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[发明专利]使用图案形成装置形貌引入的相位的方法和设备-CN201580069138.X在审
发明人： J·M·芬德尔斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2015-11-25 - 公布日： 2017-08-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种方法包括对于由光刻图案形成装置的图案的辐射进行的照射，获得由所述图案的三维形貌导致的计算的波前相位信息；以及基于该波前相位信息且使用计算机处理器来调整照射的参数和/或调整该图案的参数。
使用图案形成装置形貌引入相位方法设备

[发明专利]循序波前传感器-CN200680051333.0有效
发明人： Y·周;Q·C·赵;S·韦 -专利权人：透明医疗体系公司
申请日： 2006-12-21 - 公布日： 2009-02-11 - 主分类号： G01J9/00 文献下载
摘要：一种循序波前传感器，其中含有一光束扫描模块、一子波前聚焦透镜、一具有一个以上的光敏(photosensitive)区域的侦测器，以及一处理器，其用以计算出距这些子波前的数个聚焦光点的经循序获得的中心点(centroids)，由此决定该输入波前的偏差(aberration)。一种循序波前感测方法，其中包含如下步骤：将数个子波前循序地投射(projecting)在一子波前聚焦透镜与一具有多于一光敏区域的侦测器上，计算该距各个子波前的聚焦光点的中心点，以及处理该中心点信息以决定该输入波前的偏差特别是，一种用于自动对焦及/或自动散光校正作业的方法，其中包含如下步骤，即将数个绕于一波前的轮型环(annular ring)的子波前循序地投射在一子波前聚焦透镜及一侦测器上；计算该聚焦光点距各子波前的中心点，以算出该中心点迹线(trace)并因此产生失焦及/或散光性现象；调整位于该波前传感器之前的光学影像系统的失焦及/或散光现象，因而将该所测得的失焦及/或散光现象最小化。
循序传感器

[发明专利]一种无支持域约束的相位恢复波前检测方法-CN202210668578.9在审
发明人：白剑;赵磊;李月佳 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G01J9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种无支持域约束的相位恢复波前检测方法，不需要支持域的先验知识即可实现波前的快速重建，通过将一个随机估计值任意衍射到一个离焦面后，再离焦面反复迭代获取离焦面的波前相位，最后逆衍射回待测波前面本发明通过直接在离焦面迭代衍射计算取代传统的在待测波前面与光强测量测量面之间的迭代，增加了强度信息，提高了算法对宽松支持域的容忍度，进一步提高了算法的收敛精度。
一种支持约束相位恢复检测方法

[发明专利]X射线自由电子激光单脉冲耐损伤波前探测及矫正系统-CN202010429379.3有效
发明人：佟亚军;江怀东;范家东 -专利权人：上海科技大学
申请日： 2020-05-20 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： G01J1/42 文献下载
摘要：本发明提供了一种X射线自由电子激光单脉冲耐损伤波前探测及矫正系统，一方面在降低损伤的条件下获得单脉冲波前信息，另一方面通过测得多脉冲波前反馈给反射镜进行姿态和面型的调整，提高调试速度，提高光束聚焦质量。
射线自由电子激光脉冲损伤探测矫正系统

[发明专利]一种基于自适应光学的光谱成像装置-CN201611119609.6有效
发明人：汤媛媛;张雨东;魏凯;范真涛 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2016-12-08 - 公布日： 2018-04-06 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于自适应光学的光谱成像装置，包括准直器(1)、倾斜镜(2)、波前校正器DM(3)、二向色分光镜(4)、波前探测器(5)、波前控制器(6)、成像系统(7)、望远镜一次像面(8)、中继光学系统本发明采用像面切分转换后色散分光的方式，可在一次曝光同时获取目标的光谱和图像信息；通过结合自适应光学技术，引入波前探测器实时探测像差，并由倾斜镜和波前校正器实时校正，解决了探测过程中大气的扰动和三维信息的非扫描快速获取问题
一种基于自适应光学光谱成像装置

[发明专利]一种支持多档负载平衡的容量检测方法及装置-CN202210924220.8有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：沐曦集成电路（上海）有限公司
申请日： 2022-08-03 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G06F9/50 文献下载
摘要：本发明提供的一种支持多档负载平衡的容量检测方法及装置，涉及芯片技术，包括需求为线程束自由分发的无负载均衡第一预设需求时：获取各执行子单元含有波前所需孔大小的孔数量，并基于各所述孔数量获取总数量；当所述总数量大于等于线程束所含的总波前数，生成容量检测通过的通过信息；需求为每个线程束在各执行子单元上分发的波前数相差不超过1的中等负载均衡第二预设需求时：获取总波前数除以执行子单元数量后向下取整的容纳值；当所述总数量大于等于线程束所含的总波前数，且各执行子单元的容量大于等于所述容纳值，生成容量检测通过的通过信息。
一种支持负载平衡容量检测方法装置

