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- [发明专利]蚀刻液净化装置-CN201010103064.6无效
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李泽清
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竞陆电子(昆山)有限公司
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2010-01-28
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2011-08-03
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C02F1/28
- 本发明公开了一种蚀刻液净化装置,包括泵、过滤机和储存筒,本发明在蚀刻槽内放置了吸油棉,可以有效去除蚀刻槽内产生的油渍,过滤机中采用活性炭滤芯,并在储存筒和过滤机间循环母液使母液得到反复多次的活性炭处理,不仅可以去除母液中看得见的杂质,避免此类较大的杂质堵塞喷嘴,也能降低母液的色度和浊度,还能去除母液中看不见的有机物等杂质,改善微短,大大降低了母液中各种污染物的含量,提高了母液的活性,延长了母液的使用寿命,母液经过本发明处理后可多次循环使用,进而减少了废蚀刻液的排放和子液的使用。
- 蚀刻净化装置
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