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- [发明专利]一种AZO靶材及其制备方法-CN202210514044.0在审
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唐安泰
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株洲火炬安泰新材料有限公司
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2022-05-11
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2022-07-29
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C04B35/453
- 本发明涉及一种AZO靶材及其制备方法,属于光电材料技术领域,包括如下步骤:将氧化锌铝粉体、预混液和分散剂混合,混合后经过球磨,混合好后加入引发剂和催化剂,倒入模具中固化,固化后得到坯体;将得到的坯体进行排胶;排胶后,在惰性气体氛围下进行烧结,得到一种AZO靶材,本发明中通过在惰性气体下进行烧结,提高烧结过程的氧分压,减少氧气的释放,减少烧结过程中的损失。本发明中制备的分散剂属于纤维素类分散剂,由环氧季铵盐与半纤维素反应制备而成,该分散剂与氧化锌铝粉体之间相互作用,吸附在氧化锌铝粉体表面,增加其分散效果,配合烧结环境提高产品质量。
- 一种azo及其制备方法
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