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[发明专利]具有多源系统和多射束粒子显微镜的粒子束系统-CN202180041139.9在审
发明人： D.蔡德勒;H.弗里茨;I.米勒 -专利权人：卡尔蔡司MULTISEM有限责任公司
申请日： 2021-05-17 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01J37/073 文献下载
摘要：本发明揭露一种具多源系统的粒子束系统。该多源系统包含电子发射器阵列，其作为一粒子多源。在此多源系统中，各种发射器的非均质发射特性借助于粒子光学部件(其可藉助MEMS技术生产)，为了后续粒子光学成像而校正或预校正。个别粒子束的射束电流可在该多源系统中调整。
具有系统多射束粒子显微镜粒子束

[发明专利]一种扫描聚焦系统及电子束控制方法-CN201710128987.9在审
发明人：李帅;何伟;王鹏 -专利权人：聚束科技（北京）有限公司
申请日： 2017-03-06 - 公布日： 2017-07-04 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种扫描聚焦系统，其特征在于，所述系统包括电子源、电子加速结构、聚焦结构、偏转结构、电子减速结构和高压控制结构；其中，所述电子源，用于产生电子束；所述电子加速结构，用于对所述电子源产生的电子束进行加速；所述聚焦结构，用于对加速后的电子束进行聚焦；所述偏转结构，用于对聚焦后的电子束进行偏转扫描；所述电子减速结构，用于产生一减速场，对经偏转扫描后的电子束进行减速；所述高压控制结构，用于控制所述电子源、所述电子加速结构和所述电子减速结构的电压本发明还公开了一种电子束控制方法。
一种扫描聚焦系统电子束控制方法

[发明专利]光学精密测量装置和方法-CN200580014848.9无效
发明人： W·D·V·阿姆斯特;N·A·J·V·D·比克;S·M·B·鲍梅 -专利权人：皇家飞利浦电子股份有限公司
申请日： 2005-05-06 - 公布日： 2007-04-18 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：在该方法中，光探针设置在相对于元件的一个位置(120)且源束被定向到元件(122)。偏移(124)被检测并被存储在元件特征数据集中(126)。该装置包括提供源束(38)的光探针(24)，可操作地围绕θ轴旋转光探针(24)的探针台(22)，可操作地围绕φ轴旋转元件(28)的元件台(26)，和位置灵敏探测器。探针台(22)定向源束(38)到元件(28)，源束(38)从元件(28)产生结果束，且位置灵敏探测器检测该结果束。
光学精密测量装置方法

[发明专利]用于检测电子束源丝磨损的方法和设备-CN201880072357.7在审
发明人：卡列·赫勒斯塔姆;马蒂亚斯·法杰 -专利权人：阿尔卡姆公司
申请日： 2018-10-18 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： H01J37/304 文献下载
摘要：一种用于检测电子束源中的电子束丝磨损的方法，该方法包括以下步骤：将工作台上电子束源发出的束斑扩大到预定最小尺寸；通过相机捕获工作台上的束斑的图像；将束斑的捕获图像与参考图像进行比较；如果捕获图像与参考图像偏离大于预定值
用于检测电子束磨损方法设备

[发明专利]束阻挡件和束调整方法-CN200680028482.5有效
发明人： J·范德波特;Y·Z·黄 -专利权人：艾克塞利斯技术公司
申请日： 2006-06-02 - 公布日： 2008-08-06 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本发明提供离子源、终点站、以及设置在离子源与终点站之间的质量分析器，其中由离子源形成离子束，且根据射束阻挡组件的位置，选择性地经由质量分析器将离子束传送至终点站。该射束阻挡组件选择性地防止离子束进入和/或射出质量分析器，因此将转换期间例如离子注入系统开机期间与不稳定离子源有关的污染最小化。
阻挡调整方法

[发明专利]通过中性流束的碰撞产生超紫外线的光源-CN01809937.8无效
发明人：马尔科姆·W·麦杰奥奇 -专利权人：普莱克斯有限责任公司
申请日： 2001-05-17 - 公布日： 2003-07-16 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：本文涉及光子源，光子源包括放射室、处于放射室中的多个离子束源以及中和机制。每个离子束源通过静电作用对流向等离子放射区域的工作气体离子束进行加速。中和机制在工作气体离子束进入等离子放射区域之前至少部分将其中和。中和后的离子束进入等离子放射区，并且形成辐射出光子的热等离子体。辐射出的光子可以是软性X射线，或者是超紫外线波长范围内的光线。
通过中性碰撞产生紫外线光源

