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[发明专利]一种防漏液管靶冷等静压胶套及其用途-CN202310741963.6在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;孙慧芳;吴东青 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： B22F3/04 文献下载
摘要：本发明提供一种防漏液管靶冷等静压胶套及其用途，所述防漏液管靶冷等静压胶套包括从内至外依次设置的内芯管和外胶套，所述内芯管和外胶套之间形成环形内腔；所述环形内腔的顶部设置有上胶塞，所述环形内腔的底部设置有下胶塞本发明所述的防漏液管靶冷等静压胶套可有效防止冷等静压过程中液体的渗入，应用在压力为350MPa以下，温度为20～30℃的粉末冶金管靶冷等静压成型中，得到的成型管靶具有较高的纯度。
一种防漏液管靶冷静压及其用途

[发明专利]一种旋转靶材冷绑定工艺-CN201911113968.4在审
发明人：张俊杰 -专利权人：张俊杰
申请日： 2019-11-14 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种旋转靶材冷绑定工艺，属于靶材技术领域。所述旋转靶材冷绑定工艺，包括以下步骤：将外管靶材套在背管上；将粘接剂压注到外管靶材和内管的间隙中；待粘接剂凝固后即完成绑定。本发明的冷绑定工艺能够有效地将间隙中的空气挤压出来，使得外管靶材与背管的粘接面积可以达到100％，从而两管之间不会产生空穴，溅射过程中有效避免了裂靶及掉靶现象。绑定时无需加热，因而背管不会产生膨胀现象，所以背管可以采用304不锈钢管，具有成本低的优点。本发明的绑定工艺可以绑定任何材料的靶材、任何规格以及任何单节长度(200mm‑2000mm)的旋转靶材。
一种旋转靶材冷绑定工艺

[发明专利]一种BNCT液态锂靶装置-CN201911293444.8在审
发明人：芶富均;陈波;陈建军 -专利权人：成都达信成科技有限公司
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： A61N5/10 文献下载
摘要：一种BNCT液态锂靶装置，包括真空泵、锂罐体、过滤罐体、冷却机构、电磁泵、流量计、压力计、阀门、靶室；锂罐体外层电加热丝，锂罐体上端有真空泵接头，过滤罐安装在锂罐体下端内，过滤罐内有多张滤网；冷却管安装在锂罐体内上侧；真空泵接头和真空泵连接；锂罐体和电磁泵连接；电磁泵和流量计连接，流量计和阀门连接，压力计安装在流量计出液端管道一侧；靶室包括外壳体、质子束入管、中子出管、锂靶设备，质子束入管一侧安装在外壳体一侧，外壳体另一侧有中子出口；外壳体上端有光束诊断管；质子束入管上端有冷阱管，质子束入管的另一侧和质子加速器连接；冷阱管的下端有多只挡片，锂靶设备安装在外壳体内。
一种 bnct 液态装置

[实用新型]一种BNCT液态锂靶装置-CN201922254176.0有效
发明人：芶富均;陈波;陈建军 -专利权人：成都达信成科技有限公司
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： A61N5/10 文献下载
摘要：一种BNCT液态锂靶装置，包括真空泵、锂罐体、过滤罐体、冷却机构、电磁泵、流量计、压力计、阀门、靶室；锂罐体外层电加热丝，锂罐体上端有真空泵接头，过滤罐安装在锂罐体下端内，过滤罐内有多张滤网；冷却管安装在锂罐体内上侧；真空泵接头和真空泵连接；锂罐体和电磁泵连接；电磁泵和流量计连接，流量计和阀门连接，压力计安装在流量计出液端管道一侧；靶室包括外壳体、质子束入管、中子出管、锂靶设备，质子束入管一侧安装在外壳体一侧，外壳体另一侧有中子出口；外壳体上端有光束诊断管；质子束入管上端有冷阱管，质子束入管的另一侧和质子加速器连接；冷阱管的下端有多只挡片，锂靶设备安装在外壳体内。
一种 bnct 液态装置

[实用新型]冷绑定式磁控溅射旋转靶材-CN202121216787.7有效
发明人：周昭宇;周志宏 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2021-06-02 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种冷绑定式磁控溅射旋转靶材。该冷绑定式磁控溅射旋转靶材的多个弹性簧片分别装在背管外壁的多个卡槽内，弹性簧片凸出于卡槽外，靶管套装在装有弹性簧片的背管上的状态下，弹性簧片同时弹性抵紧靶管内壁和背管外壁以使靶管稳固地装到背管上。冷绑定式磁控溅射旋转靶材利用导电导热性良好的弹性簧片通过物理连接的方式将旋转靶材的背管和靶管安装在一起，弹性簧片与两者的接触面积大，旋转靶材整体具有良好的导电传热性能。
定式磁控溅射旋转

