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[发明专利]真空蒸镀方法及其装置-CN201310061001.2无效
发明人：若林雅;浅田干夫;郑载勋;李相雨 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-02-27 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种提高真空蒸镀中蒸镀材料的利用效率的有机EL器件的真空蒸镀装置及真空蒸镀方法。在有机EL器件的真空蒸镀装置中，为了防止来自蒸发源的加热器的辐射热直接使阴罩过热，而通过在加热器与阴罩之间设置水冷式的冷却板，从而能够使蒸镀源与阴罩的间隔与原来相比更狭窄，提高被蒸发的有机EL材料之中用于向基板上的成膜的比例从而提高蒸镀材料的利用效率
真空方法及其装置

[发明专利]一种单原子金属催化剂及其制备方法和应用-CN202310751408.1在审
发明人：李晶;王泓麟;朱宏伟 -专利权人：北京建筑材料科学研究总院有限公司;清华大学
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： B01J23/89 文献下载
摘要：本发明涉及单原子催化技术领域，提供一种单原子金属催化剂及其制备方法和应用，该方法包括：采用真空热蒸镀方法向碳膜上蒸镀金属层得到基底后，继续采用真空热蒸镀方法向所述基底上进行n次蒸镀，前一次蒸镀得到的层结构作为后一次蒸镀的基底，每次蒸镀时均采用纯度≥99.99％的金属颗粒作为金属源，且每相邻两次蒸镀采用的金属源不同，在第n次蒸镀时使形成的金属层的厚度≤20nm，即得所述单原子金属催化剂。本发明通过采用两次以上的真空热蒸镀方法在碳膜上制备单原子金属催化剂，不仅操作简便、成本低廉、所需材料仅为传统材料，且能够制备大面积的单原子金属催化剂，有实现大面积、批量生产单原子金属催化剂的巨大潜力。
一种原子金属催化剂及其制备方法应用

[发明专利]真空蒸镀用加热装置-CN200710148517.5无效
发明人：田中淳美 -专利权人：柯斯墨·A株式会社
申请日： 2007-08-22 - 公布日： 2008-10-01 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明的技术课题在于提供一种提高蒸镀材料的操作便利性、且通过改善白热丝与蒸镀材料的接触状况来进行更好的蒸镀的新型的真空蒸镀用加热装置。真空蒸镀用白热丝(1)的特征在于，其通过在熔融作用部(22)的上方沿长度方向连续地设置蒸镀材料(W)的安置部(23)来形成，且该安置部(23)形成为使蒸镀材料(W)从上方导入的形状，另一方面，所述蒸镀材料(W)呈弯曲形状，从而与真空蒸镀用白热丝(1)保持宽松卡合状态地安置在安置部(23)上，可使蒸镀材料(W)相对于真空蒸镀用白热丝(1)的设置容易地进行，且使熔融作用部(23)对蒸镀材料(W)的热传递高效地进行
真空蒸镀用加热装置

[发明专利]一种真空热蒸镀用一体化蒸发源-CN201911275234.6在审
发明人：刘生忠;焦玉骁;王辉;曹越先;杜敏永;段连杰;孙友名;王立坤;王开 -专利权人：中国科学院大连化学物理研究所
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种真空蒸镀用一体化蒸发源，属于真空蒸镀技术领域，解决了一般热蒸发中加热不均匀性和热惯性大的问题，极大的简化了加热机构。本发明的真空蒸镀用坩埚组件主要包括坩埚和电极座两部分。其中坩埚两端为纯银电极涂层，电极间均为加热部分，镀有电热涂层。此坩埚组件结构简单，发热快速，发热体是坩埚本身，坩埚受热均匀，且热惯性小，能实现快速升温和降温，能实现蒸发速率的快速调控，达到蒸镀速率的稳定性。
一种真空热蒸镀用一体化蒸发

[发明专利]热释电灵敏元的制备方法-CN202010919104.8有效
发明人：何虎;张杰;于海洋;许晴;王昕;刘盼盼 -专利权人：上海翼捷工业安全设备股份有限公司
申请日： 2020-09-04 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： H01L37/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种热释电灵敏元的制备方法，包括步骤：（1）减薄后的热释电晶体在清洗后进行退火处理；（2）采用真空蒸镀工艺，分别在热释电晶体的两侧面镀制上电极和下电极；（3）采用真空蒸镀工艺，通过在镀膜夹具下方安装图形化工装，以在热释电晶体的上电极上镀制吸收层，在真空蒸镀工艺开始前和结束后均烘烤预设时间；（4）降温后，破空取件，即得本发明的热释电灵敏元特殊设计的图形化单元，能够提高吸收效率；上、下电极和图形化吸收层全部采用真空热蒸发镀膜的工艺方法
热释电灵敏制备方法

