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[发明专利]一种能够提高镀膜均匀性的方法及石墨载具-CN201810435159.4在审
发明人：韩晓辉;秦积海 -专利权人：晋能清洁能源科技股份公司
申请日： 2018-05-09 - 公布日： 2018-10-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的能够提高镀膜均匀性的方法及石墨载具，沉积炉内设置若干横向并列的能够装载太阳能晶硅电池片的石墨舟，每片石墨舟通过支撑架支撑固定，相邻支撑架之间通过陶瓷支撑套分隔支撑，支撑架之间距离不均匀，位于外侧的支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片之间距离大于位于内侧的支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片之间距离，从外侧向内侧支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片间距逐渐缩小，以提高电场强度，补偿因温度不同导致的膜层沉积速度的不同，实现了对膜层沉积速度的有效控制，使得膜层厚度均匀性表现更为优异。
支撑架石墨舟太阳能晶硅电池片镀膜均匀性石墨载具膜层厚度均匀性横向并列膜层沉积陶瓷支撑有效控制支撑固定逐渐缩小不均匀沉积炉对膜层沉积分隔装载支撑表现

[发明专利]一种集装式多艘冲锋舟储运车-CN201310519943.0无效
发明人：李伟明 -专利权人：李伟明
申请日： 2013-10-29 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： B60P3/10 文献下载
摘要：一种集装式多艘冲锋舟储运车，它涉及一种冲锋舟储运车。本发明为了解决现有技术普遍采用拖挂车的形式运输一艘或多艘冲锋舟，采用吊挂式、举升式和人力装卸方式，浪费大量的人力、物力辅助完成相关工作，导致装卸效率低的问题。本发明的牵引架（1）铰接设置在拖车（2）的前端，限位板（9）竖直设置在拖车（2）的前部，牵引绞盘（3）设置在限位板（9）的前端面上，举升系统（4）设置在拖车（2）上，滑道系统（8）由左至右设置在拖车（2）上，且滑道系统（8）与水平面之间的夹角为10°-30°，集装架（6）设置在拖车（2）上，冲锋舟固定机构（5）设置在集装架（6）上。本发明用于冲锋舟储运。
一种集装式多艘冲锋储运

[实用新型]一种能够提高镀膜均匀性的石墨载具-CN201820681766.4有效
发明人：韩晓辉;秦积海 -专利权人：晋能清洁能源科技股份公司
申请日： 2018-05-09 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型的能够提高镀膜均匀性的石墨载具，沉积炉内设置若干横向并列的能够装载太阳能晶硅电池片的石墨舟，每片石墨舟通过支撑架支撑固定，相邻支撑架之间通过陶瓷支撑套分隔支撑，支撑架之间距离不均匀，位于外侧的支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片之间距离大于位于内侧的支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片之间距离，从外侧向内侧支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片间距逐渐缩小，以提高电场强度，补偿因温度不同导致的膜层沉积速度的不同，实现了对膜层沉积速度的有效控制，使得膜层厚度均匀性表现更为优异。
支撑架石墨舟太阳能晶硅电池片镀膜均匀性石墨载具膜层厚度均匀性本实用新型横向并列膜层沉积陶瓷支撑有效控制支撑固定逐渐缩小不均匀沉积炉对膜层沉积分隔装载支撑表现

[实用新型]一种石英舟及取放石英舟的双叉-CN201621217076.0有效
发明人：刘宗超 -专利权人：成都海威华芯科技有限公司
申请日： 2016-11-11 - 公布日： 2017-08-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型涉及集成电路半导体晶圆生成制造领域，尤其涉及一种石英舟及取放石英舟的双叉，该石英舟包括舟体和底座，舟体包括相对设置的两个U型石英架、用于连接两个U型石英架左右侧壁的两根开槽石英棒、靠近所述两个开槽石英棒均设置石英管、每个U型石英架开口上设置一根石英管，底座为贯穿在两个U型石英架底部的两根开槽石英棒，位于U型石英架开口上石英管两端的用于对晶圆限位的圆柱石英台阶，进而实现了方便在高温条件下取放和平放晶圆时限位和固定的技术效果
一种石英

