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[发明专利]基板处理方法-CN201711475467.1有效
发明人：田中裕二;中山知佐世;春本将彦;浅井正也;福本靖博;松尾友宏;石井丈晴 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理方法，将形成有处理膜的基板载置于热处理腔室内的热处理空间中来进行热处理，所述方法包括：排气步骤，排出所述热处理空间内的气体；非活性气体供给步骤，对所述热处理空间供给非活性气体；以及热处理步骤，对所述热处理空间中的基板进行热处理。
处理方法

[发明专利]基板处理方法及其装置-CN201711471688.1有效
发明人：田中裕二;中山知佐世;春本将彦;浅井正也;福本靖博;松尾友宏;石井丈晴 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理方法，在热处理空间内对基板进行热处理，所述方法包括：搬入步骤，使基板载置于支撑销上；排气步骤，排出所述热处理空间内的气体；非活性气体供给步骤，对所述热处理空间供给非活性气体；基板下空间气体排出步骤，排出所述基板与所述热处理板的上表面之间的基板下空间内的气体；以及热处理步骤，使所述支撑销退到所述热处理板内，对在所述热处理空间内载置于所述热处理板的上表面上的基板进行热处理。
处理方法及其装置

[发明专利]一种智能门锁金属外壳雕刻纹路热处理机-CN201910473412.X在审
发明人：田琛;周静 -专利权人：永康翠竹智能科技有限公司
申请日： 2019-05-31 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： C21D9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种智能门锁金属外壳雕刻纹路热处理机，包括工作块，所述工作块内设置有一热处理空间，所述热处理空间左端壁内设置有右端壁与热处理空间连通且左端壁连通外界空间的第一管道，所述第一管道下端壁内设置有右端壁与热处理空间连通且左端壁连通外界空间的第二管道，所述第二管道下端壁内设置有一将热处理空间左端壁与外界空间连通的取料槽，所述进料槽右端壁内设置有一传动槽，所述传动槽右端壁内设置有一左端壁与传动槽连通的复位槽，此装置具有机构简单，操作方便，能够定量自动添加需要热处理的出料，可以很好控制材料的添加，热处理速度块且热处理均匀，完全热处理后的能自动停止高温热处理，能够很好的保护材料，装置稳定性好。
热处理空间连通左端热处理端壁外界空间传动槽纹路第二管道第一管道金属外壳热处理机智能门锁工作块下端壁雕刻高温热处理装置稳定性保护材料控制材料自动添加自动停止复位槽进料槽取料槽出料

[发明专利]基板处理方法及其装置-CN201810071450.8有效
发明人：福本靖博;田中裕二;石井丈晴;松尾友宏 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-01-24 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理方法，在热处理腔室内的热处理空间内对形成有处理膜的基板进行热处理，所述基板处理方法包括排气步骤、非活性气体供给步骤以及热处理步骤，在实施所述排气步骤、所述非活性气体供给步骤之后，实施热处理步骤，在所述排气步骤中，排出由包围热处理板的周围的罩部形成的热处理空间的气体，在所述非活性气体供给步骤中，从上方对所述热处理空间供给非活性气体，并且对所述热处理板的外周面与所述罩部的内周面之间的间隙供给非活性气体，在所述热处理步骤中，对所述热处理空间内的基板进行热处理。
处理方法及其装置

[发明专利]热处理装置-CN202111046701.5在审
发明人：中谷淳司 -专利权人：光洋热系统株式会社
申请日： 2021-09-06 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：本发明提供一种热处理装置，在将被处理物输送到热处理炉内并支承于支承件时，不会对被处理构件产生热冲击。所述热处理装置具备：热处理炉，形成热处理空间；支承件，设置在所述热处理空间内；输送装置，在将被处理物从所述热处理空间外输送到所述热处理空间内之后，使所述被处理物支承于所述支承件；以及温度检测装置，检测由所述输送装置输送到所述热处理装置内的所述被处理物的温度所述输送装置基于由所述温度检测装置检测到的温度，决定将由所述输送装置输送到所述热处理装置内的所述被处理物支承于所述支承件的时刻。
热处理装置