[发明专利]四波前横向剪切干涉波前传感器的灵敏度增强装置及方法-CN201611205317.4有效
发明人：杨甬英;张锐;江佳斌;凌曈 -专利权人：浙江大学
申请日： 2016-12-23 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种四波前横向剪切干涉波前传感器的灵敏度增强装置及方法。本发明在单个四波前横向剪切干涉波前传感器的基础上，将待测光束分为两束后再增加一个四波前横向剪切干涉波前传感器，分别调节两波前传感器中光栅与探测器之间的距离使相应剪切率组合满足灵敏度增强条件，实现了大剪切率情况下利用傅里叶变换位相重建技术的高分辨率高灵敏度检测本发明的优点在于解决了传统四波前横向剪切干涉系统在大剪切率情况下采用傅里叶变换位相重建技术时由于频谱泄漏效应导致解调出的波前位相存在周期性振荡误差的问题，通过组合剪切率来消除相对灵敏度为零的区域，补足频谱中周期性缺失的信息
横向剪切干涉波前传感器灵敏度剪切率傅里叶变换增强装置周期性振荡光栅高分辨率高灵敏度频谱泄漏增强条件干涉仪重建探测器调出频谱测量检测

[发明专利]四波前横向剪切干涉波前传感器的剪切率标定装置及方法-CN201810878468.9在审
发明人：杨甬英;张锐;梁子健 -专利权人：浙江大学
申请日： 2018-08-03 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种四波前横向剪切干涉波前传感器的剪切率标定装置及方法。本发明的技术特点是引入刻蚀有阶跃边界图案的位相板对光波位相进行调制，采用剪切波前重构算法重构出两正交方向上的剪切波前，再结合边界特征提取算法计算出剪切量大小，从而实现对四波横向剪切干涉波前传感器剪切率的高精度检测本发明的优点在于，解决了传统基于理论公式的剪切率计算方法由于各元件的相对位置难以精确确定而引入较大误差的问题，通过引入边界阶跃变化的位相板，剪切量信息很清晰的反映在两正交方向上剪切波前中，采用边界特征提取算法可以很高精度的计算出四波横向剪切波前传感器的剪切率大小，为波前传感器的高精度检测提供保障。
波前传感器剪切率横向剪切干涉剪切波边界特征提取高精度检测标定装置正交方向剪切量位相板引入边界图案横向剪切技术特点阶跃变化理论公式算法计算重构算法光波大误差阶跃刻蚀算法重构调制清晰

[发明专利]一种隐身物体探测系统和方法-CN201880001201.X有效
发明人：王星泽;刘楚明;舒远 -专利权人：合刃科技（深圳）有限公司
申请日： 2018-07-25 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： G01V8/10 文献下载
摘要：本申请提供了一种隐身物体探测系统和方法，所属系统包括：分束聚焦阵列，图像传感阵列，和数据处理模块；分束聚焦阵列，用于对待测入射光进行分束，并将分束光分别聚焦到图像传感阵列对应的图像传感单元上；图像传感阵列的图像传感单元将接收到的光束信息转换成对应的电信息；数据处理模块，用于根据电信息对待测入射光的波前进行重构，得到重构波前信息，并通过重构波前信息和人工神经网络算法识别出所述待测入射光是否含有隐身物体的散射光。
一种隐身物体探测系统方法

[发明专利]基于实时相位差异技术的无波前探测自适应光学系统-CN201711247960.8在审
发明人：岳丹;聂海涛;高旭;李野;母一宁;司英男;陈雪微 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2017-12-01 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： G02B26/06 文献下载
摘要：基于实时相位差异技术的无波前探测自适应光学系统，属于光学技术领域，针对目前无波前探测自适应光学技术存在的问题，待校正波前像差经过变形镜补偿后的残余波前入射到分光棱镜上，经分光棱镜分为两束光线，分别由两个成像透镜将其会聚至对应的两个CCD相机上，得到焦面和离焦面模糊像斑；将图像信息作为已知输入量，利用线性相位差异算法模块直接求得对应的驱动控制电压，通过波前校正器驱动控制电路模块施加到变形镜上，使变形镜产生去除波前畸变的补偿量，然后再利用成像系统采集校正后系统对应的焦面及离焦面图像，再次计算此时对应的校正电压，如此反复迭代，直至波前误差得到完全校正；便于在自适应光学闭环系统上应用。
基于实时相位差异技术无波前探测自适应光学系统

[发明专利]高速自适应线扫描眼底成像系统及方法-CN202010484617.0有效
发明人：孔文;何益;高峰;史国华 -专利权人：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
申请日： 2020-06-01 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： A61B3/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种高速自适应线扫描眼底成像系统及方法，系统包括：光源模块产生照明线光束，波前探测和校正模块发射波前探测光束，分光模块将照明线光束与波前探测光束合束，并将该合束光通过照明模块传输至人眼，眼底对合束光反射后再经照明模块原路返回，其中照明线光束的反射光作为成像光经分光模块后入射至成像模块进行成像，波前探测光束的反射光作为探测光进入波前探测和校正模块，由波前探测和校正模块对成像系统像差和波前进行实时探测和校正，实现高速自适应线扫描眼底成像本系统能够有效提高光学利用率，针对感兴趣的眼底区域，能以更快的成像速度，获得高分辨率、高对比度的眼底图像，为眼科临床检查提供更多有效信息。
高速自适应扫描眼底成像系统方法