[发明专利]一种用于激光转印的真空蒸镀材料及其制备方法-CN202310056648.X在审
发明人：汪来胜;张廷戴 -专利权人：广州永新包装有限公司
申请日： 2023-01-16 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于激光转印的真空蒸镀材料及其制备方法，该真空蒸镀材料包括薄膜基材层、热吸收蒸镀层和等离子处理层；通过真空蒸镀技术在薄膜基材的表面镀上一层金属或金属氧化物，由于金属及金属氧化物对激光有着强吸收作用，在激光的辐照作用下，热吸收蒸镀层温度会迅速升高，浆料/薄膜界面处会快速形成高压蒸汽层，快速将浆料释放到基材表面上。
一种用于激光真空材料及其制备方法

[实用新型]一种复合包装膜-CN201320137003.0有效
发明人：王明新;陈志浩;曾环祥 -专利权人：武汉市天虹纸塑彩印有限公司
申请日： 2013-03-25 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： B32B15/085 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种复合包装膜，基膜下印刷聚氨酯油墨层、蒸镀底油、真空蒸镀铝层，真空蒸镀铝层通过粘合剂粘合热封膜。本实用新型是以双向拉伸聚丙烯膜为基膜，基膜经过印刷聚氨酯油墨层，涂布一层蒸镀底油后，经真空蒸镀铝层，然后通过粘合剂与热封膜粘结。本实用新型主要由基膜、热封膜两种材料复合组成，结构简单，能提高复合膜的阻隔性能和美观感，同时印刷层蒸镀后，热封膜可根据需要随意搭配，拓宽了材料的使用范围，降低了生产成本。
一种复合包装

[其他]一种用于热浸涂镀及真空蒸镀的两用连续涂镀设备-CN85107485无效
发明人：梅田昭三;筑地宪夫;爱甲琢哉;橘高敏晴;古川平三郎;和气完治;下里省夫;加藤光雄;和田哲义;柳谦一 -专利权人：日新制钢株式会社;三菱重工业株式会社
申请日： 1985-10-10 - 公布日： 1987-04-15 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本文公布了一种用于热浸涂镀及真空蒸镀的两用连续涂镀设备，其特征是，常用的连续热浸涂镀设备的气体还原退火炉出口和现有的连续真空蒸镀设备的密封辊腔的入口之间，连接了一个增压腔，以便防止含氢的还原气体侵入真空淀积室，这样，也就防止了万一空气漏入真空淀积室时，含氢气体会导致爆炸的可能性。
一种用于热浸涂镀真空两用连续设备

[发明专利]真空蒸镀装置、蒸镀膜的制造方法和有机电子器件的制造方法-CN201610416499.3有效
发明人：三泽启太;后藤亮太;风间良秋;七五三木浩一 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2016-06-14 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种真空蒸镀装置、蒸镀膜的制造方法和有机电子器件的制造方法，该真空蒸镀装置能够防止蒸镀中的热变形，从而高精度地以所希望的图案成膜。一种真空蒸镀装置，其在蒸镀室(1)中设置有蒸发源(2)和蒸发源移动机构或者基板移动机构，所述蒸发源隔着掩模对基板进行蒸镀，所述蒸发源移动机构在进行蒸镀时使所述蒸发源(2)相对于所述基板相对移动，所述基板移动机构在进行蒸镀时使所述基板相对于所述蒸发源相对移动，其中，所述蒸发源移动机构或所述基板移动机构构成为：在对所述基板开始蒸镀之前，利用所述蒸发源(2)进行所述掩模的预先加热。
真空装置镀膜制造方法有机电子器件

[发明专利]一种蒸镀坩埚-CN201610366063.8在审
发明人：张微 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-05-27 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀坩埚，以解决现有的真空热蒸镀技术中，以解决熔融型金属材料进行蒸镀时出现的升华速率不稳定所导致的蒸镀效率低和烧坏蒸镀坩埚的问题。所述蒸镀坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体的底部的内表面形成有网格状的凸起结构。
一种坩埚

