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[发明专利]微透镜组的制备方法及半导体结构-CN202210198721.2在审
发明人：汪博 -专利权人：武汉光谷信息光电子创新中心有限公司
申请日： 2022-03-02 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种微透镜组的制备方法以及一种半导体结构。其中，所述微透镜组的制备方法包括：根据所述微透镜组中各透镜的预设结构尺寸，建立所述微透镜组的三维模型；利用激光加工设备，结合所述三维模型，形成相应的激光路径；将所述激光加工设备产生的激光，按照所述激光路径对第一材料进行加工，形成所述微透镜组；其中，在利用激光对所述第一材料进行加工时，触发所述第一材料发生双光子吸收。
透镜制备方法半导体结构

[发明专利]一种飞秒激光加工金刚石微槽截面形状的调控方法-CN201910400836.3在审
发明人：姜海涛;崔健磊;孙大智;豆剑;殷东平;梅雪松;王文君 -专利权人：中国电子科技集团公司第三十八研究所
申请日： 2019-05-14 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本发明公开一种飞秒激光加工金刚石微槽截面形状的调控方法，包括步骤，对金刚石表面进行清洗；搭建光路；设置飞秒激光器的输出激光的激光参数；将所述金刚石固定在移动载物台的加工工位上；调节所述光路中的飞秒激光参数，并进行微槽加工；加工后处理；通过先宽度方向进给再深度方向进给的激光加工行程方式进行近矩形截面微槽的加工；本发明可以获得飞秒激光加工高深宽比的近矩形截面微槽的工艺流程以及工艺参数，从而可以加工符合要求的微流道
微槽飞秒激光加工金刚石截面形状矩形截面加工光路进给飞秒激光参数飞秒激光器金刚石表面移动载物台后处理电子芯片高深宽比激光参数激光加工加工工位输出激光行程方式工艺流程集成度微流道调控散热清洗

[发明专利]一种用于涡轮叶片打孔的激光微水刀加工装置-CN201510686264.1在审
发明人：彭海波;彭俊;雷文强 -专利权人：北京中科思远光电科技有限公司
申请日： 2015-10-21 - 公布日： 2015-12-30 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于涡轮叶片打孔的激光微水刀加工装置，该装置包括：激光系统，光束接口，光束整形系统，激光微水刀发生装置，加工台和加工控制系统；所述的激光系统位于最前端，所述的光束接口位于所述的激光系统输出激光束的空间光路中，或者通过光纤与激光器输出端口连接，所述的光束整形系统位于所述的光束接口输出的光路中，所述的激光微水刀发生装置位于所述的光束整形系统输出的光路中，且二者的光轴在垂直方向上共线，所述的加工台位于所述的激光微水刀发生装置的下方，所述的加工控制系统分别与所述的激光系统、所述的激光微水刀发生装置以及所述的加工台相连。
一种用于涡轮叶片打孔激光微水刀加工装置

[发明专利]超短脉冲激光并行微加工方法及设备-CN200710017654.5无效
发明人：程光华;陈国夫;赵卫;王屹山;温泉;许正芳 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2007-04-09 - 公布日： 2007-09-05 - 主分类号： B23K26/067 文献下载
摘要：本发明涉及一种超短脉冲激光并行微加工的方法及设备，将超短脉冲激光经过微透镜阵列后变为多束发散的超短脉冲激光，然后将该多束发散的超短脉冲激光通过聚焦系统聚焦到待加工样品对应的在焦平面，形成多个焦点进行并行微加工本发明解决了背景技术中传统激光加工带来重铸层和微裂纹等加工缺陷以及超短脉冲激光加工效率非常低的技术问题，从而具有加工效率高、加工精度高、可实时监视加工样品的加工情况和定位、加工能量损失小、加工可一次性完成的优点
超短脉冲激光并行加工方法设备

[发明专利]UV激光钻孔方法-CN200410026626.6无效
发明人：李强;周建辉 -专利权人：深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司
申请日： 2004-03-24 - 公布日： 2005-09-28 - 主分类号： H05K3/04 文献下载
摘要：一种用于加工印刷电路基板上的微导通孔的UV激光钻孔方法，由UV激光光束在需要加工微导通孔的位置沿着一定的轨迹进行扫描，依次加工出若干个微孔，直至所加工出的微孔布满微导通孔所围设的整个表面的面积，将整个微导通孔雕琢出来本发明UV激光钻孔方法中采用环锯法进行加工，不仅使加工灵活性增大，光路系统变得非常简洁，而且由于每个激光脉冲能量比较小，分布均匀，有效地解决了常规二氧化碳激光加工方式中由于激光能量太大而产生的问题，提高了微导通孔的加工质量
uv 激光钻孔方法

