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[发明专利]衬底处理装置及半导体器件的制造方法-CN201410432212.7有效
发明人：镰仓司;龟田贤治 -专利权人：株式会社日立国际电气
申请日： 2014-08-28 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种衬底处理装置及半导体器件的制造方法，即使在利用排气缓冲室进行气体排气的情况下，也能够充分且良好地进行对于该排气缓冲室内的清洁处理。构成了一种衬底处理装置，其具有处理空间，对载置在衬底载置面上的衬底进行处理；气体供给系统，从与衬底载置面相对的一侧向处理空间内供给气体；排气缓冲室，具有以包围处理空间的侧方外周的方式设置的空间，且以使被供给到处理空间内的气体流入空间内的方式构成；气体排气系统，对流入到排气缓冲室内的气体进行排气；清洁气体供给管，与构成排气缓冲室的空间连通且向排气缓冲室内供给清洁气体。
衬底处理装置半导体器件制造方法

[发明专利]等离子体反应机台-CN201210381362.0有效
发明人：杨总胜;王春盛;江舜彦 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2012-10-10 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种等离子体反应机台，包含：腔体、平台及缓冲组件。腔体具有容置空间；平台，设置于腔体内；缓冲组件，设置于腔体内且邻近平台的侧边，缓冲组件与平台共同将容置空间区隔为第一空间与第二空间，并且部分与侧边形成气体通道，气体通道由第一空间朝第二空间的方向呈渐扩状而连通第一空间与第二空间本发明以缓冲组件将腔体内的容置空间区隔为第一空间及第二空间，并以缓冲组件与平台的侧边界定出气体通道，其中，气体通道由第一空间朝第二空间的方向为渐扩状，使得气体易于由第二空间向第一空间流动，但却较难反向流动，因此，当空气反向流动时，工艺生成物堆积于缓冲组件的本体部处，而不会累积于平台上。
等离子体反应机台

[发明专利]充气包装盒及其制造方法-CN201110174368.6有效
发明人：张嘉盈;杨华正 -专利权人：上海艾尔贝包装科技发展有限公司
申请日： 2011-05-27 - 公布日： 2017-03-01 - 主分类号： B65D81/03 文献下载
摘要：一种充气包装盒，其包含一个气体缓冲层、位于其内部的一个容纳空间和位于其外部的一个外层。所述气体缓冲层上设有一组相对独立并相互平行连接的气体缓冲室和一个气体通路，所述气体通路与所述各气体缓冲室相互连通以向所述各气体缓冲室内填充气体。所述气体缓冲层具有一个与所述外层相互连接的封闭端和一个与所述容纳空间相互连通的开口端。所述外层具有一个可反复开合的开口，其邻近所述气体缓冲层的开口端，并通过所述开口端与所述容纳空间相互连通。
充气包装及其制造方法

[实用新型]充气包装盒-CN201120191665.7有效
发明人：张嘉盈;杨华正 -专利权人：上海艾尔贝包装科技发展有限公司
申请日： 2011-05-27 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： B65D81/17 文献下载
摘要：一种充气包装盒，其包含一个气体缓冲层、位于其内部的一个容纳空间和位于其外部的一个外层。所述气体缓冲层上设有一组相对独立并相互平行连接的气体缓冲室和一个气体通路，所述气体通路与所述各气体缓冲室相互连通以向所述各气体缓冲室内填充气体。所述气体缓冲层具有一个与所述外层相互连接的封闭端和一个与所述容纳空间相互连通的开口端。所述外层具有一个可反复开合的开口，其邻近所述气体缓冲层的开口端，并通过所述开口端与所述容纳空间相互连通。
充气包装

[实用新型]一种液封装置及储存装置-CN201822148471.3有效
发明人：毕振 -专利权人：福建中锦新材料有限公司
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： B65D90/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种液封装置以及储存装置，包含罐体、进气管和溢流管，还包含隔板，隔板顶端设置在罐体顶部且将罐体分隔为气体缓冲空间和液体调整空间，气体缓冲空间与液体调整空间下部通过连通口连通以使两空间内液体可相互流动，进气管与气体缓冲空间连通以使气体进入空间，溢流管与液体调整空间连通以使液体调整空间气压恒定。在与液封装置相连的储存装置内气压波动时，会引发液封装置内部两侧液位波动，阻止气体逸出，能有效节省气体耗用成本。
液体调整气体缓冲空间储存装置进气管溢流管罐体连通隔板恒定气体进入空间本实用新型隔板顶端罐体顶部空间连通空间气压气压波动液封装置液位波动连通口引发液逸出种液分隔流动