[发明专利]磁控溅射旋转靶材的冷绑定制备方法及其制备的靶材-CN202110611250.9在审
发明人：周昭宇;周志宏 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2021-06-02 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种磁控溅射旋转靶材的冷绑定制备方法，以及通过该方法制备的旋转靶材。该冷绑定制备方法将多个弹性簧片分别装在背管外壁的多个卡槽内，弹性簧片凸出于卡槽外，再将靶管套装到装有弹性簧片的背管上，该状态下所述弹性簧片同时弹性抵紧靶管内壁和背管外壁以使靶管稳固地装到背管上。该冷绑定制备方法制成的靶材利用导电导热性良好的弹性簧片通过物理连接的方式将旋转靶材的背管和靶管安装在一起，弹性簧片与两者的接触面积大，旋转靶材整体具有良好的导电传热性能，并且，绑定时无需加热避免灼伤风险
磁控溅射旋转绑定制备方法及其

[发明专利]一种铌旋转靶材及其制备方法-CN201910041666.4在审
发明人：周志宏;肖世洪;雷雨;肖世文;沈艳斌;周昭寅 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2019-01-16 - 公布日： 2019-03-26 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提出了一种铌旋转靶材的制备方法，包括S1、制备平均粒径D₅₀为10‑80μm的铌粉末；S2、以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管进行表面喷砂处理；S3、冷喷涂成型：将制备的铌粉末装入冷喷涂送粉器内，将处理后的靶材基管安装在传动设备上，使其自转，冷喷涂喷枪与靶材基管做水平方向相对运动，制得靶材；S4、喷涂好的靶材进行机加工成所需要的尺寸和精度，制得成品。本发明制备铌旋转靶材的制备工艺简单，制备得到的铌旋转靶材的密度远高于传统热喷涂技术，相对密度可达到95‑99％，而氧含量低于传统热喷涂技术，晶粒组织均匀细化，良率高，粉末利用率高，易于规模化生产。
制备靶材旋转靶材冷喷涂基管热喷涂铌粉末粉末利用率规模化生产表面喷砂不锈钢管传动设备晶粒组织平均粒径制备工艺机加工送粉器自转材基对靶良率喷枪喷涂细化钛管装入成型

[发明专利]一种铝旋转靶材及其制造方法-CN201910041672.X在审
发明人：周志宏;肖世洪;雷雨;肖世文;沈艳斌;周昭寅 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2019-01-16 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： C23C14/14 文献下载
摘要：本发明提出了一种铝旋转靶材的制造方法，包括S1、制造平均粒径D₅₀为10‑80μm的铝粉末；S2、以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管进行表面喷砂处理；S3、冷喷涂成型：将制造的铝粉末装入冷喷涂送粉器内，将处理后的靶材基管安装在传动设备上，使其自转，冷喷涂喷枪与靶材基管做水平方向相对运动，制得靶材；S4、喷涂好的靶材进行机加工成所需要的尺寸和精度，制得成品。本发明制造铝旋转靶材的制造工艺简单，制造得到的铝旋转靶材的密度远高于传统热喷涂技术，相对密度可达到95‑99％，而氧含量低于传统热喷涂技术，晶粒组织均匀细化，良率高，粉末利用率高，易于规模化生产。
靶材旋转靶材冷喷涂制造基管铝粉末热喷涂粉末利用率规模化生产表面喷砂不锈钢管传动设备晶粒组织平均粒径制造工艺机加工送粉器喷涂自转材基对靶良率喷枪细化钛管装入成型

[发明专利]一种旋转镍铬合金靶材及其制备方法-CN201910717231.7在审
发明人：吴健;雷雨;肖世洪;周志宏;沈艳斌;周昭寅 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2019-08-05 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种旋转镍铬合金靶材及其制备方法。这种旋转镍铬合金靶材是通过以下的方法制得：1)制备平均粒径D50为20μm～100μm的镍铬粉末；2)以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管依次进行表面喷砂处理和打底处理；3)转动靶材基管，将镍铬粉末通过喷枪冷喷涂到靶材基管的表面，制得靶材；4)将冷喷涂后的靶材进行机加工，制得旋转镍铬合金靶材成品。本发明制备旋转镍铬合金靶材的方法工艺简单、操作方便、合金成分范围宽，适合大规模工业生产。所制得的靶材纯度高，相对密度大，氧含量低，晶粒尺寸均匀性好。
靶材镍铬合金基管制备镍铬粉末冷喷涂尺寸均匀性晶粒靶材纯度表面喷砂不锈钢管平均粒径机加工材基对靶喷枪钛管合金转动

[发明专利]一种高纯金属旋转靶材及其制备方法-CN202010493072.X在审
发明人：张科;曹建亮;李强 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明涉及靶材制备技术领域，提供了一种高纯金属旋转靶材及其制备方法。本发明提供的高纯金属旋转靶材的制备方法包括以下步骤：将金属铸锭进行真空熔炼，得到熔融金属液；将熔融金属液进行离心铸造后脱模，得到空心铸坯；对所述空心铸坯进行车制，得到旋压毛坯；将所述旋压毛坯和芯模进行加热，然后依次进行开坯、热旋压减薄和冷旋压成形，得到空心靶坯；将所述空心靶坯与背管进行绑定，得到高纯金属旋转靶材。本发明提供的方法制备得到的高纯金属旋转靶材具有金属纯度高、组织致密度高、尺寸偏差小的特点，而且本发明提供的方法具有成品率高的特点。
一种高纯金属旋转及其制备方法