[实用新型]三氧化钼料舟自动翻转卸料装置-CN201920493455.X有效
发明人：郭宗扬;张惠;牛海涛;韩凤;刘波峰 -专利权人：辽宁天桥新材料科技股份有限公司
申请日： 2019-04-12 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： B65G65/23 文献下载
摘要：三氧化钼料舟自动翻转卸料装置，包括箱体，箱体底部设有料斗，箱体左侧设有进料口，在箱体左侧设置左右滑动的移动架，箱体上设置驱动移动架左右滑动的平移驱动机构，在移动架右端设置前后转动且重心偏下的料舟托架，料舟托架经进料口插入箱体，在料舟托架上设有周向布置的轴向插孔，在箱体内设置前后转动且与料舟托架同轴的的转轴，转轴左端设有与多个轴向插孔一一对应的轴向插杆，在转轴右端设置齿轮，在箱体内设置上下滑动且与齿轮啮合的齿条及驱动齿条上下滑动的升降驱动机构
料舟托架移动架转轴前后转动上下滑动轴向插孔左右滑动进料口卸料平移驱动机构升降驱动机构齿轮啮合驱动齿条三氧化钼卸料装置周向布置自动翻转传统的疲劳度齿轮插杆齿条料斗同轴轴向左端重心驱动保证

[实用新型]一种硅舟快速组装的连接组件-CN202220775177.9有效
发明人：邵永杰 -专利权人：杭州跨界耐磨零部件有限公司
申请日： 2022-04-01 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅舟快速组装的连接组件，包括第一固定壳，第一固定壳的两侧均固定连接有第一限位架，两个第一限位架顶部的后侧均通过轴销活动连接有第二限位架，两个第二限位架相对的一侧之间固定连接有第二固定壳，第一固定壳和第二固定壳内腔的左侧均固定连接有定位装置，两个定位装置的表面均套设有硅舟本体，第一限位架的左侧固定连接有限位装置，限位装置包括第一定位壳和第一限位块。通过设置第一固定壳、第一限位架、第二限位架、第二固定壳、定位装置、硅舟本体、限位装置、第一定位壳、第一限位块、锁定装置、第二定位壳和的配合使用，解决了现有人工对硅舟进行组装的过程中不能保证硅舟的平整性问题
一种快速组装连接组件

[实用新型]晶舟和炉管-CN201120294196.1有效
发明人：沈建飞;任瑞龙 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2011-08-12 - 公布日： 2012-02-08 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶舟，安装于晶舟支撑架上，所述晶舟包括顶板、底板以及连接于所述顶板和所述底板之间的若干支柱，所述底板的下方设有环形罩。本实用新型还公开了一种炉管，包括晶舟支撑架和晶舟，所述晶舟安装在所述晶舟支撑架上，所述晶舟包括顶板、底板以及连接于所述顶板和所述底板之间的若干支柱，所述底板的下方设有环形罩。本实用新型种晶舟和炉管，通过在晶舟的底板下方设置环形罩，通过环形罩遮盖住晶舟支撑架上容易淀积多晶硅薄膜的部分即将金属材质的圆形连接支架遮盖，从而，有效避免制程气体淀积到圆形连接支架上形成疏松的多晶硅薄膜
炉管

[发明专利]清洗石墨舟的方法-CN202111070180.7在审
发明人：王亚楠;刘宗刚;徐文州 -专利权人：通威太阳能（眉山）有限公司
申请日： 2021-09-13 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：一种清洗石墨舟的方法，属于光伏领域。清洗石墨舟的方法包括：通过将石墨舟浸泡于酸洗液中的方式去除镀层中的二氧化硅膜层，获得一级清洗石墨舟；利用碱洗液浸泡一级清洗石墨舟，以去除镀层中的多晶硅膜层，获得二级清洗石墨舟；用酸液浸泡二级清洗石墨舟，该清洗方法可以有效地对TOPCon太阳能电池的制程中所使用的石墨舟进行清洗。
清洗石墨方法

[实用新型]一种PECVD用石墨舟-CN201921668427.3有效
发明人：朱旭东;史孟杰 -专利权人：无锡嘉瑞光伏有限公司
申请日： 2019-10-08 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种PECVD用石墨舟，包括多层堆叠设置的石墨舟片，相邻的石墨舟片间有用于放置硅片的空隙，在石墨舟片的靠近边缘处有两根将多片石墨舟片串接的电极柱，相邻的两片石墨舟片，分别连接到两根电极柱，即相邻的两片石墨舟片，一片只接一根电极柱，另一片不再连接当前电极柱，而是连接另一根电极柱。采用此种设计，能够在相邻的两个石墨舟片形成不同的极性。
一种 pecvd 石墨

