专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种富含羟基窝的缺陷型沸石分子筛合成方法-CN202111012113.X在审
  • 刘家旭;贺宁 - 大连理工大学
  • 2021-08-31 - 2021-11-23 - C01B39/40
  • 本发明提供一种富含羟基窝的缺陷型沸石分子筛的合成方法,以无机硅源和有机硅源作为混合硅源,与铝源、OSDA模板剂混合,得到溶胶,进行晶化;所得固体经过滤、干燥、焙烧得到富含羟基窝的缺陷型沸石分子筛;所述有机硅源为烷基硅烷本发明在分子筛构建骨架的过程中引入烷基硅烷,形成了部分Si‑C键连,随后在分子筛焙烧过程中C被烧除掉从而形成分子筛单一T位的骨架点位缺陷形成羟基窝,这种点位缺陷几乎对材料的结晶度无影响,而且极大程度保持了分子筛骨架的完整度;在合成过程中通过控制烷基硅烷的种类、含量可相对精确控制分子筛缺陷的程度从而得到富含羟基窝的缺陷型沸石分子筛。
  • 一种富含羟基缺陷型沸石分子筛合成方法
  • [发明专利]一种检测浅沟槽隔离区空洞缺陷的方法-CN201610704834.X有效
  • 曹坚;张亮 - 上海华力微电子有限公司
  • 2016-08-22 - 2018-08-10 - H01L21/66
  • 一种检测沟槽隔离区空洞缺陷的方法,其包括:在晶圆上参照正常工艺流程完成双栅刻蚀;在完成双栅刻蚀的所述晶圆表面生长一层氮化硅;对表面生长一层氮化硅的晶圆进行快速热处理;用去热磷酸将晶圆表面氮化硅去除,并通过光学显微镜扫描浅沟槽空洞缺陷的位置;制备所述浅沟槽空洞缺陷的样品并通过透射电镜精确检测浅沟槽空洞缺陷。因此,本发明提供的检测方法简单且高效,其能实时在线检测浅沟槽空洞缺陷并能快速准确的检测到浅沟槽空洞缺陷的位置,从而有效地解决了半导体器件中因存在浅沟槽空洞缺陷而导致CMOS器件失效和良率下降的问题。
  • 一种检测沟槽隔离空洞缺陷方法

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