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[发明专利]陶瓷涂层表面微坑制备装置及陶瓷涂层表面微坑的制备方法-CN201811440375.4在审
发明人：王岳亮;马文有;刘敏;李福海;董东东;周克崧 -专利权人：广东省新材料研究所
申请日： 2018-11-28 - 公布日： 2019-02-12 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种陶瓷涂层表面微坑制备装置及陶瓷涂层表面微坑的制备方法，属于陶瓷涂层加工技术领域。该装置包括激光辐照控制单元以及与主控计算机连接的透镜聚焦系统、光束质量监控系统、高分辨成像系统。透镜聚焦系统设于激光辐照控制单元的一侧，光束质量监控系统设于透镜聚焦系统的远离激光辐照控制单元的一侧。高分辨成像系统设于光束质量监控系统的远离透镜聚焦系统的一侧。该装置结构简单，可实现激光加工参数的实时数字化记录，以及实时原位获取制备的陶瓷涂层表面微坑清晰形貌，解决陶瓷涂层表面微坑加工过程中监控记录及反馈调节问题，从而高效制备陶瓷涂层表面微坑。陶瓷涂层表面微坑制备方法简单，操作容易，效率高。
陶瓷涂层表面微坑透镜聚焦制备质量监控系统激光辐照高分辨成像制备装置激光加工参数加工技术领域数字化记录主控计算机形貌反馈调节高效制备监控记录实时原位陶瓷涂层装置结构清晰

[实用新型]陶瓷涂层表面微坑制备装置及陶瓷涂层表面微坑制备设备-CN201821982620.X有效
发明人：王岳亮;马文有;刘敏;李福海;董东东;周克崧 -专利权人：广东省新材料研究所
申请日： 2018-11-28 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种陶瓷涂层表面微坑制备装置及陶瓷涂层表面微坑制备设备，属于陶瓷涂层加工技术领域。该装置包括激光辐照控制单元以及与主控计算机连接的透镜聚焦系统、光束质量监控系统、高分辨成像系统。透镜聚焦系统设于激光辐照控制单元的一侧，光束质量监控系统设于透镜聚焦系统的远离激光辐照控制单元的一侧。高分辨成像系统设于光束质量监控系统的远离透镜聚焦系统的一侧。该装置结构简单，可实现激光加工参数的实时数字化记录，及实时原位获取制备的陶瓷涂层表面微坑清晰形貌，解决陶瓷涂层表面微坑加工过程中监控记录及反馈调节问题，从而高效制备陶瓷涂层表面微坑。陶瓷涂层表面微坑制备设备包括样品台和上述制备装置，便于制备。
陶瓷涂层表面微坑透镜聚焦质量监控系统激光辐照制备设备制备装置高分辨成像制备激光加工参数加工技术领域本实用新型数字化记录主控计算机形貌反馈调节高效制备监控记录实时原位陶瓷涂层装置结构样品台清晰

[发明专利]基于常规激光诱导材料变化的激光加工方法和加工装置-CN200680054165.0有效
发明人：郑世采;梁志祥;全炳赫;崔在赫 -专利权人：韩国标准科学研究院
申请日： 2006-08-03 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种显著地提高具有很高加工精度的常规超快激光微加工工艺的加工速度的技术。根据本发明，一种基于激光诱导材料瞬态变化的激光加工方法使超快激光的脉冲和至少一个与所述超快激光不同的辅助激光的脉冲耦合，以可逆地改变待加工材料。
基于常规激光诱导材料变化加工方法装置

[发明专利]一种金属表面规则微凹织构阵列的制备方法-CN201810642711.7在审
发明人：王权岱;郭兵兵;蔡兴兴;李鹏阳;杨明顺;李言 -专利权人：西安理工大学
申请日： 2018-06-21 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属表面规则微凹织构阵列的制备方法。采用纳秒激光预加工方法在金属基底表面初步得到要求形状、尺寸和间距的微织构，然后通过超声辅助电解加工的方法进行激光预加工重铸层处理，最后通过超声清洗、烘干得到规则微凹织构阵列。本发明不需要常规有序微结构阵列加工中的光刻等掩膜制备工艺，效率高；相对于皮秒和飞秒激光加工，降低了对设备要求，成本低；织构几何特征尺寸由纳秒紫外加工系统的预加工决定，相对于纯化学腐蚀以及掩膜微细电解加工，预加工的织构形状、大小、间距及深度可控性好；重铸层后处理工艺能够适应不同金属材料及不同激光加工参数预加工结果，工艺适应性好。
预加工织构微凹金属表面重铸层掩膜制备激光飞秒激光加工激光加工参数金属基底表面微细电解加工工艺适应性微结构阵列金属材料后处理超声辅助超声清洗电解加工化学腐蚀几何特征加工系统制备工艺对设备可控性微织构烘干光刻加工

