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[发明专利]氢氟酸废水处理方法及装置-CN200310117988.1无效
发明人：水谷淳二;盐见裕;前田光男;原田康二;向田民人;谷本佳夫;西村靖史;村谷利明 -专利权人：笹仓机械工程有限公司;夏普株式会社
申请日： 2003-11-26 - 公布日： 2004-06-16 - 主分类号： C02F1/58 文献下载
摘要：本发明提供一种高效回收包含在氢氟酸废水中的氢氟酸，同时使处理后的脱氢氟酸的水的氢氟酸浓度充分下降的氢氟酸废水处理方法和装置。作为对含氢氟酸的氢氟酸废水进行处理的氢氟酸废水处理方法，该氢氟酸废水处理方法包括通过对氢氟酸废水进行蒸发浓缩，生成浓缩氢氟酸水和含氢氟酸蒸气的氢氟酸浓缩工序S1，使氢氟酸浓缩工序所生成的含氢氟酸蒸气与溶解用水接触，使其溶解的溶解工序S2，通过使溶解工序S2中残留的含氢氟酸蒸气与碱接触，生成中和液和脱氢氟酸的蒸气的中和工序S3，和通过冷凝中和工序S3生成的脱氢氟酸的蒸气生成冷凝水的冷凝工序S4。
氢氟酸废水处理方法装置

[发明专利]氢氟酸废水处理方法及装置-CN200610087696.1无效
发明人：水谷淳二;前田光男;向田民人;西村靖史;盐见裕;原田康二;谷本佳夫;村谷利明 -专利权人：笹仓机械工程有限公司;夏普株式会社
申请日： 2003-11-26 - 公布日： 2006-11-29 - 主分类号： C02F1/58 文献下载
摘要：本发明提供一种高效回收包含在氢氟酸废水中的氢氟酸，同时使处理后的脱氢氟酸的水的氢氟酸浓度充分下降的氢氟酸废水处理方法和装置。作为对含氢氟酸的氢氟酸废水进行处理的氢氟酸废水处理方法，该氢氟酸废水处理方法包括通过对氢氟酸废水进行蒸发浓缩，生成浓缩氢氟酸水和含氢氟酸蒸气的氢氟酸浓缩工序S1，使氢氟酸浓缩工序所生成的含氢氟酸蒸气与溶解用水接触，使其溶解的溶解工序S2，通过使溶解工序S2中残留的含氢氟酸蒸气与碱接触，生成中和液和脱氢氟酸的蒸气的中和工序S3，和通过冷凝中和工序S3生成的脱氢氟酸的蒸气生成冷凝水的冷凝工序S4。
氢氟酸废水处理方法装置

[实用新型]一种可进行氢氟酸回收利用的清洗装置-CN201220215190.5有效
发明人：俞晓铭;钱大成;刘海;吴而义 -专利权人：无锡德鑫太阳能电力有限公司;无锡尚德太阳能电力有限公司
申请日： 2012-05-11 - 公布日： 2012-12-12 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型提供一种可进行氢氟酸回收利用的清洗装置。现有技术未对清洗所用的氢氟酸进行回收利用而直接作为废液处理，从而造成了成本浪费，另外增加了操作人员受氢氟酸危害的风险。本实用新型的可进行氢氟酸回收利用的清洗装置包括第一氢氟酸槽和第二氢氟酸槽，所述第二氢氟酸槽中的氢氟酸浓度大于第一氢氟酸槽中氢氟酸的浓度，所述第二氢氟酸槽具有第一溢流管道，所述第一溢流管道通过向下倾斜设置的第一连接管道连接至第一氢氟酸槽，所述第二氢氟酸槽中超过预设液位的氢氟酸通过第一溢流管道和第一连接管道流入第一氢氟酸槽。本实用新型有效降低了成本，并降低了操作人员受氢氟酸危害的风险。
一种进行氢氟酸回收利用清洗装置

