“湿制程设备”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网_专利查询网

首页在售求购查询申请展会资讯专利榜企服商城升级VIP

立即登录免费注册

在售专利
求购专利
查询专利
新闻资讯
技术展会
招商加盟
专利榜

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

专利名称

专利名称
专利号码
专利分类
申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

专利下载VIP

公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

钻瓜专利网为您找到相关结果5685019个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]可挠性基板水平湿制程方法-CN202010608023.6有效
发明人：黄乃为;林文彬 -专利权人：联策科技股份有限公司;雷冈科技股份有限公司
申请日： 2020-06-30 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种可挠性基板水平湿制程方法，应用于湿制程设备。以包括一个弧面的治具固定可挠性平面基板，并使可挠性平面基板形成弧状可挠性基板。将弧状可挠性基板及其包括一个弧面的治具放置于输送装置，以水平方式运作于喷液的工作区域，通过喷液装置喷洒药液于弧状可挠性基板，并凭借重力作用使药液自弧状可挠性基板之中央弧面部朝向第一侧边及第二侧边曳流，据以解决湿制程过程中让可挠性基板减少与输送装置或运作装置的接触
可挠性基板水平湿制程方法

[发明专利]用低温氮气/氢气灰化制程减少聚合物残余的方法-CN200510030301.X有效
发明人：杨华;郑莲晃;韩秋华;韩蕴;高昀成 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2005-09-29 - 公布日： 2007-04-04 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明提供一种用低温氮气/氢气灰化制程减少聚合物残余的方法，传统的清洗方法，一般在沟道蚀刻完成之后直接进行湿式清洗制程，根据本发明的方法，在沟道蚀刻完成之后，先在室温下进行氮气/氢气灰化制程，然后进行湿式清洗制程应用本发明的方法能够完全去除所述的聚合物残余，从而提高半导体器件的性能；并且应用此方法后对湿式清洗所用清洗剂的选择上更加自由，使清洗制程的适应性更加宽泛；另外，此种方法不会损伤低介电常数材料，不会使其介电常数升高
低温氮气氢气灰化减少聚合物残余方法

[实用新型]薄型基板湿制程装置-CN200920267997.1有效
发明人：钟添达;杨延鸿;苏绍君;罗泽民;谢东桦 -专利权人：扬博科技股份有限公司
申请日： 2009-10-29 - 公布日： 2010-07-28 - 主分类号： B05B13/02 文献下载
摘要：本实用新型是一种薄型基板湿制程装置，其是包括一湿制程箱体以及一运送装置，该湿制程箱体两端部形成有一入口以及一出口，且于两侧接近该入口处各设有一直立式低喷速喷液装置，且该湿制程箱体的两侧且邻近于直立式低喷速喷液装置各设有一喷洒装置，该运送装置具有一设置于该湿制程箱体的顶部的运送轨道以及一移动式地与该运送轨道结合的夹具，以于该运送轨道中移动。
薄型基板湿制程装置

[发明专利]晶圆清洗的旋转湿制程及其设备-CN200310103618.2有效
发明人：陈柏仁 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2003-10-29 - 公布日： 2004-06-30 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆清洗的旋转湿制程及其设备，在用以承载基板的旋转台上，加入一加温装置，使得基板表面温度与喷嘴所喷洒的化学清洗剂温度相同。如此，基板表面具有黏度均匀的化学清洗剂，而可得到清洗效果均匀且稳定的清洗制程。
清洗旋转湿制程及其设备

[发明专利]在金属层蚀刻后移除光阻的方法-CN200310108120.5无效
发明人：张双燻 -专利权人：上海宏力半导体制造有限公司
申请日： 2003-10-24 - 公布日： 2005-04-27 - 主分类号： H01L21/3213 文献下载
摘要：本发明提供一种在金属层蚀刻后移除光阻的方法，其是在传统的干式湿式移除光阻制程中加入一电浆蚀刻制程，来加速移除位于金属侧壁上的沉积合物与金属残留物，进而减少下一湿式移除制程所需时间，与降低产生微光刻现象危险，此外更可以用于纳米级的制程里来获得较广的金属架桥短路现象。
金属蚀刻方法

[发明专利]防泡沫装置及电路板湿制程设备-CN201910702494.0在审
发明人：徐永伯;朱科星;张长树 -专利权人：苏州创峰光电科技有限公司
申请日： 2019-07-31 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： H05K3/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种防泡沫装置及电路板湿制程设备。本发明一种防泡沫装置，所述防泡沫装置包括固定在所述电路板湿制程设备内的补强板上的接水盒、安装在所述接水盒底部外侧的延伸管和安装在所述延伸管内的螺旋杆。
防泡沫装置接水盒延伸管电路板湿制程设备螺旋杆药水药水液面补强板浸泡槽阻水板下槽

[发明专利]输送轴套及电路板湿制程设备-CN201910673334.8在审
发明人：郭其;朱科星;张长树 -专利权人：苏州创峰光电科技有限公司
申请日： 2019-07-24 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种输送轴套及电路板湿制程设备。本发明电路板湿制程设备，包括：一槽体，所述槽体内部设有多个水平排列的上输送滚轮以及多个水平排列的下输送滚轮，并且所述上、下输送滚轮呈上下相对地设置；所述槽体两端设有第一轴座和第二轴座；所述第一轴座上安装有多个第一输送轴套
轴套输送滚轮电路板湿制程设备水平排列第二轴第一轴槽体挡板槽体内部上下相对漏液