[发明专利]一种微纳结构激光成形装置及成形方法-CN202011432848.3在审
发明人：夏木建;周广宏;李年莲;刘磊;林岳宾;张满;刘爱辉;丁红燕 -专利权人：淮阴工学院
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： B23K26/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种微纳结构激光成形装置及成形方法，包括控制系统和水气耦合约束激光系统，激光头位于水气耦合通道环的中心，水气耦合通道环包括水通道和气通道，气通道位于水通道外侧，气通道的出口位于喷嘴底部的外侧，使喷嘴底部形成从内向外依次设置的激光束、水柱环和气体保护层。本发明基于光学原理及激光加工过程特性，在激光束外围依次形成压力水柱和保护气氛以约束激光至成形材料表面，在保护气氛中，压力水柱对加工微区内熔渣等加工产物的冲刷，成形清洁的成形微结构，实现了自清洁微/纳孔结构的制造
一种结构激光成形装置方法

[发明专利]并行飞秒激光双光子光聚合微纳加工方法及其装置-CN200610085349.5无效
发明人：周明;杨海峰;蔡兰 -专利权人：江苏大学
申请日： 2006-06-12 - 公布日： 2006-11-15 - 主分类号： G02F1/35 文献下载
摘要：并行飞秒激光双光子光聚合微纳加工方法和装置，属于微纳加工技术，首先，开启泵浦激光器，将其产生的激光引入到飞秒激光器的谐振腔中，经振荡后产生的飞秒超短脉冲激光通过再生放大器将能量放大；然后，放大后的激光经过全反镜、衰减镜、光闸后，由光纤耦合器将其耦合到光纤阵列中，由微透镜阵列将飞秒激光聚焦到放置在盖玻片上的光敏树脂中，盖玻片固定在三维扫描平台上，整个加工过程由CCD监控，三维扫描平台的微动调节通过计算机控制系统控制连接于三维扫描平台上的驱动器来实现
并行激光光子聚合加工方法及其装置

[发明专利]一种高速激光微纳加工装置及控制方法-CN202211558759.2在审
发明人：史强;周立海;朱林伟 -专利权人：烟台魔技纳米科技有限公司
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： B23K26/064 文献下载
摘要：本申请公开了一种高速激光微纳加工装置及控制方法，主要涉及激光微纳加工技术领域，用以解决现有的激光微纳加工的过程繁琐且效率低的问题。包括：激光器，激光器与声光调制器对接，声光调制器与第一分束器相连，第一分束器分别与转镜系统相连，转镜系统与第一聚焦透镜相连，第一聚焦透镜与第二聚焦透镜相连，第二聚焦透镜与振镜相连，振镜与第三聚焦透镜相连本申请通过上述装置和控制方法实现了激光微纳的快速加工，提高了加工效率。
一种高速激光加工装置控制方法

[发明专利]空芯光纤传输式紫外激光微加工装置及加工方法-CN201810343340.2在审
发明人：赵晓杰;王云兵;欧志龙 -专利权人：英诺激光科技股份有限公司
申请日： 2018-04-17 - 公布日： 2018-07-13 - 主分类号： B23K26/064 文献下载
摘要：本发明公开了一种空芯光纤传输式紫外激光微加工装置及加工方法，该装置由顺次连接的紫外激光器、光纤耦合器件、空芯光纤传输机构和光纤聚焦器件组成，其中紫外激光器用于产生紫外波段的激光，光纤耦合器件用于将产生的紫外激光耦合传输至空芯光纤传输机构，空芯光纤传输机构用于将接收到的紫外激光传输至加工工件表面或者工件内部的狭小空间中，光纤聚焦器件则起到将空芯光纤传输机构传输的紫外激光进行聚焦，使其可以用于加工微小部件或者在工件内部狭小的空间内进行加工该加工装置体积小、重量轻、灵活度高，集成了光纤传输技术，可处理加工工件内部微小结构，具有微加工的作用，扩大了紫外激光设备的应用范围，加工方法简单精准。
空芯光纤紫外激光传输机构加工光纤耦合器件微加工装置紫外激光器聚焦器件传输式光纤光纤传输技术加工工件表面加工工件加工装置顺次连接微小部件微小结构狭小空间紫外波段耦合传输传输灵活度体积小微加工重量轻激光聚焦应用

[发明专利]一种激光烧蚀过程中等离子体吸收率的测量方法-CN201510608854.2有效
发明人：符永宏;刘强宪;叶云霞;康正阳;纪敬虎;华希俊 -专利权人：江苏大学
申请日： 2015-09-22 - 公布日： 2018-02-27 - 主分类号： G01N21/31 文献下载
摘要：本发明提供了一种激光烧蚀过程中等离子体吸收率的测量方法，将等离子体吸收率的测量转化为对激光烧蚀所得微凹腔形貌尺寸的测量。首先，在平整光洁的靶材表面，采用特定脉冲激光，加工一系列微凹腔，在加工过程中均匀变化激光能量密度；随后，通过三维形貌仪测得微凹腔的直径和深度，通过直径‑激光能量密度曲线求得激光烧蚀阈值Fth；然后结合微凹腔深度，由理论计算得到表层材料有效系数α，进而得到激光烧蚀过程中等离子体吸收率b；本方法易于操作，测得结果稳定可靠，适用范围广泛。
一种激光过程等离子体吸收率测量方法

