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- [发明专利]等离子电镀-CN01818557.6无效
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陈祝平
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译民·托马斯·张
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2001-11-08
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2004-02-04
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C23C16/50
- 在阴极附近的电解液中形成气泡族团,形成方法有多种,包括电解法、沸腾法、气穴法、气液混合法和喷射法。本发明的方法还包括以下步骤,即,在阴极与阳极之间施加一电位差,使得气泡区域产生辉光放电,从而在气泡内形成电离气体分子的等离子体。然后该高能气态等离子体使材料沉积在物体表面形成薄膜。穿过气泡族团的大的电压降促使该区域产生辉光放电,导致待镀材料的分子的能量增加并发生电离。还公开了实施本方法的设备。
- 等离子电镀
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