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[发明专利]为原子层沉积（ALD）工艺供应前体的系统和方法-CN201410047902.0有效
发明人：谢博全;黄建国;黄泰钧;许光源;李资良 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2014-02-11 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：气体供给部将一种或多种前体材料提供给沉积室。沉积室通过输入管线接收一种或多种前体材料。气体循环系统连接至沉积室的输出管线。气体循环系统包括气体成分检测系统，该气体成分检测系统被配置为产生表示通过输出管线离开沉积室的气体的成分的输出信号。气体循环系统也包括循环管线，该循环管线被配置为将离开沉积室的气体传输至输入管线。控制器连接至气体供给部。该控制器基于气体成分检测系统的输出信号控制气体供给部的一种或多种前体材料的供给。
原子沉积 ald 工艺供应系统方法

[发明专利]使供氢系统的高压管线最小化的燃料电池系统及控制方法-CN201711192934.X有效
发明人：金昌浩;沈志炫 -专利权人：现代自动车株式会社;起亚自动车株式会社
申请日： 2017-11-24 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： F17D1/04 文献下载
摘要：本发明公开一种使供氢系统的高压管线最小化的燃料电池系统，该系统包括在充气站和通过充气站充气的高压容器之间形成的充气管线，以及在高压容器和电池堆之间形成的气体供应管线，该系统包括：调节器，设置在气体供应管线中；电磁阀，设置在调节器和高压容器之间的气体供应管线中以及止回阀，设置在连接调节器和电磁阀之间的气体供应管线的一点和充气管线的一点的旁路管线中。
使供氢系统高压管线最小化燃料电池控制方法

[实用新型]取样装置-CN201820359628.4有效
发明人：赵长虎;陈新伟;贺岁锋;李海光;孙孝博 -专利权人：中国石油天然气股份有限公司
申请日： 2018-03-16 - 公布日： 2018-11-09 - 主分类号： G01N1/10 文献下载
摘要：本实用新型提供一种取样装置，包括气液分离装置、气体取样容器以及液体取样容器；气液分离装置包括中间容器，中间容器形成有密闭的容纳腔，且中间容器上设置有与容纳腔连通第一管线、第二管线以及第三管线；第一管线用于与采油树连通，第二管线与液体取样容器连通，第三管线与气体取样容器连通；且第三管线与中间容器的连接处沿垂向的高度高于第二管线与中间容器的连接处的高度；第一管线、第二管线以及第三管线上分别设置有第一阀门、第二阀门以及第三阀门本实用新型提供的取样容器，取样时，含有大量气体的油液可以在中间容器进行分离，气体可以进入气体取样容器，油液可以进入液体取样容器，可同时采集油液及气体样本，从而提高了取样效率。
中间容器气体取样容器液体取样容器连通阀门油液气液分离装置本实用新型取样装置容纳腔气体样本取样容器取样效率采油树垂向密闭取样采集

[发明专利]用于测量气体管线内气体中硫元素的等级的方法-CN200810146179.6有效
发明人： I·阿尔－泰;A·A·阿尔－马塔米;H·M·阿尔－穆泰里 -专利权人：沙特阿拉伯石油公司;阿拉姆科服务公司
申请日： 2004-10-04 - 公布日： 2009-02-04 - 主分类号： G01N1/22 文献下载
摘要：一种用于测量气体管线内气体中硫元素的等级的方法。该方法包括以下步骤：采集来自该气体管线的含硫元素气体的样品，其中当该气体管线可操作时，通过将该气体管线内的至少一些该含硫元素气体凝结在探针的表面上，将该样品采集到该探针的外表面上，该探针可移开地放置到来自该气体管线的气体流内当与先前建议的方法相比时，本发明的用于测量在气体管线内气体中存在的硫元素的等级的方法具有以下优点：提供硫元素的精确测量，能够区别游离的硫元素和其它含硫化学剂中的硫，并且对于在加工工厂应用，尤其是加压气体管线中使用是实用且有效的
用于测量气体管线元素等级方法

[发明专利]利用工艺气体直接再循环管线的直接还原系统和方法-CN201880094237.7有效
发明人：格雷戈里·达雷尔·休斯;道下晴康 -专利权人：米德雷克斯技术公司
申请日： 2018-07-03 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： C21B13/00 文献下载
摘要：用于将金属氧化物还原为金属的直接还原系统和方法，其包括并且利用：被配置成将工艺气体的一部分输送到重整器的工艺气体管线，该重整器可操作用于重整工艺气体以形成重整气体；被配置成将重整气体作为环形风管气体输送到竖炉的环形风管气体管线，其中竖炉可操作用于将金属氧化物还原为金属；以及包括直接再循环冷却器的直接再循环管线，该直接再循环管线被配置成在绕过重整器的同时选择性地将工艺气体的一部分输送到环形风管气体管线，从而选择性地将输送到竖炉的环形风管气体冷却并且降低其水分含量任选地，所述直接还原系统还包括再热管线，该再热管线被配置成将环形风管气体的一部分作为再热气体输送到竖炉。
利用工艺气体直接再循环管线还原系统方法