[发明专利]加热炉-CN202210850173.7在审
发明人：秋本茂;林田拓磨;大西明义 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2022-07-19 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： F27B9/24 文献下载
摘要：加热炉具备：主体部，具有用于进行被处理物的热处理的热处理空间，具备配置在热处理空间内的加热部；气体供给部，将为了进行热处理所需的气体供给到主体部的热处理空间；吸引喷出部，具有与主体部的热处理空间连接的气体管路，反复进行从热处理空间向气体管路的气体的吸引和被吸引到气体管路的气体向热处理空间的喷出；和蓄热体，配置在气体管路的内部之中位于主体部的内部的部分，能够进行热交换。
加热炉

[发明专利]热处理炉-CN201911373754.0有效
发明人：大山智明;有马和彦;山田浩治 -专利权人：日本碍子株式会社;NGK凯伦泰克株式会社
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： F27B9/02 文献下载
摘要：本发明提供适当地维持热处理炉内的各空间的气氛温度的技术。热处理炉对被处理物进行热处理。热处理炉具备炉体和输送装置，所述炉体具备：以第一温度对被处理物进行热处理的第一空间、以与第一温度不同的第二温度对被处理物进行热处理的第二空间、以及隔开第一空间与第二空间的间隔壁，所述输送装置将被处理物从第一空间的一端输送至第二空间的另一端间隔壁具备连通通路和第三空间，所述连通通路使第一空间与第二空间连通，所述第三空间设置于间隔壁内，与第一空间和第二空间隔开，并且与连通通路进行连通。
热处理

[发明专利]加热处理装置和加热处理方法-CN201980019855.X在审
发明人：大塚幸信;相良慎一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-03-11 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：对形成于基板的涂布膜进行加热处理的加热处理装置具有：载置部，其载置基板；加热部，其用于将载置的基板进行加热；环状体，其以包围该载置部的外周的方式设置；盖体，其覆盖该载置部，并且通过盖体的下表面与所述环状体抵接或接近来形成加热处理空间；中央排气部，其配置于该盖体的中央部，用于对该加热处理空间内进行排气；以及控制部，其对载置于该载置部的基板的加热处理进行控制，其中，该控制部进行控制以进行以下工序：第一加热处理工序，在形成该加热处理空间并且在该加热处理空间内存在基板的状态下，不对该加热处理空间内进行排气，进行该基板的加热；以及第二加热处理工序，使该中央排气部工作来对该加热处理空间内进行排气，并且进行该基板的加热。
加热处理装置方法

[发明专利]加热炉-CN202211653591.3在审
发明人：秋本茂;藤井祐里;雷健太 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：加热炉(100)具备：主体部(10)，具有用于进行被处理物的热处理的热处理空间(11)；气体供给部(20)，将为了进行热处理所需的气体供给到主体部的热处理空间；吸引喷出部(30)，具有与主体部连接的气体管路(31)，反复进行从热处理空间向气体管路的气体的吸引和被吸引的气体向热处理空间的喷出；和蓄热体(40)，配置在气体管路的内部，能够进行热交换。气体管路配置为，在经由气体管路的气体的吸引以及喷出时，沿着从气体管路向热处理空间喷出的气体的行进方向的单位向量和沿着从热处理空间向气体管路吸引的气体的行进方向的单位向量的内积成为0以下。
加热炉

[实用新型]一种模块化大型设备整体热处理装置-CN201721433622.9有效
发明人：侯晓翠;张世国;何禹鹏 -专利权人：中石化第五建设有限公司;中石化炼化工程（集团）股份有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： C21D9/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种模块化大型设备整体热处理装置，设有热处理炉、多台燃烧器、烟道系统、临时鞍座和供油系统；热处理炉由围墙和顶盖构成，且热处理炉的炉膛空间由围墙、顶盖和地面围合而成，使得被热处理设备能够容纳在该炉膛空间内，临时鞍座连接在围墙的内壁面上，使得被热处理设备能够坐落在地面上并被临时鞍座所支撑；供油系统能够为各台燃烧器提供燃油，热处理炉的围墙底部位置对应每一台燃烧器设有一个通孔，每一台燃烧器的出口通过对应的通孔伸入热处理炉的炉膛空间内；烟道系统连通热处理炉的炉膛空间，用于排出炉膛空间内的烟气。
热处理炉炉膛空间燃烧器围墙鞍座整体热处理装置本实用新型热处理设备大型设备供油系统烟道系统顶盖模块化通孔设备购置成本底部位置内壁排出伸入围合烟气连通能耗容纳支撑出口