[发明专利]粒子治疗闭环反馈逐斑点射束电流控制系统和方法-CN202310025886.4在审
发明人： J·斯特勒;M·谢德勒 -专利权人：瓦里安医疗系统粒子治疗有限公司
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： A61N5/10 文献下载
摘要：本公开涉及粒子治疗闭环反馈逐斑点射束电流控制系统和方法。用于粒子治疗递送系统中的闭环反馈射束控制的技术可以包括：接收处理计划射束参数，接收当前斑点的所确定的输出射束电流，基于处理计划射束参数和当前斑点的所确定的输出射束电流来生成经调整的源射束电流设置点，以及基于经调整的源射束电流来调整当前斑点的输出射束电流
粒子治疗闭环反馈斑点电流控制系统方法

[发明专利]特殊核材料检测装置-CN201911390361.0在审
发明人：郑玉来;王强;王国宝;李永;刘超;郭凤美;田利军;田星皓;颜静儒;郭靓 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： G01V5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种特殊核材料检测装置，该特殊核材料检测装置包括：电子束源，其用于发射电子束；重金属靶，其沿着电子束源所发射的电子束的传输方向设置在电子束源的下游，用于接收来自电子束源的电子束流并产生第一粒子束流；光中子转换靶，其与重金属靶相邻地设置，用于接收来自重金属靶的第一粒子束流并产生第二粒子束流；以及粒子检测单元，其用于检测第一粒子束流以及由光中子转换靶发出的第二粒子束流照射特殊核材料后所产生的第三粒子束流；其中，在光中子转换靶中设置有第一粒子束流准直通道，第一粒子束流能够穿过第一粒子束流准直通道而射出。
特殊材料检测装置

[实用新型]特殊核材料检测装置-CN201922420026.2有效
发明人：郑玉来;王强;王国宝;李永;刘超;郭凤美;田利军;田星皓;颜静儒;郭靓 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： G01V5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种特殊核材料检测装置，该特殊核材料检测装置包括：电子束源，其用于发射电子束；重金属靶，其沿着电子束源所发射的电子束的传输方向设置在电子束源的下游，用于接收来自电子束源的电子束流并产生第一粒子束流；光中子转换靶，其与重金属靶相邻地设置，用于接收来自重金属靶的第一粒子束流并产生第二粒子束流；以及粒子检测单元，其用于检测第一粒子束流以及由光中子转换靶发出的第二粒子束流照射特殊核材料后所产生的第三粒子束流；其中，在光中子转换靶中设置有第一粒子束流准直通道，第一粒子束流能够穿过第一粒子束流准直通道而射出。
特殊材料检测装置

[发明专利]带电粒子束系统及操作带电粒子束系统的方法-CN201410323346.5有效
发明人： J.A.诺特四世;M.D.迪马纳;R.希尔;R.康纳斯;A.格罗霍尔斯基 -专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请日： 2014-07-08 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本公开涉及一种带电粒子束系统及操作带电粒子束系统的方法。该带电粒子束系统括带电粒子束源、带电粒子柱、样品室、布置在带电粒子柱、带电粒子束源和样品室之一内或之一处的多个电动装置、以及将AC电压转换为DC电压的至少一个第一转换器。第一转换器定位成与带电粒子束源、带电粒子柱和所述带电粒子室中任一个相距一距离，多个电动装置的所有元件构造成在带电粒子束源运行期间运行时仅由转换器提供的DC电压供能。
带电粒子束系统带电粒子束带电粒子转换器电动装置样品室源运行运行时供能相距转换

[发明专利]一种恒张力送线器-CN201810205640.4有效
发明人：司向良 -专利权人：江苏博之旺自动化设备有限公司
申请日： 2018-03-13 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： B65H59/38 文献下载
摘要：本发明涉及线束加工技术领域，尤其涉及一种恒张力送线器，包括：支撑结构，用于对为线束提供传送动力的动力源进行支撑；入线端，用于对进入动力源的线束进行支撑和传送，且对此段线束的张力进行感知；出线端，用于对自动力源送出的线束进行支撑和传送，且对此段线束的张力进行感知；以及，控制系统，控制系统用于根据入线端和出线端所感知的张力对动力源进行控制。通过本发明中的技术方案，在入线端和出线端对张力进行综合且及时有效的控制，防止了打滑现象的发生，从而保证了线束在各个工位的加工精度。
动力源线束出线端入线端感知控制系统传送送线器段线支撑打滑现象线束加工支撑结构工位送出加工保证

