“束源”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果728205个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]泛射柱、带电粒子工具以及用于对样品的带电粒子泛射的方法-CN202180024634.9在审
发明人： J·范索伊斯特;G·S·M·贝格隆德;R·W·J·M·黄·芬恩·钟;D·马丁内斯·内格雷特·加斯奎;L·迪努·古特勒 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：一种用于将带电粒子多射束投射到样品的带电粒子设备，该设备包括：被配置为生成朝向样品的初级束的初级柱、以及用于对样品的带电粒子泛射的泛射柱。泛射柱包括：带电粒子源(301)，被配置为沿着束路径发射带电粒子束；源透镜(310)，被布置在带电粒子源的下游；聚束透镜(320)，被布置在源透镜的下游；以及孔径体(350)，被布置在聚束透镜的下游，其中孔径体用于使带电粒子束的部分通过；并且其中源透镜是可控制的以便可变地设置带电粒子束在源透镜下游的束角。
泛射柱带电粒子工具以及用于样品方法

[发明专利]多源照射装置-CN202080082809.7在审
发明人： S·W·H·K·斯蒂恩布林克;M·J-J·维兰德;A·V·G·曼格努斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-11-19 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本文中公开了一种用于使用带电粒子照射样品的多源照射装置，该装置包括多个源(401)，该多个源各自被布置为发射带电粒子射束；聚光透镜(403)，该聚光透镜被布置为从多个源接收射束；以及操纵器阵列布置(404射束被布置为使得：在聚光透镜的平面处，来自至少一个源的射束与来自多个源中的不同的一个源的另一射束的至少一部分相交。聚光透镜被配置为分开地大致准直从每个源接收的射束。操纵器阵列布置被配置为操纵已经被聚光透镜大致准直的射束，从而以单列的形式生成包括来自多个源的带电粒子的一个或多个射束。操纵器阵列布置包括偏转器阵列(404)和多射束生成器(405)，偏转器阵列被布置为偏转已经被所述聚光透镜大致准直的所述射束，从而生成包括来自多个源的带电粒子的多个大致平行的经大致准直的射束，其中多射束生成器被配置为：接收由偏转器阵列生成的多个大致平行的经大致准直的射束；以及依据所接收的多个大致平行的经大致准直的射束，生成多射束，其中多射束包括多个经大致准直的子射束。
照射装置

[发明专利]束源炉水冷器及束源设备-CN202210392212.3有效
发明人：尹晟皓 -专利权人：中科艾科米（北京）科技有限公司
申请日： 2022-04-14 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： C30B23/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种束源炉水冷器及束源设备，涉及束源设备技术领域。该束源炉水冷器包括水冷壳体、转子安装座以及通水转子，水冷壳体内部具有冷却腔；转子安装座设置于冷却腔上端部的内部且其与冷却腔的腔壁之间具有通水间隙，转子安装座中空，且其靠近冷却腔上端部的一侧为敞开结构并形成的敞口该束源设备应用上述的束源炉水冷器。基于本发明的技术方案，该束源炉水冷器减小了在其上端部形成的无水腔体，从而减小了束源炉内部温度过高的面积。
束源炉水冷设备

[发明专利]原位测量源炉中源材料质量的方法-CN200810035437.3有效
发明人：龚谦;王海龙 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2008-04-01 - 公布日： 2008-11-26 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种分子束外延(MBE)技术中原位测量束源炉中源材料质量的便捷方法，其特征在于具体步骤是：测量出束源炉升温时的时间——功率曲线；测量出束源炉降温时的时间——功率曲线；根据时间——功率曲线上的波动计算源炉中源材料发生相变时吸收或放出的热量值；根据源材料发生相变时吸收或放出的热量值以及源材料的相变热(熔化热)计算出源材料的质量。本发明利用分子束外延设备源炉中源材料在加热熔化和降温凝固过程中时间——功率曲线会出现相应波动的实验现象，通过分析计算时功——线波动对应的输入热量(能量)差值，从而得到束源炉坩埚中源材料的质量。
原位测量源炉中源材料质量方法