[发明专利]衬底处理装置及半导体器件的制造方法-CN201510350349.2有效
发明人：佐佐木隆史;山本哲夫 -专利权人：株式会社日立国际电气
申请日： 2015-06-23 - 公布日： 2018-08-07 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：即使在经由簇射头进行气体供给的情况下，也能充分且良好地对簇射头内及处理空间内的各空间进行清洁处理。一种衬底处理装置，其具有：处理空间，其对衬底进行处理；簇射头缓冲室，其隔着设置有贯通孔的分散板而与处理空间相邻；非活性气体供给系统，其向簇射头缓冲室内供给非活性气体；处理空间清洁气体供给系统，其向处理空间内供给清洁气体；控制部，其控制非活性气体供给系统及处理空间清洁气体供给系统，使得清洁气体向处理空间的供给和非活性气体向簇射头缓冲室的供给同时进行。
衬底处理装置半导体器件制造方法

[实用新型]缓冲装置及儿童座椅-CN202122667607.3有效
发明人：赵亚 -专利权人：上海宝糖科技有限公司
申请日： 2021-11-02 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： B60N2/28 文献下载
摘要：本公开是关于一种缓冲装置及儿童座椅。其中，缓冲装置包括软性壳体和由软性壳体围成的气体容纳空间。软性壳体设有至少一个通气口，通气口连通气体容纳空间和软性壳体的外部空间。通气口的通气参数与软性壳体受到外部作用力适配，以使气体容纳空间内的气体经通气口排出时形成与外部作用力匹配的缓冲力。使得缓冲装置在受到外部冲击力时，起到良好的缓冲的作用，避免儿童受伤。
缓冲装置儿童座椅

[发明专利]电气设备混合绝缘气体配制灌充系统-CN201810563548.5在审
发明人：刘伟;祁炯;颜湘莲;王宁华;王浩;刘子恩;朱峰;何洁 -专利权人：国网安徽省电力有限公司电力科学研究院;国家电网有限公司;中国电力科学研究院有限公司;国网上海市电力公司
申请日： 2018-06-04 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： F17D1/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种电气设备混合绝缘气体配制灌充系统，包括：至少两个气源，用于供应缓冲气体介质和绝缘气体介质；混合缓冲容器(5)，用于给来自至少两个气源的缓冲气体介质和绝缘气体介质提供混合空间，以实现混合绝缘气体的配制；流量计量/控制单元(4，9)，设置在混合缓冲容器(5)与至少两个气源之间的气体流路上，用于分别对各个气体流路的流量进行计量和控制；调温箱(6)，具有温度可调的内部容置空间，混合缓冲容器(5)设置在内部容置空间内；和灌充装置，与混合缓冲容器(5)连通，用于将混合缓冲容器(5)内的混合绝缘气体灌充到电气设备(16)内。本发明能够满足电气设备的混合绝缘气体的配制灌充要求。
缓冲容器绝缘气体电气设备灌充配制气源绝缘气体介质内部容置空间缓冲气体灌充装置混合空间流量计量气体流路温度可调调温箱气体流连通计量

[实用新型]电气设备混合绝缘气体配制灌充系统-CN201820853651.9有效
发明人：刘伟;祁炯;颜湘莲;王宁华;王浩;刘子恩;朱峰;何洁 -专利权人：国网安徽省电力有限公司电力科学研究院;国家电网有限公司;中国电力科学研究院有限公司;国网上海市电力公司
申请日： 2018-06-04 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： F17D1/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种电气设备混合绝缘气体配制灌充系统，包括：至少两个气源，用于供应缓冲气体介质和绝缘气体介质；混合缓冲容器(5)，用于给来自至少两个气源的缓冲气体介质和绝缘气体介质提供混合空间，以实现混合绝缘气体的配制；流量计量控制单元(4，9)，设置在混合缓冲容器(5)与至少两个气源之间的气体流路上，用于分别对各个气体流路的流量进行计量和控制；调温箱(6)，具有温度可调的内部容置空间，混合缓冲容器(5)设置在内部容置空间内；和灌充装置，与混合缓冲容器(5)连通，用于将混合缓冲容器(5)内的混合绝缘气体灌充到电气设备(16)内。本实用新型能够满足电气设备的混合绝缘气体的配制灌充要求。
缓冲容器绝缘气体电气设备灌充配制气源绝缘气体介质内部容置空间本实用新型缓冲气体灌充装置混合空间流量计量气体流路温度可调调温箱气体流连通计量

[发明专利]缓冲单元以及用该缓冲单元处理基板的装置和方法-CN201910783898.7有效
发明人：孙德铉 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2019-08-23 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：用于储存基板的缓冲单元包括：壳体，其内部具有缓冲空间；基板支撑单元，其在缓冲空间中支撑一个或多个基板；压力调节单元，其调节缓冲空间中的压力；和控制器，其控制压力调节单元。压力调节单元包括：供气管线，其供应气体以用于对缓冲空间进行加压；和排气管线，其降低缓冲空间内的压力。控制器控制压力调节单元以将缓冲空间保持在填充模式和排气模式中所选择的一种模式下，在填充模式下缓冲空间被填充气体，在排气模式下缓冲空间被抽空。
缓冲单元以及处理装置方法

