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[发明专利]一种硅片镀铜用导电治具-CN202311116669.2在审
发明人：王万生 -专利权人：昆山科比精工设备有限公司
申请日： 2023-09-01 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C25D17/08 文献下载
摘要：本发明提供一种硅片镀铜用导电治具，用于解决现有技术中硅片电镀铜时，没有固定规格应用于硅片的装载机构、固定机构和导电机构的问题。为本发明提供一种硅片镀铜用导电治具，包括：载板，所述载板上开设有八十个置物槽，所述置物槽贯通载板，且置物槽中部外缘边设置有方形凹台，所述置物槽的每个方形凹台四角均设置有缓冲放置组件，所述载板的前端和后端对应设置有十六对驱动组件能够实现大容量装载硅片，具有安装便捷，对硅片的限位能力强，导电连接稳定性强的优点。
一种硅片镀铜导电

[实用新型]异质结太阳电池加工设备载板上的硅片装载结构-CN202122480154.3有效
发明人：刘翠翠 -专利权人：江西汉可泛半导体技术有限公司
申请日： 2021-10-14 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了异质结太阳电池加工设备载板上的硅片装载结构，包括载板本体，与现有技术不同的是，载板本体的顶部设置有四个呈中心对称分布的销钉，且销钉与载板本体插接，所述销钉的顶端固定设有销钉头，所述销钉头朝向载板本体的面呈倾斜设置本实用新型通过将四个销钉关于载板本体呈中心对称后，四个销钉为硅片的四边做限位处理，当硅片放歪位于销钉头顶部时，由于销钉头朝向载板本体的面呈倾斜设置，因此硅片会自动从销钉头的顶部滑落位于载板本体上，该装载结构降低载板的加工难度，且与硅片接触点少，降低硅片镀膜时的边缘效应，降低对自动化的定位要求，降低产线由于放片不准导致的崩边缺角或镀膜不良的比例。
异质结太阳电池加工设备载板上硅片装载结构

[实用新型]一种单晶硅片清洗装置-CN202222068642.8有效
发明人：陈子轩;孔繁政;陈亚男 -专利权人：温州海旭科技有限公司
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶硅片清洗装置，包括机架，机架一侧滑移设置有用于装载硅片的输送架，机架一侧设置有清洗槽，清洗槽内转动设置有清洗架，清洗架用于放置硅片进行超声波清洗，清洗架转动90度时，输送架对应清洗架回收硅片本实用新型具有以下有益效果：这种单晶硅片清洗装置能够自动输送所清洗的硅片，减少工作人员直接搬运硅片的次数。
一种单晶硅清洗装置

[实用新型]通用型石英舟治具-CN202120146165.5有效
发明人：吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵;邓大桥 -专利权人：罗博特科智能科技股份有限公司
申请日： 2021-01-19 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种通用型石英舟治具，包括顶齿组件，顶齿组件包括多组顶齿，顶齿组件为多组顶齿的固设组合体，每个顶齿上设置有用于承托硅片的放置腔；还包括导插件，每个放置腔内设置有导插件，导插件被配置为能够兼容硅片直插和硅片斜插本实用新型在顶齿的放置腔内设置导插件，导插件被配置为能够兼容硅片直插和硅片斜插，解决了现有技术装载硅片的装置无法兼容硅片直插和硅片斜插的缺点，通用性高，方便实用。
通用型石英舟治具

[发明专利]一种太阳能电池硅片干燥或固化用烘箱-CN202010286155.1在审
发明人：上官泉元;庄正军;邹开峰;范恒灵 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2020-04-13 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： B41F23/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池硅片干燥或固化用烘箱，包括箱体，箱体具有进板门阀一及出板门阀一，以及进气管道和出气管道；箱体内设置有升降承托机构以用于沿垂直方向平行并列设置多排用于载板承托的载板支架；对应每排载板支架的上下两侧均设置有加热板；还具有装载腔；装载腔具有进板门阀二及对应进板门阀一的出板门阀二；装载腔通过真空阀一连通至抽真空设备；箱体的出气管道通过真空阀二连通至装载腔。该发明通过多层硅片平躺式放置加热烘干，且双面同时加热可以确保硅片均匀加热而实现快速干燥；挥发的有机气体可以通过真空抽气和进气的方式均匀有效的抽出而不需要大量吹气，有效减少了吹气能耗，且具有高产能、占地少的优点
一种太阳能电池硅片干燥固化烘箱