[发明专利]用于热处理基板的装置-CN201180019194.4无效
发明人： A·卡斯帕瑞;S·汉高;J·特鲁布;S·史蒂勒;M·福范格尔 -专利权人：莱博德光学有限责任公司;法国圣戈班玻璃厂
申请日： 2011-02-14 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及用于热处理基板（20）的热处理内腔（3），其具有包围热处理内腔（3）的内部空间（24）的腔壁（10），具有用于在热处理期间支承基板（20）的支承装置（8）及具有用于将能量引入热处理内腔（3）的内部空间此外，本发明涉及用于热处理基板（20）的热处理内腔（3），其具有包围热处理内腔（3）的内部空间（24）的腔壁（10），具有用于在热处理期间支承基板（20）的支承装置（8）及具有用于将能量引入热处理内腔内部空间
用于热处理装置

[发明专利]热处理炉-CN201810198371.3有效
发明人：桥本孝彦 -专利权人：日本碍子株式会社;NGK凯伦泰克株式会社
申请日： 2018-03-12 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： F27B9/24 文献下载
摘要：本发明能够适当地抑制其它空间的气氛气体向气体气氛不同的空间流入。热处理炉对被处理物进行热处理。热处理炉包括炉体和搬运装置。炉体具备：利用第一气体气氛对被处理物进行热处理的第一空间、利用与第一气体气氛不同的第二气体气氛对被处理物进行热处理的第二空间、以及将第一空间及第二空间连接起来的第三空间。搬运装置将被处理物从第一空间的一端经由第三空间而搬运至第二空间的另一端。第三空间的与搬运方向正交的截面积小于第一空间的与搬运方向正交的截面积，且小于第二空间的与搬运方向正交的截面积。第三空间在高度方向上的尺寸小于第一空间在高度方向上的尺寸，且小于第二空间在高度方向上的尺寸。
热处理

[发明专利]热处理炉-CN202211148955.2在审
发明人：川合贵之;武田洋幸 -专利权人：捷太格特热系统株式会社
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C21D9/00 文献下载
摘要：本发明提供热处理炉，该热处理炉即使在气体提供管因热而产生变形的环境下，也能够向目标位置提供气体。热处理炉具有：陶瓷制的马弗炉(11)，其在内部形成有工件(W)的热处理空间(S)；以及金属制的气体提供管(15)，其配置于热处理空间(S)，向该热处理空间(S)提供气体，马弗炉(11)的底部(21)具有平坦的上表面
热处理

[发明专利]热处理装置-CN200710130172.0有效
发明人：神田敏朗;迫中和广;村上英范 -专利权人：爱斯佩克株式会社
申请日： 2007-07-20 - 公布日： 2008-01-30 - 主分类号： F27D1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种热处理装置，这种热处理装置通过把多个中空状的壁部结构部件组合在一起，形成具有外壁和内壁的热处理槽，所述内壁在该外壁的内侧形成长方体形状的热处理空间，其中，所述各壁部结构部件具有相当于所述热处理空间角部的部位，并且在与所述热处理空间角部错开的位置上与其它壁部结构部件连接在一起进行组装。
热处理装置

[发明专利]衬底处理装置-CN201911183895.6在审
发明人：桑原丈二 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2019-11-27 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种能够提高衬底处理装置的处理量的衬底处理装置。衬底处理装置(1)具备搬送空间(32)、搬送机构(34a1、34b1)及热处理部(37a1、37b1)。搬送机构(34a1、34b1)设置在搬送空间(32)中。热处理部(37a1)、搬送空间(32)及热处理部(37b1)以依序排列在宽度方向(Y)的方式配置。热处理部(37a1)具备多个热处理单元(38a1)。多个热处理单元(38a1)以排列在前后方向的方式配置。热处理部(37b1)具备多个热处理单元(38b1)。多个热处理单元(38b1)以排列在前后方向的方式配置。搬送机构(34a1)将衬底(W)搬送到热处理单元(38a1)。搬送机构(34b1)将衬底(W)搬送到热处理单元(38b1)。
衬底处理装置

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