[实用新型]一种氢氟酸反应釜-CN201922440969.1有效
发明人：毋海利;郭靖;王跃东;靳分明;皇甫拥军 -专利权人：焦作赛奥新材料科技有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本实用新型属于焊接新材料生产设备技术领域，公开一种氢氟酸反应釜，包括反应罐、氢氟酸加料装置和气体收集装置，反应罐包括罐体和搅拌装置，罐体的顶部设有加料口和氢氟酸滴加口、底部设有出料管，氢氟酸加料装置包括氢氟酸储罐和氢氟酸高位槽，氢氟酸储罐通过氢氟酸泵与氢氟酸高位槽相连通，且氢氟酸高位槽的上部设有与氢氟酸储罐相连通的回流管，氢氟酸高位槽的底部设有重力传感器，氢氟酸高位槽位于罐体上方，氢氟酸高位槽的下部与氢氟酸滴加口相连通，气体收集装置包括集气罩、抽风机和水吸收槽，集气罩罩设在反应罐和氢氟酸加料装置上，集气罩与水吸收槽相连。
一种氢氟酸反应

[实用新型]一种减少晶边研磨颗粒残留的装置-CN201520154335.9有效
发明人：李杨 -专利权人：和舰科技（苏州）有限公司
申请日： 2015-03-18 - 公布日： 2015-09-09 - 主分类号： B24B55/00 文献下载
摘要：一种减少晶边研磨颗粒残留的装置，包括氢氟酸酸槽、节流阀、机台化学柜、流量侦测器、第一氢氟酸喷头以及第二氢氟酸喷头，其中，氢氟酸酸槽通过输送管线与机台化学柜连通，并且与氢氟酸酸槽连通的输送管线上设置有节流阀，机台化学柜与第一氢氟酸喷头以及第二氢氟酸喷头通过输送管线连通，与第一氢氟酸喷头以及第二氢氟酸喷头连通的输送管线上设置有流量侦测器，流量侦测器通过输送管线分别与第一氢氟酸喷头以及第二氢氟酸喷头连通，第一氢氟酸喷头位于待处理晶圆的晶面上方，第二氢氟酸喷头位于待处理晶圆晶面的侧部。操作时第一氢氟酸喷头和第二氢氟酸喷头对晶圆的表面以及晶边进行全面的清洗，减少研磨液残留，提升产品良率。
一种减少研磨颗粒残留装置

[发明专利]一种使用萃取剂制取高浓度或无水氢氟酸的方法及系统-CN202211524220.5在审
发明人：邱树锋;苟珍;龚昌明;申俊坤;邱鹭 -专利权人：杭州东日节能技术有限公司
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B01D3/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种使用萃取剂制取高浓度或无水氢氟酸的方法及系统，方法包括如下步骤：将30％～100％浓度的磷酸、硫酸或氟化盐中的一种作为萃取剂，将稀氢氟酸与萃取剂混合精馏，破除氢氟酸与水的共沸特性，精馏后得到高浓度或无水氢氟酸，萃取剂与稀氢氟酸的质量比为(0.5‑20.0):1。本发明提出了一种使用破沸剂制取高浓度或无水氢氟酸的方法，因氢氟酸的共沸特性，本发明破坏了氢氟酸的共沸特性，将氟化氢从氢氟酸中汽提出，并通过冷凝、回流的精馏方式制取高浓度或无水氢氟酸，通过控制冷凝回流的次数，即可得到不同浓度的氢氟酸，最高可得到99.99％的无水氢氟酸；经过提浓后的氢氟酸更具有市场价值，从而降低了企业的生产成本，适用于一般使用氢氟酸的单位。
一种使用萃取制取浓度无水氢氟酸方法系统

[发明专利]电子级氢氟酸制造系统及制造电子级氢氟酸的方法-CN202010660885.3有效
发明人：陈义平 -专利权人：陈义平
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： C01B7/19 文献下载
摘要：一种电子级氢氟酸制造系统及制造电子级氢氟酸的方法，通过控制无水氢氟酸的沸点及冷凝温度，经过多段的气化、冷凝，使该无水氢氟酸中的杂质得以去除，之后再将气态氢氟酸过滤、吸收、冷却，以取得电子级氢氟酸产品。
电子氢氟酸制造系统方法

[发明专利]一种氟离子化学分析的氢氟酸滴定试样的自动制取装置-CN202111192210.1在审
发明人：华冰;罗宇坤;薛心信 -专利权人：洛阳泰纳克高温仪器设备有限公司
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明属于氢氟酸滴定溶液制取技术领域，本发明公开了一种氟离子化学分析的氢氟酸滴定试样的自动制取装置，PLC控制程序与循环冷却装置、加水装置、蒸汽发生装置、二次加热装置、氢氟酸气体生成装置和氢氟酸试样生成装置固定连接；蒸汽发生装置与二次加热装置固定连接，二次加热装置与氢氟酸气体生成装置固定连接，氢氟酸气体生成装置与氢氟酸试样生成装置固定连接；收集瓶固定设置在氢氟酸试样生成装置的右侧位置，收集瓶放置在支撑框架上，氢氟酸试样生成装置与收集瓶之间通过试样排出管固定连接该发明有益效果为：1、实现了氢氟酸滴定试样溶液的自动化制取；2、减少了氢氟酸滴定试样溶液制取过程中人为干扰因素；3、实现了氢氟酸滴定试样溶液制取过程中加热温度、蒸汽压力和流量的定量控制。
一种离子化学分析氢氟酸滴定试样自动制取装置