[实用新型]一种板式PECVD的自动上料设备-CN201821262801.5有效
发明人：陈剑雨;王树林;倪鹏玉;陈清彬;姚晓宇 -专利权人：福建钜能电力有限公司
申请日： 2018-08-07 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： B65G43/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种板式PECVD的自动上料设备，包括满料盒装载与空料盒排出机构、料盒升降机构、平移升降机构、硅片缓冲料盒、红光区、放片区，四工位抓手、四工位机器人、载板升降机构，所述满料盒装载与空料盒排出机构由满料盒装载段和空料盒排出段组成，满料盒装载与空料盒排出机构通过料盒升降机构与平移升降机构连接，平移升降机构前端预设硅片缓冲料盒，平移升降机构和红光区设置在放片区两侧，四工位抓手设置在红光区上方，四工位机器人设置在放片区上方。本实用新型可以将放置于料盒中的待镀膜硅片快速、准确的转移至载板上，提升上料速率，降低操作员的劳动强度和操作难度，实现板式PECVD上料的自动化、高效率。
平移升降机构空料盒满料盒四工位板式装载排出机构红光区片区料盒升降机构自动上料设备本实用新型缓冲料硅片上料载板抓手机器人镀膜硅片升降机构高效率排出段料盒预设自动化

[实用新型]一种太阳能电池硅片干燥或固化用烘箱-CN202020541378.3有效
发明人：上官泉元;庄正军;邹开封;范恒灵 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2020-04-13 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： B41F23/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种太阳能电池硅片干燥或固化用烘箱，包括箱体，箱体具有进板门阀一及出板门阀一，以及进气管道和出气管道；箱体内设置有升降承托机构以用于沿垂直方向平行并列设置多排用于载板承托的载板支架；对应每排载板支架的上下两侧均设置有加热板；还具有装载腔；装载腔具有进板门阀二及对应进板门阀一的出板门阀二；装载腔通过真空阀一连通至抽真空设备；箱体的出气管道通过真空阀二连通至装载腔。该实用新型通过多层硅片平躺式放置加热烘干，且双面同时加热可以确保硅片均匀加热而实现快速干燥；挥发的有机气体可以通过真空抽气和进气的方式均匀有效的抽出而不需要大量吹气，有效减少了吹气能耗，且具有高产能、占地少的优点
一种太阳能电池硅片干燥固化烘箱

[实用新型]一种新型等离子刻蚀夹具-CN201120074634.3无效
发明人：黄晶晶;徐自然;张安生 -专利权人：上海神舟新能源发展有限公司
申请日： 2011-03-21 - 公布日： 2011-10-19 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：与现有技术相比，本实用新型结构简单，刻蚀效果佳，架空的底座使下部的硅片也能受到等离子体充分的物理轰击，且使装载硅片整体抬高，位于刻蚀腔体的上部，能得到更高的并阻值和电池效率，螺杆的高度可调，使可装载硅片数的范围更大
一种新型等离子刻蚀夹具

[发明专利]一种硅片清洗用装载装置-CN201811336267.2在审
发明人：何飞;张靖 -专利权人：江苏德润光电科技有限公司
申请日： 2018-11-09 - 公布日： 2019-01-29 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片清洗用装载装置，包括基板、轴承、第一承载篮、第二承载篮和第三承载篮，所述第一、二、三承载篮叠装在一起，所述基板和第一承载篮通过轴承连接，所述第一承载篮可以相对于基板转动。第一、二、三承载篮可以一起吊装，也可以单个吊装，使用方便，并且装载装置有利于硅片的烘干操作。
承载装载装置硅片清洗基板吊装基板转动轴承连接硅片叠装烘干轴承