[实用新型]一种分子束外延中带安全抽气装置的可快速换源的磷炉-CN201820504285.6有效
发明人：蒋建 -专利权人：新磊半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2018-04-10 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： H01L21/203 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种分子束外延中带安全抽气装置的可快速换源的磷炉，磷炉主体通过一根金属管路与分子束外延生长室相连，用于把磷炉主体内的磷束源引入分子束外延生长室，金属管路中装有针阀用以调节磷束流的大小。当磷炉主体需要重新装载红磷束源材料时，同时打开第一真空角阀和第二真空角阀给磷炉放气，使磷炉暴露大气。装载束源材料之后，磷炉抽气完毕同时关闭两个角阀，确保阀门关闭后没有泄漏，同时保证磷炉长期使用不产生泄漏。
磷炉分子束外延真空角阀束源安全抽气金属管路生长室泄漏本实用新型阀门关闭重新装载抽气串接放气红磷角阀束流针阀装载暴露引入保证

[实用新型]一种提升亮度的泵浦信号合束系统及激光放大器-CN202221299629.7有效
发明人：姚天甫;范晨晨;李阳;叶俊;张扬;马小雅;郝修路;冷进勇;肖虎;黄良金;许将明;刘伟;周朴 -专利权人：中国人民解放军国防科技大学
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： H01S3/067 文献下载
摘要：本实用新型提出一种提升亮度的泵浦信号合束系统及激光放大器，所述泵浦信号合束系统包括多波长泵浦源阵列，种子源，体光栅，所述的多波长泵浦源阵列和种子源通过体光栅进行合束，利用体光栅将多个光束耦合成一个光束，将所述泵浦信号合束系统应用于激光放大器中，利用体光栅实现种子光源和泵浦光源的合束与耦合，能够解决在使用半导体激光器泵浦时，由于泵浦亮度过低导致泵浦光在合束器中产生泄露，进一步导致合束器发热，功率损耗大等问题
一种提升亮度信号系统激光放大器

[发明专利]使用两种控制模式控制用于形成三维制品的添加制造方法-CN201480068080.2有效
发明人：丹尼尔·约纳松 -专利权人：阿卡姆股份公司
申请日： 2014-12-12 - 公布日： 2018-10-26 - 主分类号： B29C64/153 文献下载
摘要：一种用于通过连续沉积粉末材料(5)的被融合在一起以形成制品的各个层来形成三维制品(3)的方法，所述方法包括以下步骤：提供发射电子束的至少一个电子束源(6)，用于加热和/或融合所述粉末材料。在所述三维制品的所述形成在第一处理步骤中时，在第一模式中控制所述电子束源。在所述三维制品的所述形成在第二处理步骤中时，在第二模式中控制所述电子束源，其中，在所述第一模式中，以前馈模式控制来自所述电子束源的电子束电流，并且在所述第二模式中，以反馈模式控制所述电子束电流。
使用控制模式用于形成三维制品添加制造方法

[发明专利]用两个或更多个射频源照射组织的质子直线加速器系统-CN201910340053.0在审
发明人： J·L·纳瓦罗·奎兰特;Y·伊万尼森科 -专利权人：先进肿瘤治疗公开有限公司
申请日： 2019-04-25 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： A61N5/10 文献下载
摘要：本发明提供一种质子直线加速器系统，用于利用改进的束能量控制来照射组织，质子直线加速器系统配置成在质子束操作循环的接通时间期间从第一射频能量源提供射频能量以改变质子束的能量，并且在质子束操作循环的断开时间期间从第二不同的射频能量源提供射频能量每个射频源独立操作，允许更高的射频脉冲速率到达腔，支持质子束能量脉冲之间的较短时间。另外，对第二射频能量源的峰值功率要求通常可以小于对第二射频能量源的峰值功率要求，允许将成本较低的类型用于第二源。使用第一和第二射频源可以将腔稳定时间从几分钟减少到小于10秒。
射频能量源质子束质子直线加速器射频源峰值功率要求操作循环射频能量照射独立操作能量控制能量脉冲射频脉冲系统配置断开接通改进