[发明专利]真空蒸镀装置-CN201280075029.5有效
发明人：重冈伸之 -专利权人：三菱重工业株式会社
申请日： 2012-11-13 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种真空蒸镀装置。本发明的真空蒸镀装置具备：蒸发源，其朝向配置有靶的位置配置；蒸发源罩，其包围蒸发源，具有放出蒸镀材料的放出口；防粘板，其配置于蒸发源罩的周围；膜厚传感器，其检测从蒸发源放出的蒸镀材料形成的膜厚；热反射抑制单元，其设置于再反射且能够照射到膜厚传感器的位置，抑制能够照射到膜厚传感器的热。
真空装置

[发明专利]真空热蒸镀技术制备导电纱线的方法-CN201810517459.7在审
发明人：姜绶祥;徐江涛;苗大刚;彭灵慧;王宇翔;尚颂民;华涛;彭青歆 -专利权人：东莞超盈纺织有限公司
申请日： 2018-05-25 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： D06M11/83 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空热蒸镀技术制备导电纱线的方法，所述导电纱线通过以下方法制备：步骤S1，纱线的预处理；步骤S2，将步骤S1中预处理好的纱线放入真空蒸发卷绕镀膜机的真空室中进行镀膜：采用热蒸镀的方法，将金属蒸镀到纱线基材表面本发明提供的具有导电性的纱线具有较好的导电性能，同时具有良好的柔性及手感，此外，纱线的编织性并未因蒸镀过程而丧失。
纱线导电纱线基材表面制备预处理导电性卷绕镀膜机真空热蒸镀导电性能金属薄膜金属蒸镀预处理好热蒸镀真空室手感镀膜放入蒸镀编织

[发明专利]一种小型真空蒸镀仪-CN201510457194.2有效
发明人：廖良生;武启飞;陈敏 -专利权人：苏州方昇光电装备技术有限公司
申请日： 2015-07-30 - 公布日： 2018-04-10 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明揭示了一种小型真空蒸镀仪，包括设备整体机架，蒸镀腔室，真空系统，冷却系统，所述蒸镀腔室包括底部的蒸发区，及设置于蒸发区正上方的待加工蒸镀区，所述蒸发区包括置于蒸镀腔室底板上的蒸发电极、相邻的蒸发电极之间的电极隔板、及设置于蒸发电极内的有机蒸发坩埚；所述待加工蒸镀区由上至下依此包括样品盘、掩膜盘及蒸发挡板。本发明的小型真空热蒸发镀膜仪体积较小，简洁明了，功能齐全，性价比高，可实现大众化的应用。
一种小型真空蒸镀仪

[实用新型]一种小型真空蒸镀仪-CN201520562051.3有效
发明人：廖良生;武启飞;陈敏 -专利权人：苏州方昇光电装备技术有限公司
申请日： 2015-07-30 - 公布日： 2015-12-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型揭示了一种小型真空蒸镀仪，包括设备整体机架，蒸镀腔室，真空系统，冷却系统，所述蒸镀腔室包括底部的蒸发区，及设置于蒸发区正上方的待加工蒸镀区，所述蒸发区包括置于蒸镀腔室底板上的蒸发电极、相邻的蒸发电极之间的电极隔板、及设置于蒸发电极内的有机蒸发坩埚；所述待加工蒸镀区由上至下依此包括样品盘、掩膜盘及蒸发挡板。本实用新型的小型真空热蒸发镀膜仪体积较小，简洁明了，功能齐全，性价比高，可实现大众化的应用。
一种小型真空蒸镀仪

[发明专利]一种金属膜热镀覆装置及方法-CN202210453601.2在审
发明人：褚伍波;江南;李赫;易剑;林正得;虞锦洪 -专利权人：宁波杭州湾新材料研究院;中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属膜热镀覆装置和方法，其中公开的金属膜热镀覆装置，包括设有进气管和出气管的腔体，温控系统和用于控制真空度和气氛成分的气氛控制系统，所述腔体内可拆卸连接有若干个蒸镀室，所述温控系统控制各蒸镀室内的温度；所述蒸镀室包括室座，所述室座上设有用于放置蒸镀源的蒸镀源位，围绕所述蒸镀源位连续设有阻隔槽，所述阻隔槽上可拆卸连接有室盖，所述室盖内壁与室座形成样品室，所述样品室内的室座上设有用于放置待蒸镀样品的放置处；所述阻隔槽内放置有熔点低于蒸镀源工作温度的可熔融颗粒物。本发明还公开了金属膜热镀覆方法，采用前述的金属膜热镀覆装置对待蒸镀样品进行镀膜。
一种金属膜镀覆装置方法

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