[实用新型]一种耐氢氟酸压敏胶带-CN202022082606.8有效
发明人：方友;陈小聪;梁书泉 -专利权人：广东弘擎电子材料科技有限公司
申请日： 2020-09-21 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： C09J7/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及氢氟酸蚀刻表面保护胶带技术领域，具体涉及一种耐氢氟酸压敏胶带由依次复合的离型层、耐氢氟酸压敏胶层和热收缩层组成，所述耐氢氟酸压敏胶层由耐氢氟酸的丙烯酸压敏胶涂覆于离型层后热固化而成。耐氢氟酸压敏胶层由耐氢氟酸的丙烯酸压敏胶涂覆于离型层后热固化而成，再将耐氢氟酸压敏胶层的一面转移涂至热收缩层，使耐氢氟酸压敏胶层和热收缩层紧密粘合；使用时，撕去离型层，将耐氢氟酸压敏胶层的另一面贴合于基材表面，即可起到保护效果，避免氢氟酸对基材的部分表面进行蚀刻时受保护部分仍被腐蚀，待蚀刻完后清洗，再在80℃‑100℃条件下使热收缩层收缩带动耐氢氟酸压敏胶层一起收缩，从而除去胶带无残胶。
一种氢氟酸胶带

[发明专利]氢氟酸添加装置及添加方法-CN201010533955.5无效
发明人：吴浩 -专利权人：无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司
申请日： 2010-11-05 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： C23G3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种氢氟酸添加装置及添加方法，该添加装置包括：输送管路，用于将至少一机台容器与可添加氢氟酸的氢氟酸源相连；开关阀，用于接收外部控制打开或关闭，控制氢氟酸源经所述输送管路与机台容器连通或阻断，使氢氟酸源对机台容器进行氢氟酸添加本发明由氢氟酸源作为添加站，集中为机台各个瓶子进行氢氟酸的添加，不需作业人员反复领用，节省了时间也便于管理，在添加氢氟酸时只需对开关阀施加外部控制，将开关阀打开，氢氟酸源就对机台容器进行添加，将开关阀关闭则停止添加，无需再对机台容器进行任何操作，也不需再与氢氟酸进行任何接触，安全便捷，极大程度的保护了作业人员的安全，避免安全事故的发生。
氢氟酸添加装置方法

[发明专利]氢氟酸排水的处理方法-CN201210419840.2无效
发明人：汤浅升夫;干场康行;前田泰和;铃木孝太郎;片山圭;深田博;梅本步美 -专利权人：笹仓机械工程有限公司
申请日： 2012-10-29 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： C01B7/19 文献下载
摘要：本发明提供一种氢氟酸排水的处理方法，能够高效地去除氢氟酸排水中所含的硅，容易地回收可再利用的氢氟酸。一种氢氟酸排水的处理方法，用于处理含有硅和氟的氢氟酸排水，该处理方法具备膜分离步骤，使上述氢氟酸排水以pH值低于6的状态通过膜分离装置（20），分离为氢氟酸水溶液的透过水和硅被浓缩的非透过水。上述膜分离步骤优选不在上述氢氟酸排水中添加碱成分而使其通过膜分离装置（20）。
氢氟酸排水处理方法

[发明专利]一种电子级氢氟酸的氧化反应方法及氧化反应装置-CN202310950257.2在审
发明人：应韵进;陈建华;蓝江煌 -专利权人：福建汉芯科技有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C01B7/07 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子级氢氟酸的氧化反应方法，包括以下步骤：从多级管式反应器的第一级管式反应器输入口输入氢氟酸，再从多级管式反应器的最后一级管式反应器输出口输出氧化后氢氟酸，所述多级管式反应器内设置有氧化剂；杂质含量检测器检测氧化后氢氟酸中杂质含量是否合格；若氧化后氢氟酸中杂质含量检测的结果是合格，则将氧化后氢氟酸进行超净过滤后再进行包装，形成电子级氢氟酸；否则，把氧化后的氢氟酸进行再次氧化。本发明还公开了一种实现电子级氢氟酸的氧化反应方法的氧化反应装置，包括：多级管式反应器、杂质含量检测器和氢氟酸分流器。本发明具有使得氢氟酸氧化反应从间歇式变成连续式和提高了电子级氢氟酸的质量等优点。
一种电子氢氟酸氧化反应方法装置