[发明专利]一种水上救生和攀艇(船、舟)用吊篮(圈、板)-CN02129020.2无效
发明人：韩国防 -专利权人：韩国防
申请日： 2002-08-27 - 公布日： 2004-03-03 - 主分类号： B63C9/00 文献下载
摘要：本发明就是提供一种自重轻，在平时不占用艇(船、舟)的空间，而且简单、实用、多用途的一种水上救生和攀艇(船、舟)用吊篮(板、圈)。本发明可以通过下述方案来实现：一种水上救生和攀艇(船、舟)用吊篮是由吊篮(可根据船、艇、舟坐椅板或舱板的形状制成方形或圆形等)、绳索、吊钩组成，材料选用轻型发泡泡沫或轻型塑钢板加比重小于0.5的可漂浮发泡塑胶制成，可选用制造艇(船、舟)的同等材料制造，大小与艇(船、舟)坐椅或靠背板大小相同即可。
一种水上救生吊篮

[实用新型]一种石英舟侧板用导向滚轮组件-CN202220519701.6有效
发明人：张勇;杨大颂;彭倩;肖岳南 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-03-09 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英舟侧板用导向滚轮组件，包括：中心轴，安装于底座；滚动环，套设于中心轴上并能绕自身中心轴线旋转；套环，套设于滚动环上并与滚动环外周壁之间具有间隙；密封圈，安装于滚动环和套环之间的间隙根据本实用新型实施例的一种石英舟侧板用导向滚轮组件，能够绕自身轴线旋转以对石英舟侧板进行导向，从而校正石英舟侧板，降低石英舟侧板损坏的风险，延长石英舟侧板的使用寿命。
一种石英舟侧板用导向滚轮组件

[实用新型]电池片生产线石墨舟片-CN201320691680.7有效
发明人：秦建军;武士钦;杨洪军 -专利权人：山东天信光伏新能源有限公司
申请日： 2013-11-05 - 公布日： 2014-06-04 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种电池片生产线，特别涉及一种电池片生产线石墨舟片。其技术方案是：包括石墨舟片、支架和固定侧架，支架的两端设有固定侧架，固定侧架上设有用于连接的螺孔；在支架内布设有多组石墨舟片，每个石墨舟片上表面设有大卡点和小卡点，所述的大卡点和小卡点分散分布在石墨舟片上表面有益效果是：使石墨舟在工艺生产过程中电极导向分散，使工艺过程中电流通过流畅，射频电源放电导电性能更好，镀膜更加均匀，不易产生色差，使不良片数量明显降低，减少了二次返工，增加了经济效益。
电池生产线石墨

[实用新型]一种具有缓冲功能的石英舟托暂存架-CN201922374934.2有效
发明人：刘洋;邱祥 -专利权人：浙江鸿禧能源股份有限公司
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： B65D61/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有缓冲功能的石英舟托暂存架，包括有水平设置的安装梁和安装在安装梁上的左托架和右托架，所述左托架和右托架结构相同，其中左托架包括有托板和固定在托板上的安装块，安装块的一面设为安装面，本实用新型的石英舟托暂存架，具有缓冲功能，能有效地延长石英舟托的使用寿命，提高放置在石英舟托上的石英舟及硅片的安全性，降低硅片和石英舟托报废概率。
一种具有缓冲功能石英暂存

[发明专利]晶舟、工艺腔室及半导体工艺设备-CN202011499056.8在审
发明人：孙妍 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-12-17 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供一种晶舟、工艺腔室及半导体工艺设备，该晶舟包括支撑架，支撑架具有多个间隔设置的放片位，晶舟还包括导气通道，导气通道具有至少一个进气口和多个出气口，进气口与气源连通，每个放片位至少对应一个出气口应用本发明可以提高wafer片内均匀性及晶舟的利用率。
晶舟工艺半导体工艺设备

[发明专利]基于镀膜检测的PECVD表面镀膜的上下料方法-CN202010467764.7有效
发明人：朱辉;成秋云;黄心沿;刘帅;肖洁;吴得轶 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于镀膜检测的PECVD表面镀膜的上下料方法，包括石墨舟就位、石墨舟上缓存架、进舟前镀膜检测、石墨舟进反应室、石墨舟出反应室、取片前镀膜检测、石墨舟返回插取片机等步骤。本发明在缓存架上设置检测石墨舟是否有无镀膜的装置，增加两步是否镀膜检测步骤，其一为机械手根据检测结果直接抓取缓存架上无镀膜的石墨舟放入推舟机构上，然后由推舟机构送入反应室内镀膜，可避免出现反应室内出现二次镀膜，其二为机械手根据检测结果抓取缓存架上有镀膜的石墨舟放在传送机构上，由传送机构送入插取片机进行取片，避免没有进行镀膜的硅片流入下一道工序，确保每一舟硅片完成镀膜，而且没有重复镀膜，保证了生产流程的顺畅。
基于镀膜检测 pecvd 表面上下方法