[发明专利]一种太阳能硅片清洗烘干一体装置-CN202011011520.4在审
发明人：陈春成;戚建静 -专利权人：江苏晶品新能源科技有限公司
申请日： 2020-09-23 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能硅片清洗烘干一体装置，包括清洗装置、装载装置和气流发生装置，清洗装置包括环形清洗槽、淋洗箱和烘干箱，所述装载装置包括呈环形分布的多个吊篮，所述气流发生装置能够进行吸气和吹气操作，从而实现吹水和烘干本申请的太阳能硅片清洗烘干一体装置结构紧凑，占地小，并且实现超声清洗、淋洗、烘干一体化操作。
一种太阳能硅片清洗烘干一体装置

[实用新型]一种硅片清洗用装载装置-CN201821851631.4有效
发明人：何飞;张靖 -专利权人：江苏德润光电科技有限公司
申请日： 2018-11-09 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片清洗用装载装置，包括基板、轴承、第一承载篮、第二承载篮和第三承载篮，所述第一、二、三承载篮叠装在一起，所述基板和第一承载篮通过轴承连接，所述第一承载篮可以相对于基板转动。第一、二、三承载篮可以一起吊装，也可以单个吊装，使用方便，并且装载装置有利于硅片的烘干操作。
承载装载装置硅片清洗基板吊装本实用新型基板转动轴承连接硅片叠装烘干轴承

[实用新型]一种可循环的高频振动清洗机-CN201921993513.1有效
发明人：李志卫;张仕俊;石正娟 -专利权人：苏州新米特电子科技有限公司
申请日： 2019-11-18 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可循环的高频振动清洗机，涉及硅片清洗技术领域，其技术方案要点是包括机体，机体内设有超声槽，机体的一侧设有与超声槽连通的排水口，排水口连接有循环装置，还包括过滤桶，所述过滤桶内可拆卸设有用于装载硅片的装载桶，所述装载桶的深度小于过滤桶的深度。过滤桶位于超声槽内，过滤桶和装载桶的开口均朝向超声槽的槽口。本实用新型通过过滤桶过滤粉尘等杂质，使得粉尘等杂质集中在过滤桶内，从而降低粉尘等杂质沉积在超声槽底部的可能性。
一种循环高频振动清洗

[实用新型]太阳能电池片的无缝隙传输装置-CN201922183724.5有效
发明人：梅有明;戴宝驹;陈建华 -专利权人：扬州朗日新能源科技有限公司
申请日： 2019-12-09 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：这种太阳能电池片的无缝隙传输装置包括载具、装载腔、加速段和沉积区，装载腔连接加速段，加速段连接沉积区，装载腔、加速段和沉积区内设有传输装置，载具置于传输装置上，所述装载腔两侧设有门阀一和门阀二，装载腔内设有传感器一通过这种无缝隙传输系统，载满硅片的载具在通过工艺腔体时，载具上第一排、末排产品不再有边缘效应，提升了硅片的镀膜或蚀刻均匀性。
太阳能电池缝隙传输装置

[实用新型]凹面载板-CN201621466229.5有效
发明人：周桂宏 -专利权人：南京仁厚科技有限公司
申请日： 2016-12-29 - 公布日： 2017-06-20 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种凹面载板，是对板式PECVD工艺中的硅片载板的结构改进，在载板上开设有用于装载硅片的槽，在槽的边沿具有用于托住硅片的承载面，承载面采用曲面形式，曲面布置在被承载硅片的至少两个侧边上，曲面与硅片的边缘之间为线接触。本实用新型把载板的硅片承载接触面从现有的平台阶面改进为凹面，进而将硅片边缘与载板接触由面接触变为线接触，能够极大地降低边缘效应的影响，同时避免绕镀的发生。
凹面

[发明专利]一种用于硅片研磨过程中的搬送方法以及研磨系统-CN202310160871.9在审
发明人：张钊;林山峰;陈建勇;任瑞明;赵恒 -专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种用于硅片研磨过程中的搬送方法以及研磨系统；所述搬送方法包括：将装载区中设定数量的硅片搬送至粗研磨机中以进行研磨；将完成研磨的所述硅片搬送至研磨清洗机中以进行清洗；将完成清洗的所述硅片搬送至所述研磨清洗机中的等待区中；当所述等待区中的所述硅片的数量满足目标要求后，将所述等待区中的所述硅片搬送至卸载区以进行卸载；其中，在搬送过程中，利用所述硅片的编码信息以追踪所述硅片的加工状态。
一种用于硅片研磨过程中的方法以及系统