[发明专利]一种生产电子级氢氟酸的方法-CN200810049661.8有效
发明人：皇甫根利;侯红军;刘海霞;张良;刘晓霞 -专利权人：多氟多化工股份有限公司
申请日： 2008-04-28 - 公布日： 2009-11-04 - 主分类号： C01B7/19 文献下载
摘要：本发明涉及一种生产电子级氢氟酸的方法，具体包括以下步骤：(1)经计量的无水氢氟酸原料经预热后，进行粗馏，去除低沸点物质；(2)将经粗馏后，从冷凝器出口排出的氢氟酸用超纯水进行吸收，吸收为48～49％的有水氢氟酸溶液；(3)将吸收好的氢氟酸半成品经氟塑脂亚沸蒸馏器蒸馏，氟化氢液体气化生成超纯的电子级氢氟酸气体，冷凝后为48～49％的有水氢氟酸溶液，高沸点物质与重金属留在亚沸蒸馏器底部；(4)从氟塑脂亚沸蒸馏器出来的氢氟酸半成品经二级过滤最后经自动灌装制成48％的超高纯氢氟酸成品。本发明的方法充分利用了无水氢氟酸与无水氢氟酸中各杂质的沸点不同，在不同温度下，除去不同的杂质，尤其是硅，使得到的超高纯氢氟酸杂质含量降到最低。
一种生产电子氢氟酸方法

[实用新型]一种氢氟酸泵送设备-CN201721723528.7有效
发明人：陈春杰 -专利权人：山西佳维新材料股份有限公司
申请日： 2017-12-12 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： B01J4/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种氢氟酸泵送设备，涉及生产速凝剂技术领域，具体涉及原料输送的设备；本装置包括氢氟酸流量泵，氢氟酸输送管，流量计，远程控制接收装置，提升控制装置，可伸缩软管，氢氟酸输送管的另一端连接有可伸缩软管，氢氟酸输送管与可伸缩软管的连接处设置有提升控制装置，氢氟酸输送管设置有氢氟酸流量泵，氢氟酸流量泵设置有流量计和远程控制接收装置；本实用新型通过管路泵送的方式，形成密闭环境下的输送，避免了人工接触氢氟酸，降低了氢氟酸对人体的危害，生产安全性提高，通过设置的流量计与远程控制接收装置，形成对氢氟酸添加量的精确控制，提高最终产品的稳定性，同时提高了生产效率，提升装置可实现连续加料。
氢氟酸输送管流量计可伸缩软管远程控制流量泵提升控制装置本实用新型泵送设备生产安全性连续加料密闭环境生产效率提升装置一端连接原料输送速凝剂添加量泵送生产

[发明专利]一种监测氢氟酸溶液浓度的方法-CN201811236521.1在审
发明人：沈凯锋 -专利权人：百力达太阳能股份有限公司
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种监测氢氟酸溶液浓度的方法，当氢氟酸溶液槽体氢氟酸溶液浓度能满足去除磷硅玻璃层工艺时，用滴管将氢氟酸溶液槽体中的氢氟酸溶液取出，滴到水膜覆盖的有磷硅玻璃层的硅片表面，计时氢氟酸溶液和硅片表面磷硅玻璃层反应而形成硅片表面疏水圈的时间，并将该计时的时间段定义为判氢氟酸溶液浓度是否正常的标准临界时间t，此后，在太阳能电池片在制造过程中，如果反应而形成硅片表面疏水圈时间小于该标准临界时间t，则说明氢氟酸溶液槽体氢氟酸溶液浓度正常。该监测氢氟酸溶液浓度的方法可及时准确判断氟酸溶液浓度是否能达标，以确保去除磷硅玻璃工艺的完成效果。
氢氟酸溶液硅片表面磷硅玻璃层槽体水圈去除监测计时太阳能电池片时间段定义滴管氟酸溶液磷硅玻璃制造过程水膜取出达标覆盖

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