。若选择酸性离子水蒸气的喷洒，则可对清洗件进行消毒、杀菌或漂白的效果。避免工业除油剂或清洁剂的使用以维护环境保护及自然生态，有效处理清洗件深处表面上的油污。
- 清洗设备
- [发明专利]清洗设备-CN202210935665.6在审
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陈嘉朗
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陈嘉朗
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2022-08-04
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2022-12-30
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B08B3/02
- 本发明提供一种清洗设备，用于机械设备或居家产品的油污清洗或杀菌处理，由一电解水生成器将一洗涤水成为一第一碱性离子水及一第一酸性离子水，第一碱性离子水或第一酸性离子水被导入一蒸气产生槽，形成一碱性离子水蒸气或一酸性离子水蒸气，碱性离子水蒸气或酸性离子水蒸气再被加压后经一蒸气喷洒器而对准被放置于一清洗件放置区内的一清洗件进行喷洒清洁工作。如果选择碱性离子水蒸气的喷洒，不仅可去除清洗件表面上的油污或油脂，也可提高清洗件的金属抗腐蚀性。如果选择酸性离子水蒸气的喷洒，则可对清洗件进行消毒、杀菌或漂白的效果。借此，不仅避免使用工业除油剂或清洁剂以维护环境保护及自然生态，又可有效处理清洗件深处表面上的油污。
- 清洗设备
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