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[发明专利]一种电子级氢氟酸的氧化反应方法及氧化反应装置-CN202310950257.2在审
发明人：应韵进;陈建华;蓝江煌 -专利权人： 福建汉芯科技有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C01B7/07 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子级氢氟酸的氧化反应方法，包括以下步骤：从多级管式反应器的第一级管式反应器输入口输入氢氟酸，再从多级管式反应器的最后一级管式反应器输出口输出氧化后氢氟酸，所述多级管式反应器内设置有氧化剂；杂质含量检测器检测氧化后氢氟酸中杂质含量是否合格；若氧化后氢氟酸中杂质含量检测的结果是合格，则将氧化后氢氟酸进行超净过滤后再进行包装，形成电子级氢氟酸；否则，把氧化后的氢氟酸进行再次氧化。本发明还公开了一种实现电子级氢氟酸的氧化反应方法的氧化反应装置，包括：多级管式反应器、杂质含量检测器和氢氟酸分流器。本发明具有使得氢氟酸氧化反应从间歇式变成连续式和提高了电子级氢氟酸的质量等优点。
一种电子氢氟酸氧化反应方法装置

[发明专利]一种用于半导体级和电子级的氢氟酸高效精馏装置-CN202310950241.1在审
发明人：应韵进;陈建华;蓝江煌 -专利权人： 福建汉芯科技有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B01D3/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于半导体级和电子级的氢氟酸高效精馏装置，涉及氢氟酸制备技术领域，包括塔体，还包括升降板，设置在塔体内腔顶部；升降机构，设置在升降板与塔体之间，用于驱动升降板在塔体内上下移动；旋转圈，设置在升降板底部。本发明通过升降机构与旋转机构驱动工业摄像头和测厚仪在塔体内壁做螺旋线移动，对每次制备完成后的塔体内壁进行检测，若是检测时发现制备的半导体级和电子级氢氟酸的纯度不合格，对塔体内壁的材料进行针对性杂质检测，不需要对杂质进行先提取再分析，便可及时发现塔体内壁因被腐蚀导致半导体级和电子级氢氟酸制备纯度不合格的问题。
一种用于半导体电子氢氟酸高效精馏装置

[发明专利]一种用于半导体级电子级氢氟酸生产的精馏热泵系统-CN202310950249.8在审
发明人：应韵进;陈建华;蓝江煌 -专利权人： 福建汉芯科技有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B01D3/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于半导体级电子级氢氟酸生产的精馏热泵系统，包括精馏塔、热泵组件、第一换热套管以及蒸汽加热套管。精馏塔的塔顶连接至热泵组件的第一进料口，第一出料口回流至精馏塔的塔顶。精馏塔的塔底连接至热泵组件的第二进料口，第二出料口回流至精馏塔的塔底；精馏塔与热泵组件第二进料口之间的管道上设置有第一换热套管，第一换热套管的进口连接至精馏塔与热泵组件第一进料口之间的管道上，第一换热套管的出口连接至精馏塔与热泵组件第一出料口之间的管道上；热泵组件第二出料口与精馏塔之间的管道上设置有蒸汽加热套管，本发明利用热泵回收热量用于塔釜加热，从而减少或者替代了塔釜加热所需消耗的能源，从而起到节能降耗的效果。
一种用于半导体电子氢氟酸生产精馏系统