[发明专利]一种吸附设备及玻璃传送装置-CN201710607396.X有效
发明人：尹易彪 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2017-07-24 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本申请提供了一种吸附设备及玻璃传送装置，该装置包括：至少两条导轨，其相互平行且在同一平面内；至少一组传送单元，其中的每组传送单元均设置于至少两条导轨中的相邻两条导轨之间，每组传送单元包括至少两个吸附设备，该吸附设备包括至少一个排气口，其与抽真空设备相连。通过本申请提供的吸附设备及玻璃传送装置，能够解决玻璃在传送过程中可能出现的划痕，同时该设备结构简单，易于维护，且该装置适用于湿制程，避免了在湿制程中由于滑片现象而可能导致的产品报废问题。
一种吸附设备玻璃传送装置

[实用新型]一种空调箱微雾加湿设备-CN201320863445.3有效
发明人：何朝源;钱勇 -专利权人：大东科技材料（昆山）有限公司
申请日： 2013-12-25 - 公布日： 2014-05-28 - 主分类号： F24F5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及空调设备技术领域，尤其涉及一种空调箱微雾加湿设备。该空调箱微雾加湿设备包括空调箱和喷头，空调箱上设有出风管和回风管，喷头安装在出风管上，喷头通过管道分别与水箱和空压机连通。本实用新型的空调箱微雾加湿设备通过水箱提供微雾加湿所需的水源，通过空压机提供微雾加湿所需的空气源，通过喷头将水源与空气源结合后，以气水混合的水雾形式向现场喷洒，以满足现场制程加湿量的需求，同时可以有效减少企业能源资源消耗
一种空调箱微雾加湿设备

[发明专利]卷式湿制程生产设备的张力传输装置-CN202010730904.5在审
发明人：黄乃为 -专利权人：迅得机械股份有限公司;雷冈科技股份有限公司
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： B65H20/14 文献下载
摘要：本发明提供一种卷式湿制程生产设备的张力传输装置，张力传输装置包括传输件组、工作件组以及张力产生器。可挠基材跨接于传输件组的传输卷放件与工作件组的第二工作件之间，以及工作件组的第一工作件与第二工作件之间是高度错位设置及距离错位设置，据以形成倾斜段的湿制程区域，让可挠基材表面进行化学湿制程过程中更加均匀化
卷式湿制程生产设备张力传输装置

[实用新型]卷式湿制程生产设备的张力传输装置-CN202021506702.4有效
发明人：黄乃为 -专利权人：迅得机械股份有限公司;雷冈科技股份有限公司
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： B65H20/14 文献下载
摘要：本实用新型提供一种卷式湿制程生产设备的张力传输装置，张力传输装置包括传输件组、工作件组以及张力产生器。可挠基材跨接于传输件组的传输卷放件与工作件组的第二工作件之间，以及工作件组的第一工作件与第二工作件之间是高度错位设置及距离错位设置，据以形成倾斜段的湿制程区域，让可挠基材表面进行化学湿制程过程中更加均匀化
卷式湿制程生产设备张力传输装置

[实用新型]水平湿制程的输送装置-CN202021375203.6有效
发明人：黄乃为;林文彬 -专利权人：联策科技股份有限公司;雷冈科技股份有限公司
申请日： 2020-07-14 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： B05B13/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种水平湿制程的输送装置，应用于湿制程设备。输送装置利用驱动器驱动以输送弧状可挠性基板，弧状可挠性基板由可制造弧面的治具所固定而成。于湿制程过程中，利用二列对夹抵压轮组定位弧状可挠性基板，可提高定位稳定性且操作便利。
水平湿制程输送装置

[外观设计]湿处理基板腔室-CN202230833772.9有效
发明人：王本义;于宏嘉 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：湿处理基板腔室。2.本外观设计产品的用途：用于半导体湿制程工艺设备中工艺单元腔室。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
处理基板腔室

[发明专利]基板湿制程工艺方法及基板湿制程工艺装置-CN201710381599.1有效
发明人：孙静 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2017-05-25 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明的基板湿制程工艺方法，用于解决现有湿蚀刻过程中基板处理过程存在潜在损害的技术问题。包括：设置载台，通过载台固定基板；载台沿周向轨迹移动，进行基板输送；沿周向轨迹外侧设置处理设备；在基板输送过程中，载台调整基板的朝向和/或高度配合处理设备。还包括基板湿制程工艺装置。
基板湿制程工艺方法装置

[发明专利]以搅棒扰动载具边缘的湿制程蚀刻装置及方法-CN201210319207.6无效
发明人：陈文隆;颜锡鸿;陈毓正;马俊麒;余智林 -专利权人：弘塑科技股份有限公司
申请日： 2012-08-31 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：一种以搅棒扰动载具边缘的湿制程蚀刻装置，包括湿制程蚀刻槽，所述湿制程蚀刻槽内设有蚀刻液及载具，所述载具设有多个凹槽，所述凹槽置放有工件。
扰动边缘湿制程蚀刻装置方法

友情链接：交换友情链接需要网站权重大于4，网站收录10W以上，如符合条件，请联系QQ：76009968。

关于我们寻求报道投稿须知广告合作版权声明网站地图友情链接企业标识联系我们

在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

版权所有钻瓜科技（天津）有限公司津ICP备15000985号津公网安备 12019202000206号http://www.vipzhuanli.com/公布日期

咨询在线客服

咨询在线客服

tel code back_top