[发明专利]一种旋转银铜靶材及制备方法-CN202010118026.1在审
发明人：吴健;黄显峰;雷雨;周志宏;沈艳斌;杨永添 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2020-02-25 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种旋转银铜靶材及其制备方法。该方法包括以下步骤：(1)制备粒径D10≥20μm，D90≤70μm的银铜粉末；(2)以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管依次进行表面喷砂处理和打底处理；(3)冷喷涂：将打底处理后的靶材基管安装在传动设备上，使靶材基管绕其中心轴转动，喷枪沿靶材基管的水平方向相对往返移动，启动冷却装置后，将银铜粉末通过喷枪冷喷涂到靶材基管表面，沉积形成涂层，得到靶材。本发明的制备工艺简单、操作方便，适合大规模工业生产，所制得的旋转银铜靶材纯度高，尺寸不受限制，厚度可达到3～12mm，长度可达到4000mm，氧含量低，晶粒尺寸小。
一种旋转银铜靶材制备方法

[发明专利]一种管状靶材生坯的冷等静压模具-CN202310285762.X在审
发明人：姚力军;潘杰;廖培君;孙慧芳;吴东青 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-03-22 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B22F3/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种管状靶材生坯的冷等静压模具，所述管状靶材生坯的冷等静压模具包括依次设置的镀铬刚性内芯、弹性外芯和刚性外套；所述镀铬刚性内芯和弹性外芯形成模腔；所述镀铬刚性内芯外表面的镀铬层厚度为55‑70μm本发明提供的管状靶材生坯的冷等静压模具，通过在刚性内芯管电镀铬涂层，提高内芯管的光洁度，与不设置镀铬层或其他镀层相比使得管靶生坯脱模效率提升至300％以上，生坯合格率提升至100％。
一种管状生坯静压模具

[实用新型]磁控溅射靶冷却系统-CN202320014430.3有效
发明人：乔梦文;田利丰;崔云涛;刘静 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2023-01-04 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供一种磁控溅射靶冷却系统，磁控溅射靶包括靶材和磁体，磁控溅射靶冷却系统包括冷头和储液箱，冷头包括均温板，均温板设于靶材和磁体之间，均温板设有顶部具有开口的腔体，腔体具有进口和出口，储液箱用于盛放金属流体，进口和出口分别与储液箱连通，金属流体能够在腔体内流动与均温板接触进行热交换。本实用新型将均温板设置在靶材和磁体之间，在磁体设置顶部具有开口的腔体，腔体与盛放有金属流体的储液箱连通，金属流体与均温板接触换热；根据液体金属热导率高，利用对流或冲击换热的方式与均温板进行热交换，降低靶材的温度，提高靶材温度均匀性，保护靶材，延长靶材的寿命，避免磁控溅射靶受热能侵害，保证磁控溅射的顺利进行。
磁控溅射冷却系统

[发明专利]一种平面靶材的制备方法-CN202211159806.6在审
发明人：张蛟;徐国军;刘丽红;蒋明伟 -专利权人：安徽狄拉克新材料科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及靶材加工技术领域，具体涉及一种平面靶材的制备方法，包括：对背板进行粗化处理；背板上喷涂打底层；将背板安装到靶材生长冷却导柱上；将材料加热得到靶材熔液，并将靶材熔液浇注到坩埚内；当背板温度达到200℃时，将靶材生长冷却导柱缓慢下降，打底层接触到靶材熔液液面后停止下降；当背板温度达到低于材料熔点10℃时，靶材生长冷导柱向上拉伸，靶坯重量达到目标重量后，得到靶坯；冷却液持续给背板降温，当背板温度降低至300℃后缓慢降低冷却液温度，背板温度降至50℃以下后取出靶材，将靶材冷却至室温后进行机加工，本发明通过本方法制备的靶材利用率高，可承受高功率密度磁控溅射，靶材密度高接近理论密度。
一种平面制备方法

[实用新型]一种利于冷却的旋转靶靶管-CN201821147027.3有效
发明人：王正安 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-07-19 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种利于冷却的旋转靶靶管，包括：靶材背管(2)及与靶材背管同轴设置的冷却液出口通道(5)；靶材背管(2)内壁与冷却液出口通道(5)外壁组成的空间为冷却液进口通道(4)；冷却液出口通道(5)一侧通过支架(7)设置有磁棒(8)；冷却液进口通道(4)的内壁设置有用于增强冷却液扰动的凸起结构。本实用新型提供的利于冷却的旋转靶靶管增强了冷却过程中冷却液的扰动，使得冷却过程中温度分布更均匀，同时，提高了冷却液的利用率，节约了能量。
冷却液出口通道冷却液旋转靶靶材靶管背管冷却本实用新型冷却液进口冷却过程扰动内壁同轴设置凸起结构温度分布磁棒外壁支架节约

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