[发明专利]一种利用电子动态调控制备高深径比三维微通道的方法-CN201310706919.8无效
发明人：姜澜;闫雪亮;李晓炜 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2013-12-19 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： B23K26/55 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用电子动态调控制备高深径比三维微通道的方法，属于飞秒激光应用技术领域。本发明通过对飞秒激光进行时域整形，调控改性区域的局部瞬时电子动态（主要为自由电子密度分布），从而影响其周期性纳米结构的形貌，可以实现与偏振去相关性的高深径比微通道加工，与传统飞秒激光加工方法相比，在加工三维微通道时其深径比可以提高数倍
一种利用电子动态调控制备高深三维通道方法

[发明专利]一种基于飞秒激光的微纳结构加工方法及微纳结构-CN202210630981.2在审
发明人：姚涛;陈甦;王浩程 -专利权人：伊诺福科光学技术有限公司
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B23K26/0622 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于飞秒激光的微纳结构加工方法及微纳结构，其中方法包括：设定与被加工材料对应的飞秒激光的脉宽、重频、功率、波长以及扫描速度；其中，所述被加工材料为陶瓷或蓝宝石或塑料；所述脉宽为10fs～800fs，所述重频为单脉冲～500kHz，所述功率为1μW～500mW，所述波长为515nm或800nm或1030nm，所述扫描速度为10μm/s～500mm/s；将所述飞秒激光聚焦到所述被加工材料的表面或内部，并在所述被加工材料的表面或内部加工出微纳结构。本发明可在被加工材料的表面或内部加工出具有炫彩效果的微纳结构，不仅提升了被加工材料的观赏性和实用价值，而且加工工艺简单，有利于工业推广。
一种基于激光结构加工方法

[发明专利]一种高密度载板的加工系统及加工方法-CN202111134545.8在审
发明人：吴勇军 -专利权人：深圳明阳芯蕊半导体有限公司
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本发明涉及了一种高密度载板的加工系统及加工方法，所述高密度载板的加工系统包括激光微加工系统，用于对所述载板上的预设刻蚀路径进行激光刻蚀加工、形成精细线路；所述激光微加工系统包括激光光源系统、主控系统、图形处理系统以及定位系统，所述主控系统与所述激光光源系统、所述图形处理系统、所述定位系统三者分别信号连接；所述图形处理系统包括图象检测系统和图象识别系统，分别用于检测、识别所述刻蚀路径；所述定位系统用于将激光对准所述刻蚀路径。通过上述设置，可解决目前载板上精细线路加工效率与加工精度低、加工成本高的问题。
一种高密度加工系统方法

[发明专利]一种扩散板的加工方法及其扩散板-CN200910139334.6无效
发明人：何戌来 -专利权人：达运精密工业(苏州)有限公司
申请日： 2009-04-30 - 公布日： 2009-10-14 - 主分类号： B44B1/00 文献下载
摘要：一种扩散板的加工方法及其扩散板，该加工方法包括：采用激光内雕方法在扩散板的内部形成分布的微扩散介质，该微扩散介质包括激光炸裂微界面或微孔，该激光炸裂微界面或微孔的折射率小于扩散板的折射率。
一种扩散加工方法及其

[发明专利]飞秒激光微加工的同步监测装置-CN201911091781.9在审
发明人：蒋习锋;王明利 -专利权人：济南金威刻科技发展有限公司
申请日： 2019-11-08 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明公开了飞秒激光微加工的同步监测装置，属于飞秒激光微加工的监测领域。飞秒激光微加工的同步监测装置，包括调节底座，所述调节底座上设置有加工件，所述调节底座位于飞秒激光器一侧，所述调节底座上固定连接有第一驱动电机，所述第一驱动电机驱动端固定连接有第一驱动轴，所述第一驱动轴上固定连接有第一齿轮盘，所述加工件位于第一齿轮盘中心处，所述调节底座上通过转轴转动连接有传动齿轮；本发明通过监测用的CCD与加工件始终处于垂直状态，同时为了确保监测用的CCD准确对准加工件的加工位置，保持进行倾斜入射加工时的监测效果和垂直入射加工的监测效果相同
激光加工同步监测装置

[发明专利]金属表面加工方法和装置-CN202010039587.2在审
发明人：倪勇仁;师新杰 -专利权人：师新杰
申请日： 2020-01-15 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： B23P23/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种金属表面加工方法，包括：将待加工金属固定到车床上，控制位于车床的同一侧的激光器和复合能执行器沿车床的床面移动，并同时控制待加工金属转动；采用激光器对待加工金属的表面进行加工，以使待加工金属的表面呈微熔状态；采用复合能执行器对呈微熔状态的待加工金属的表面进行冲击滚压，以将呈微熔状态的待加工金属的表面冲击滚压平整；其中，复合能执行器用于输出温度高于室温的高温激活能形式的复合能。其通过采用将激光器和复合能执行器相结合的方式，利用激光技术和高能束的高频冲击滚压同步输出高温激活能形式的复合能的组合，对金属表面进行镜面加工，实现了金属表面的超镜面加工。
金属表面加工方法装置