[发明专利]一种大幅面阵列飞秒激光微流控芯片直印方法及其设备-CN202010863837.4有效
发明人：曾和平;杨川;胡梦云;袁帅 -专利权人：华东师范大学重庆研究院;华东师范大学
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种大幅面阵列飞秒激光微流控芯片直印设备及其方法。利用调控输出的激光光束状态多参数可调的大幅面阵列飞秒激光实现大幅面激光干涉，结合对大幅面阵列飞秒激光干涉状态、干涉组合及曝光方式的调控，经多次曝光叠加输出微流控芯片待加工图案，实现对微流控芯片的直印加工本发明能够实现微流控芯片的快速加工，提高了微流控芯片的加工效率，缩短了微流控芯片加工周期，在加工具有复杂三维结构的微流控芯片方面具有显著的优势，具有广泛的应用前景。
一种大幅面阵列激光微流控芯片方法及其设备

[发明专利]工程陶瓷材料的激光加热辅助引弧微爆炸加工方法及装置-CN201210468664.1无效
发明人：田欣利;张保国;李富强;王健全;唐修检;张建坤 -专利权人：田欣利;张保国
申请日： 2012-11-18 - 公布日： 2013-03-06 - 主分类号： B23K28/02 文献下载
摘要：本发明涉及工程陶瓷材料的激光加热辅助引弧微爆炸加工方法与装置，属于硬脆材料的加工技术领域，该方法包括：将激光束聚焦后倾斜照射于待加工工件表面；将引弧微爆炸发生器的喷嘴垂直向下对准该工件表面；工件随工作台持续做进给运动，先进行激光预热，将该微区温度升高至陶瓷材料的软化温度，再进行引弧微爆炸加工，直至待加工的工程陶瓷工件加工结束。该系统主要由专用脉冲电源、脉冲控制器、数控三维工作台、微爆炸发生器、供气装置、中小功率激光器、光纤、激光头组成；本发明提高了引弧微爆炸加工方法的材料去除效率，并减少了加工损伤，进一步推动了引弧微爆炸加工方法在工程陶瓷材料加工中的实际应用
工程陶瓷材料激光加热辅助引弧微爆炸加工方法装置

[发明专利]一种超快激光组合脉冲序列的阵列微纳结构加工方法-CN201811089183.3在审
发明人：王成勇;王宏建;林华泰 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2018-09-18 - 公布日： 2018-12-25 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明提供一种超快激光组合脉冲序列的阵列微纳结构加工方法，包括以下步骤：将工件表面研磨抛光并清洗、干燥后，固定于超精密平台上；由工业控制计算机通过激光控制器启动激光发生器发射激光束至工件表面完成激光对焦后，调整超精密平台确定工件加工区域；加工时，通过激光控制器选择飞秒激光器或皮秒激光器发射激光束，经光路切换模块实现超快激光脉冲自由组合，根据所需的微纳结构进行加工；加工完成后，将工件取下，经清洗、干燥后即得到成品本发明提供了材料微纳加工中激光加工工艺新的组合方式，可根据加工需求选择飞秒激光或皮秒激光，并通过光路切换的方式对超快激光脉冲序列进行灵活组合，有效提高微纳结构的加工效率与质量。
微纳结构加工超快激光脉冲超精密平台激光控制器超快激光组合脉冲激光束清洗工业控制计算机工件表面研磨工件加工区域光路切换模块激光加工工艺飞秒激光器激光发生器皮秒激光器飞秒激光工件表面光路切换激光对焦加工效率微纳加工需求选择自由组合组合方式发射抛光取下激光灵活

[发明专利]激光微织构304不锈钢表面疏水性微细电解复合加工工艺-CN201810334826.X在审
发明人：李小海;王淑铭;王冬;王新荣;王晓霞;张霞;丁海娟;佟晗 -专利权人：佳木斯大学
申请日： 2018-04-15 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种激光微织构304不锈钢表面疏水性微细电解复合加工工艺，它是将激光直写微织构304不锈钢疏水性与微细电解加工相结合，提出了304不锈钢激光微织构化与微细电解复合加工工艺，激光在304不锈钢表面上直写微织构，放置空气中，微织构使304不锈钢表面微织构图案从亲水性转化为疏水性，使微织构图案区域的不锈钢表面耐腐蚀性增加，再利用电解加工快速溶解非微织构区域的材料，实现微细电解的定域加工，可同时加工多个304不锈钢样件，有效的提高了复合加工精度，具有更好的抗腐蚀能力，加工工艺简单，加工效率高。
微织构微细电解复合加工工艺激光表面疏水性疏水性微细电解加工不锈钢表面电解加工复合加工激光直写加工效率快速溶解耐腐蚀性图案区域抗腐蚀亲水性再利用样件直写加工图案转化

[发明专利]飞秒激光微纳加工装置及方法-CN202211277153.1在审
发明人：周明;冯世嘉;杨名扬;林佳聪 -专利权人：清华大学
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明提供一种飞秒激光微纳加工装置及方法，涉及激光微纳加工技术领域。飞秒激光微纳加工装置包括光源组件、光束聚焦组件和控制组件，光源组件适于发射激光光束，光束聚焦组件适于将激光光束转换为贝塞尔光束并聚焦贝塞尔光束，控制组件适于控制贝塞尔光束的聚焦点与工件之间的相对位置。应用本发明提供的飞秒激光微纳加工装置及方法，可以实现对工件的高精度加工，提高成品率。
激光加工装置方法