[实用新型]空气过滤器及其组件-CN201821491879.4有效
发明人：黄伟峰;林中一 -专利权人：善德生化科技股份有限公司
申请日： 2018-09-12 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： B01D46/00 文献下载
摘要：本实用新型揭露一种空气过滤器及其组件，该空气过滤器包含至少一滤纸、一第一外壳组供滤纸置放、以及一第二外壳组包覆于该第一外壳组之外供使用者较易抓握使用，该空气过滤器组件为一缓冲装置与该空气过滤器相连，其具有一留液槽、一缓冲空间设于该留液槽内、一进流管供液体或气体进入该缓冲空间、以及一出流管供缓冲空间内的气体离开缓冲空间并进入该空气过滤器。藉此，手术烟雾可先通过该缓冲装置，令血水或体液残留在该缓冲空间内，剩下的气体再进入该空气过滤器进行过滤而排出无害气体，提升手术质量和照护医疗人员的健康。
空气过滤器缓冲空间外壳组缓冲装置留液槽滤纸空气过滤器组件本实用新型气体离开无害气体体液出流管供液体进流管血水包覆排出置放抓握过滤烟雾残留医疗健康

[实用新型]缓冲包装装置及包装组件-CN202021831343.X有效
发明人：张荣德;张嘉盈 -专利权人：上海艾尔贝包装科技发展有限公司
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： B65D81/05 文献下载
摘要：本实用新型主要提供一种缓冲包装装置和包装组件，用于包装至少一待包装物品，所述缓冲包装装置包括至少一支撑充气体和一限位充气体，所述支撑充气体和所述限位充气体相互叠合形成至少一容纳空间，所述待包装物品被置于所述容纳空间，其中所述容纳空间的周围分别包括多层缓冲结构以提供对所述待包装物品的多重缓冲保护并实现对所述待包装物品的隔离，其中所述容纳空间至少包括一第一容纳空间、一第二容纳空间、一第三容纳空间以及一第四容纳空间，其中所述待包装物品分别被放置于所述第一容纳空间、所述第二容纳空间、所述第三容纳空间以及所述第四容纳空间以形成彼此隔离。
缓冲包装装置组件

[发明专利]缓冲包装装置及包装盒-CN202010878830.X在审
发明人：张荣德;张嘉盈 -专利权人：上海艾尔贝包装科技发展有限公司
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： B65D81/05 文献下载
摘要：本发明主要提供一种缓冲包装装置，用于包装至少一待包装物品，所述缓冲包装装置包括至少一支撑充气体和一限位充气体，所述支撑充气体和所述限位充气体相互叠合形成至少一容纳空间，所述待包装物品被置于所述容纳空间，其中所述容纳空间的周围分别包括多层缓冲结构以提供对所述待包装物品的多重缓冲保护并实现对所述待包装物品的隔离。
缓冲包装装置

[发明专利]充气包装盒及其制造方法-CN201610986469.6在审
发明人：张嘉盈 -专利权人：上海艾尔贝包装科技发展有限公司
申请日： 2011-05-27 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： B65D81/05 文献下载
摘要：一种充气包装盒，其包括气体缓冲层、位于其内部的一个容纳空间和位于其外部的外层，其中所述气体缓冲层充气后形成充气包装袋，所述容纳空间形成于所述充气包装袋内以用于容纳待包装物品，所述气体缓冲层与所述外层相连接，并且具有与所述容纳空间相互连通的开口端，所述外层具有一个可反复开合的开口，其邻近所述气体缓冲层的开口端，并通过所述开口端与所述容纳空间相互连通。
充气包装及其制造方法

[实用新型]一种匹配异步设备的物料缓冲系统-CN200820175288.6有效
发明人：梁可 -专利权人：梁可
申请日： 2008-11-19 - 公布日： 2009-09-09 - 主分类号： B65B37/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种匹配异步设备的物料缓冲系统，包括：在物料输出设备和物料输入设备之间的缓冲缸，物料输出设备的输出口安装有止回阀，缓冲缸内具有活塞，活塞将缓冲缸分为两个密封空间，一个空间存储惰性气体，一个空间存储物料输入设备和物料输出设备之间的流量差产生的物料，活塞在流量差的物料压力下或惰性气体压力下在缓冲缸内移动，缓冲缸存储惰性气体空间的外壁还连接压力表，缓冲缸存储惰性气体空间的外壁还连接气体阀门，所述物料输出设备为静态混合机，所述物料输入设备为自动硬管包装机和
一种匹配异步设备物料缓冲系统

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