[实用新型]基于实时相位差异技术的无波前探测自适应光学系统-CN201721648688.X有效
发明人：岳丹;聂海涛;高旭;李野;母一宁;司英男;陈雪微 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2017-12-01 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： G02B26/06 文献下载
摘要：基于实时相位差异技术的无波前探测自适应光学系统，属于光学技术领域，针对目前无波前探测自适应光学技术存在的问题，待校正波前像差经过变形镜补偿后的残余波前入射到分光棱镜上，经分光棱镜分为两束光线，分别由两个成像透镜将其会聚至对应的两个CCD相机上，得到焦面和离焦面模糊像斑；将图像信息作为已知输入量，利用线性相位差异算法模块直接求得对应的驱动控制电压，通过波前校正器驱动控制电路模块施加到变形镜上，使变形镜产生去除波前畸变的补偿量，然后再利用成像系统采集校正后系统对应的焦面及离焦面图像，再次计算此时对应的校正电压，如此反复迭代，直至波前误差得到完全校正；便于在自适应光学闭环系统上应用。
变形镜校正自适应光学系统探测差异技术分光棱镜实时相位焦面离焦驱动控制电路模块自适应光学技术光学技术领域驱动控制电压波前校正器自适应光学闭环系统波前畸变波前误差波前像差成像透镜成像系统反复迭代算法模块图像信息线性相位校正电压补偿量残余波后系统输入量再利用入射去除会聚施加采集图像模糊应用

[实用新型]一种哈特曼波前测试系统-CN201320087930.6有效
发明人：李国会;雒仲祥;向汝建;杨媛;何忠武;徐宏来;吴晶 -专利权人：中国工程物理研究院应用电子学研究所
申请日： 2013-02-27 - 公布日： 2013-08-28 - 主分类号： G01J9/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种哈特曼波前测试系统，所述的系统包括前盖板、前外罩、底板、盖板、后外罩、物镜组件、.殷钢杆、定位支架、光束、定位支架、衰减片组件、目镜支架、目镜组件、透镜阵列、CCD、CCD支架；所述的新型的哈特曼波前测试系统可以用在光束波前测试中，其测试结果可以评价光束波面的好坏，同时，测试的波面信息可以作为光束波前校正的信号来源；本实用新型的哈特曼波前测试系统结构简单、透镜阵列的焦平面与CCD光敏面之间的位置受温度较小，同时，目镜调焦、CCD
一种哈特曼波前测试系统

[发明专利]一种激光波前畸变校正系统-CN201510490725.8有效
发明人：樊仲维;郭广妍;陈艳中;贾丹;康治军;赵天卓;刘昊;何建国 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2015-08-11 - 公布日： 2019-10-01 - 主分类号： H01S3/13 文献下载
摘要：本发明提供的激光器波前畸变校正系统包括固体激光器、热辐射微扰源、波前检测模块、控制模块，固体激光器产生激光光束，所述波前检测模块对所述激光光束进行检测，得到激光光束的近场能量分布信息及远场信息，所述控制模块对所述激光光束的近场能量分布信息及远场信息进行分析，并根据分析结果控制所述热辐射微扰源发射热辐射微扰信号给所述固体激光器，所述固体激光器根据所述热辐射微扰信号调整所述激光光束，本发明利用波前检测模块及热辐射微扰源对激光光束进行检测校正，对校正光束的输出特性无要求
激光光束微扰热辐射固体激光器检测模块校正控制模块能量分布近场远场激光器系统波前畸变畸变校正排列方式强度控制输出特性校正系统信号调整准确度激光器激光波灵活度检测发射分析

[发明专利]一种基于滤波小孔调制的波前校正装置及方法-CN202111552248.5在审
发明人：杨朋千;姜卓偲;杨雪莹;朱健强 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于滤波小孔调制的波前校正装置及方法，具体包括波前校正器、聚焦光路、滤波小孔、成像系统、传感器和波前控制器。该装置仅利用主激光加一台传感器即可实现全系统的波前校正；本发明通过利用主激光远场加滤波小孔产生一理想点光源，该方法无需额外设置标准光源，即可实现焦点之后成像系统的系统误差标定，从而实现全链路的波前像差的精确测量和闭环校正，减少了误差来源；通过对滤波小孔施加一随机调制频率，克服了因主激光抖动带来的波前传感器无法采集均匀近场信息的问题；且该装置光路简单，体积小，调试便捷，可快速收敛得到符合要求的远场焦斑分布。
一种基于滤波小孔调制校正装置方法

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