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- [发明专利]一种感光半导体器件-CN202010286343.4在审
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徐勇;汤学妹;曾炜;朱征
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南京鑫达泰科技有限公司
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2020-04-13
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2020-09-04
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G03F7/039
- 本发明提供了一种感光半导体器件，包括基板以及涂覆于基板上的含正性感光聚酰亚胺树脂的组合物，所述含正性感光聚酰亚胺树脂的组合物包括75‑85%的正性感光聚酰亚胺树脂和余量的改性重氮萘醌磺酸酯。本发明提供的感光半导体器件采用正性感光聚酰亚胺树脂和改性重氮萘醌磺酸酯涂覆于基板上，改性重氮萘醌磺酸酯光照后释放出2,1,4‑重氮萘醌磺酰氯和苯甲酸2‑(2，2‑二氟‑2‑磺基乙氧基)‑1‑苯基乙基酯钠盐，2,1,4‑重氮萘醌磺酰氯在光作用下形成茚酸类物质，失去对含羟基的溶解性好的聚酰亚胺树脂的溶解抑制剂作用，因此可形成正性图像，苯甲酸2‑(2，2‑二氟‑2‑磺基乙氧基)‑1‑苯基乙基酯钠盐作为化学增幅型材料
- 一种感光半导体器件
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