[发明专利]衬底处理装置及制造半导体器件的方法-CN201810214417.6有效
发明人：朴金锡;金善政;金利桓 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2018-03-15 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开一种衬底处理装置以及一种制造半导体器件的方法，所述衬底处理装置包括：晶片夹盘，在晶片夹盘上放置有衬底；注入器单元，位于晶片夹盘的一侧并注入工艺气体，所述工艺气体包括第一气体及第二气体；以及气体供应单元，向注入器单元供应工艺气体。气体供应单元包括：第一气体供应源及第二气体供应源，分别容纳第一气体及第二气体；第一气体供应管线及第二气体供应管线，分别将第一气体供应源及第二气体供应源连接到注入器单元；以及第一加热单元及第二加热单元，分别设置在第一气体供应管线及第二气体供应管线上设置在第一气体供应管线上的第一加热单元的每单位长度上的密度比设置在第二气体供应管线上的第二加热单元的每单位长度上的密度大。
衬底处理装置制造半导体器件方法

[发明专利]液化气罐装置和操作液化气罐装置的方法-CN201780089031.0有效
发明人： E·德尔索;L·博阿洛 -专利权人：瓦锡兰芬兰有限公司
申请日： 2017-03-08 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： F17C9/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种包括液化气罐(12)的液化气罐装置(10)，其中所述罐(12)中的气体在所述罐(12)中形成液相部分(12.1)和气相部分(12.2)，所述装置包括：主供应管线(14)，其被构造成将气体供给至气体消耗器(16)；辅助容器(22)，其设置有加热装置(24)，该加热装置被构造成将热传递到所述辅助容器(22)中；第一气体管线(26)，其将所述罐(12)的所述气相部分(12.2)和所述辅助容器(22)连接，所述第一气体管线(26)包括第一阀(28)；第二气体管线(30)，其将所述辅助容器(22)和所述主供应管线(14)连接，第二气体管线(30)包括第二阀(32)；以及第三气体管线(34)，其将所述罐(12)中的所述液相部分(12.1)和所述辅助容器(22)连接，所述第三气体管线(34)包括第三阀(36)。
液化气罐装操作方法

[实用新型]一种油气集输设备中气体的自动排放和回收装置-CN202122876241.0有效
发明人：刘化光;杨兆辉;张涛;乔小刚;刘聪;程强;郝晓惠;王培琛;杜红红 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司胜利油田分公司海洋采油厂
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： B01D50/20 文献下载
摘要：本实用新型公开的是一种油气集输设备中气体的自动排放和回收装置，本装置设有过滤器和排气阀门，过滤器中装有滤网，安装在过滤器底部的排气阀门与集输设备放气管线连接；过滤器顶部的过滤器压盖中的排气孔与气体回收管线连接，气体回收管线中装有气体回收阀门，气体回收管线与气体外输流程管线连接；过滤器的底部装有污液回收管线和污液放空阀门，污液回收管线的出口能够延伸至污液回收容器中；排气阀门中设有排气阀体和浮球，浮球安装在排气阀体的阀体流道中，气体通过阀体流道经过滤器密闭排出，所排出的气体由集输设备中流体自身的压力自动排至气体外输流程管线中。
一种油气设备气体自动排放回收装置

[发明专利]包括气体检测器的气相反应器系统-CN202010488388.X在审
发明人：金成培;权学龙;金英民;金基康;李承桓 -专利权人： ASMIP私人控股有限公司
申请日： 2020-06-02 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： G01M3/26 文献下载
摘要：示例性系统包括：第一排气系统，所述第一排气系统经由第一排气管线联接到反应腔室；旁路管线，所述旁路管线联接到气体供应单元且联接到第一排气系统；气体检测器，所述气体检测器经由连接管线联接到旁路管线；连接管线阀，所述连接管线阀联接到连接管线；以及第二排气系统，所述第二排气系统联接到连接管线。方法包括使用第二排气系统来使连接管线排气，从而去除原本可能会影响气体检测器的准确度的连接管线中的残余气体。
包括气体检测器相反系统

[发明专利]包括分析排出气体的使用气相反应器系统的方法-CN202010488617.8有效
发明人：金成培;权学龙;金英民;金基康;李承桓 -专利权人： ASMIP私人控股有限公司
申请日： 2020-06-02 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G01M3/26 文献下载
摘要：示例性系统包括：第一排气系统，所述第一排气系统经由第一排气管线联接到反应腔室；旁路管线，所述旁路管线联接到气体供应单元且联接到第一排气系统；气体检测器，所述气体检测器经由连接管线联接到旁路管线；连接管线阀，所述连接管线阀联接到连接管线；以及第二排气系统，所述第二排气系统联接到连接管线。方法包括使用第二排气系统来使连接管线排气，从而去除原本可能会影响气体检测器的准确度的连接管线中的残余气体。
包括分析排出气体使用相反系统方法