[发明专利]通过激光束加工材料的装置-CN200780046687.0有效
发明人：朴喜载;金兑昱;申兴铉 -专利权人：株式会社SNU精密
申请日： 2007-06-15 - 公布日： 2010-02-03 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种通过使用激光束来加工工件表面的激光加工装置。该激光加工装置包括：用于发射激光束的激光束发生单元；以及具有多个微镜的微镜器件，这些微镜被配置成以将所述工件的表面加工成所需形状的模式，将从所述激光束发生单元发射的激光束中的至少一部分激光束反射和传递到工件的表面其中，所述微镜器件的微镜能够有选择地转换由所述激光束发生单元发射的激光束的光路。根据本发明，可用激光束将工件表面加工成二维或三维的所需形状。
通过激光束加工材料装置

[发明专利]激光微纳加工差动共焦在线监测一体化方法与装置-CN201810083182.1在审
发明人：赵维谦;邱丽荣;王允 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2018-01-29 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明属于激光精密检测技术、激光微纳加工监测技术领域，涉及激光微纳加工差动共焦在线监测一体化方法与装置，可用于复杂微细结构的激光微纳加工与在线检测。本发明将高轴向分辨的激光差动共焦轴向监测模块与飞秒激光加工系统有机融合，利用差动共焦系统曲线零点对样品轴向位置进行纳米级监测和样品轴向加工尺寸测量，实现了样品轴向位置的实时定焦和加工后微纳结构尺寸的高精度测量，解决了测量过程中的漂移问题和高精度在线检测问题，提高了微纳飞秒激光加工精度的可控性和样品的加工质量等。加工前，还可以利用显微成像模块对样品进行粗找正和横向位置识别。
激光微纳加工差动共焦飞秒激光加工在线监测轴向位置轴向高精度在线检测加工差动共焦系统漂移高精度测量一体化测量过程尺寸测量横向位置监测模块精密检测微纳结构微细结构显微成像有机融合在线检测轴向加工可控性纳米级监测定焦可用找正分辨

[发明专利]微锥阵列飞秒激光加工装置、加工方法及系统-CN202210779607.9在审
发明人：胡永祥;罗国虎;陈嘉宇 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2022-07-04 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： B23K26/046 文献下载
摘要：本发明提供了一种微锥阵列飞秒激光加工装置、加工方法及系统，包括：飞秒激光器发出的脉冲激光通过光束调制模块整形为参数可控的调制激光阵列；激光阵列通过光路切换元件的选通，分步进入粗加工模块与精加工模块；粗加工模块通过振镜快速扫描方式提供微锥阵列的高效粗加工模式，精加工模块通过物镜高聚焦提供精密加工模式；视觉标定检测模块实时检测加工过程并依此调整激光加工路径。本发明通过粗加工与精加工的双模块设置，能够兼顾大规模微米级微锥阵列的高效与精密加工要求，通过检测与加工一体化，能够实时补偿精加工误差，有助于提高微锥阵列的加工精度。
阵列激光加工装置方法系统

[实用新型]一种激光微造型掩膜-CN201320060546.7有效
发明人：卢轶;冯爱新;薛伟;田良;谢华锟;顾永玉 -专利权人：江苏大学
申请日： 2013-02-04 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： B23K26/18 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种激光微造型掩膜，所述激光微造型掩膜由熔覆材料和粘结剂混合制成，所述粘结剂为易蒸发材料，且不与熔覆材料发生反应；所述激光微造型掩膜包括掩膜基底和掩膜微孔，掩膜微孔在掩膜基底上排列成点阵形状；采用本实用新型所述激光微造型掩膜进行激光微造型可以同时实现激光表面熔覆加工与激光表面微造型加工，缩短了加工时间，节约了能量，提高了生产效率。要形成不同的工件表面微凹坑阵列只需更换掩膜而不需要改变激光扫描路线程序，缩小了工作量。
一种激光造型

[实用新型]一种多光束复合激光冲击微造型加工装置-CN201420867360.7有效
发明人：郑宣成;陈大建;胡云;曹宇 -专利权人：浙江嘉泰激光科技有限公司
申请日： 2014-12-28 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种多光束复合激光冲击微造型加工装置，包括输出冲击波激光束的第一激光器、输出连续激光束或长脉宽脉冲激光束的第二激光器、复合加工头和加工头驱动机构；复合加工头包括环形筒壁、上盖板、下盖板、本实用新型采用了多光束复合激光冲击波微造型的方式，连续激光束先对微造型位置周围区域进行了加热，同时以微造型区域位置也被热传导加热到稍低一点温度，因此在具有周围区域预热效果的激光冲击波压力作用下，微造型坑更深，即同等脉冲激光能量的加工效率更高，有利于脉冲激光束进行冲击波时的微造型加工效率的提升。
一种光束复合激光冲击造型加工装置