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- [发明专利]气浮旋转结构-CN201710571053.2有效
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董皓;方舟;卢志伟;赵晓龙;胡亚辉;张君安;刘波
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西安工业大学
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2017-07-13
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2017-10-17
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F16C32/06
- 本发明涉及一种气浮旋转结构,包括从上到下依次连接的上气浮轴承、中间径向气浮轴承和下气浮轴承;上气浮轴承、中间径向气浮轴承和下气浮轴承上均设置有供气嘴,上气浮轴承、中间径向气浮轴承和下气浮轴承之间构成浮子气浮腔,浮子气浮腔内浮动设置T型浮子,T型浮子包括一体成型的输入轴和浮子,输入轴伸出浮子气浮腔并通过其轴端的螺纹连接花键。本发明的T型浮子与上气浮轴承、中间径向气浮轴承和下气浮轴承之间均形成具有一定刚性的气膜,可以提供较强的角刚度和抗倾斜力矩,从而实现T型浮子与浮子气浮腔之间间隙稳定,无摩擦的效果,不需要润滑油,提高了气浮旋转结构的运动精度和响应速度
- 旋转结构
- [发明专利]一种气浮转台结构-CN201210102877.2有效
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张瑞杰
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张瑞杰
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2012-04-10
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2012-08-08
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F16M11/06
- 本发明公开了一种气浮转台结构,包括底座、气浮轴承内环以及气浮轴承外环,其中,所述气浮轴承外环固定于底座上,在所述底座上设置有驱动电机的定子;所述气浮轴承内环套设于气浮轴承外环内,所述气浮轴承内环与气浮轴承外环之间的腔体空间内充满气膜;在该气浮轴承内环设置有与所述定子对应的驱动电机的转子。本发明所述的气浮转台结构中,由于承载平台为所述气浮轴承内环的顶面,这增大了承载平台的承载面积,从而增大了承载力,使刚性最强。此外,通过在气浮轴承内环与气浮轴承外环之间的腔体空间中充满气膜,该气膜具有一定的刚性,可提供一定的抗倾斜力矩,以支撑并限制气浮轴承内环,从而提高了该气浮转台转动的精度。
- 一种转台结构
- [实用新型]一种气浮转台结构-CN201220147942.9有效
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张瑞杰
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张瑞杰
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2012-04-10
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2012-12-12
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F16M11/06
- 本实用新型公开了一种气浮转台结构,包括底座、气浮轴承内环以及气浮轴承外环,其中,所述气浮轴承外环固定于底座上,在所述底座上设置有驱动电机的定子;所述气浮轴承内环套设于气浮轴承外环内,所述气浮轴承内环与气浮轴承外环之间的腔体空间内充满气膜;在该气浮轴承内环设置有与所述定子对应的驱动电机的转子。本实用新型所述的气浮转台结构中,由于承载平台为所述气浮轴承内环的顶面,这增大了承载平台的承载面积,从而增大了承载力,使刚性最强。此外,通过在气浮轴承内环与气浮轴承外环之间的腔体空间中充满气膜,该气膜具有一定的刚性,可提供一定的抗倾斜力矩,以支撑并限制气浮轴承内环,从而提高了该气浮转台转动的精度。
- 一种转台结构
- [发明专利]多自由度气浮平台稳压装置及稳压方法-CN201510409027.0有效
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刘杨;董岳;付振宪
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哈尔滨工业大学
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2015-07-13
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2017-06-06
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B64G7/00
- 多自由度气浮平台稳压装置及稳压方法,属于全物理仿真领域,本发明为解决现有多自由度气浮平台的控制结构复杂、控制精度较差、稳压能力较弱的问题。本发明所述多自由度气浮平台的稳压装置包括气浮轴,气浮轴包括气浮轴承外套和气浮轴承内套,气浮轴承内套安装在气浮轴承外套中空气腔里,且气浮轴承内套沿气浮轴承外套内侧壁作垂直方向运动;气浮轴承内套上端连接在气浮平台上;气浮轴承外套内侧壁上安装有喷嘴;气浮轴承外套内侧壁上设置有测量中空气腔压力的压力传感器;喷嘴和压力传感器位于气浮轴承内套与气浮轴承外套下端之间;它还包括气瓶、一级减压阀、二级减压阀、比例电磁阀、三级减压阀
- 自由度平台稳压装置方法
- [发明专利]一种精密气浮转台-CN202210251285.0在审
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陈淮阳;王冰冰
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合肥御微半导体技术有限公司
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2022-03-15
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2022-05-24
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B25H1/00
- 本发明涉及气浮转台技术领域,具体公开了一种精密气浮转台,该精密气浮转台包括安装座、驱动组件、气浮轴承转子和气浮轴承定子。其中,驱动组件螺接于安装座,气浮轴承转子连接于驱动组件的输出端;气浮轴承转子的端部设有转接盘,转接盘和气浮轴承转子围设成环形槽,转接盘设有第一通孔;气浮轴承定子螺接于安装座,气浮轴承定子设有正压组件和负压组件,正压组件包括至少一个正压入口,正压入口用于提供正压气体,正压气体在气浮轴承定子的上端面、下端面和位于气浮轴承转子周向的内表面产生气膜。上述设置,使得气浮轴承定子的上端面、下端面以及内侧面均能产生气膜,进而避免和气浮轴承转子发生摩擦,提高了气浮轴承转子的转动精度。
- 一种精密转台
- [实用新型]一种气浮静压轴承结构-CN202122766469.4有效
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吴全会;罗海林;顾大卫;施罗杰
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浙江工业大学
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2021-11-12
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2022-04-05
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F16C32/06
- 本实用新型公开了一种气浮静压轴承结构,包括箱体组件、轴承转子及轴承组件,所述轴承转子设置在箱体组件内部,所述轴承组件支撑在轴承转子与箱体组件之间的位置处;所述箱体组件包括第一轴承箱体及第二轴承箱体,所述第一轴承箱体与第二轴承箱体之间通过螺栓固定连接;所述轴承组件包括第一气浮轴承、第二气浮轴承及设置在第一气浮轴承与第二气浮轴承之间的气浮环,所述第一气浮轴承配合设置在第一轴承箱体内部,第二气浮轴承配合设置在第二轴承箱体内部。本实用新型采用一对锥形气浮轴承,两个锥形气浮轴承同时作用,支撑轴承转子悬浮旋转,并形成轴向和径向双向约束,保证静压转子旋转的平稳性。
- 一种静压轴承结构
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