[发明专利]燃料减氧单元-CN202210430248.6在审
发明人：凯文·爱德华·辛德利特 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： F02C7/22 文献下载
摘要：燃料减氧单元包括：用于提供汽提气体流的汽提气体供应管线；接触器，其限定液体燃料入口、汽提气体入口和燃料/气体混合物出口，汽提气体供应管线与汽提气体入口气流连通；用于调节通过汽提气体供应管线的汽提气体流的装置；和控制器，其可与用于调节通过汽提气体供应管线的汽提气体流的装置一起操作，以响应于发动机可操作性参数，调节通过汽提气体供应管线的汽提气体流。
燃料单元

[发明专利]用于高压和低压气体消耗设备的气体供应系统-CN202280009865.7在审
发明人： B·奥恩;R·纳尔梅;J-L·苏厄兹;A·迪乌夫 -专利权人：气体运输技术公司
申请日： 2022-01-14 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： F25J1/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种气体供应系统(1)，用于浮式结构的高压气体消耗设备(4)和低压气体消耗设备(5)，该供应系统(1)包括：用于向高压气体消耗设备(4)供应气体的第一供应回路(2)和用于向低压气体消耗设备(5)供应气体的第二供应回路(3)；气体返回管线(14)；第一热交换器(6)和第二热交换器(7)，在第一供应回路(2)的气体和在返回管线(14)中流通的气体之间执行热交换，其特征在于，第一供应回路(2)包括主管线(40)和用于绕过主管线(40)的部分(50)的管线(41)。
用于高压低压气体消耗设备供应系统

[发明专利]等离子处理装置以及等离子处理方法-CN202080004559.5在审
发明人：田代骏介;植村崇;于盛楠;园田靖;佐藤清彦;长谷征洋 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2020-04-03 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：为了提供提高了成品率的等离子处理装置或者等离子处理方法，具备：配置在真空容器内部且在内侧配置处理对象的晶片的处理室；与所述真空容器连结且与所述处理室连通、并向该处理室内供给具有附着性的处理用气体的处理气体供给管线；以及将与排气泵连接并与所述处理室连通的处理室排气管线和所述气体供给管线连结而将它们连通的所述处理用气体的气体排气管线，进行如下工序：在对所述晶片进行蚀刻的1个处理工序与下一个该处理工序彼此之间，在停止向所述处理室供给所述处理用气体的状态下经由所述气体排气管线以及所述处理室排气管线将所述气体供给管线内的所述处理用气体排气
等离子处理装置以及方法

[实用新型]一种储油罐机械自动清洗系统-CN201520923311.5有效
发明人：王筱;程润哲;马秀斌;程钰 -专利权人：黄河裕泰（宁夏）环保科技有限公司
申请日： 2015-11-19 - 公布日： 2016-06-08 - 主分类号： B08B9/093 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种储油罐机械自动清洗系统，包括油罐、循环控制模块、临界罐、油水分离罐和软水池，所述油罐的上部设有高压喷头、气体管线和气体检测管线，高压喷头通过清洗管线连接至循环控制模块，气体管线连接至非助燃气体或蒸汽管线，非助燃气体或蒸汽管与软水箱相连接，气体检测管线与循环控制模块相连接，排泥管线与循环控制模块相连接，临界罐通过油供给管线与循环控制模块相连接，油回收管线分别与循环控制模块和油水分离罐相连接，通过机械清洗系统实现罐底的原油移送
一种储油罐机械自动清洗系统

[发明专利]一种半导体废气处理装置及处理方法-CN202110256920.X有效
发明人：杨春涛;杨春水;张坤;蔡传涛;席涛涛;宁腾飞;王继飞;闫潇;章文军;陈彦岗 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2021-03-09 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体废气处理装置及处理方法，半导体废气处理装置包括废气处理装置、可燃气体输送管线、氧气输送管线和制程废气输送管线，可燃气体输送管线与燃烧器连通，可燃气体输送管线上设置有第一质量流量控制器；氧气输送管线与燃烧器连通，氧气输送管线设置有第二质量流量控制器；制程废气输送管线与废气处理装置的进气口连通，制程废气输送管线设置有第一气体分析仪。通过第一气体分析仪分析制程废气的成分，并根据流量和初始温度计算处理制程废气所需可燃气体和氧气的使用量，通过第一质量流量控制器和第二质量流量控制器分别精准控制可燃气体和氧气的流量，确保制程废气充分燃烧，提高废气处理装置的处理效率
一种半导体废气处理装置方法