[实用新型]一种用于制备二硫化钼薄膜的分子束外延生长装置-CN201520310719.5有效
发明人：王振中 -专利权人：厦门烯成新材料科技有限公司
申请日： 2015-05-14 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： C30B25/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于制备二硫化钼薄膜的分子束外延生长装置，其特征在于，所述装置包括超高真空反应腔、控制器、衬底加热器、衬底托板架和分子束源炉，所述控制器通过操纵杆透过超高真空反应腔上部连接衬底加热器，所述衬底加热器位于超高真空反应腔中部；所述衬底托板架与衬底加热器相对设置；所述分子束源炉通过分子束源炉接口连接到超高真空反应腔的下部，其中分子束源炉接口与所述衬底托板架倾斜相对；所述分子束源炉包括氧化钼分子束源炉和硫分子束源炉采用本装置可实现分子束外延技术可控生长二硫化钼薄膜，且生长的二硫化钼薄膜结构规则，表面平整。
一种用于制备二硫化钼薄膜分子外延生长装置

[发明专利]一种场发射电子源电子束发射性能评测装置及其评测方法-CN201410158183.X有效
发明人：徐军;刘亚琪;王朋博;袁明艺;饶先拓;陈莉;朱瑞 -专利权人：北京大学
申请日： 2014-04-18 - 公布日： 2014-11-05 - 主分类号： H01J37/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种场发射电子源电子束发射性能评测装置及其评测方法。本发明的评测装置包括：真空腔室、真空抽气系统、真空度测量系统、电子枪组件、电源系统、电子束成像系统、电子束偏转系统和探测与采集系统。本发明在电子束的路径上安装两个垂直方向的偏转磁场，控制电子束从边缘至中心依次扫描通过荧光屏上的小孔，从而获得电子束束斑形状、电子束束斑中心束束流强度、束流密度、角电流密度等、电子束发射稳定度等重要的场发射电子源电子束发射性能定量参数，获得上述电子源电子发射的定量化参数，为评价场发射电子源性能，优化场发射电子源制备工艺，完善场发射电子源制备平台提供定量依据。
一种发射电子电子束性能评测装置及其方法

[发明专利]碰撞角度及探测角度均可独立调谐的交叉分子束实验装置-CN202010410854.2在审
发明人：俞盛锐;廖鸿;杨文绍;简继文 -专利权人：浙江师范大学
申请日： 2020-05-15 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本发明公开了一种碰撞角度及探测角度均可独立调谐的交叉分子束实验装置，该装置主要包括可转动束源制备腔和反应/探测腔。本发明通过可转动束源制备腔内同时配置一个相对固定的分子束源及一个角度可经传动连接杆进行调谐的分子束源，在不破坏真空的情况下，高效便捷地实现两个束源之间的碰撞角度以及两个束源相对于探测器角度的独立调谐。在改变探测角度之时，可转动束源制备腔与反应/探测腔之间的同心度是通过采用大尺寸高精度轴承加以保证，而动态密封性能则是采用弹簧橡胶圈与差分抽系统的配合来实现的。通过这一系列的设计使交叉分子束实验装置适用于研究不同碰撞能下的同一化学反应产物在各个探测角度之下的速度分布。
碰撞角度探测均可独立调谐交叉分子实验装置

[发明专利]纳米刻蚀精度多次离子切割装置-CN202111625998.0有效
发明人：杜忠明;陈浩森;宋维力;杨继进;方岱宁;杨乐;李娜;李宁 -专利权人：中国科学院地质与地球物理研究所;北京理工大学
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： G01N1/32 文献下载
摘要：本发明属于样品表面处理技术领域，旨在解现有技术中的离子切割装置无法定量的多次重复切割和重复定位的问题，具体涉及一种纳米刻蚀精度多次离子切割装置，包括总控中心、宽离子束源、恒温系统、样品传输台、样品刻蚀真空舱、宽离子束源真空舱、真空泵和真空规，真空泵与真空规与宽离子束源真空舱连接，宽离子束源真空舱与样品刻蚀真空舱通过滑轨组件连接，宽离子束源真空舱与样品刻蚀真空舱构成一密闭舱体；宽离子束源真空舱的顶部装设有真空舱盖板，真空舱盖板上开设有透明观察窗，其位于离子束汇聚点的正上方；宽离子束源包括一个或者多个离子枪，用于产生宽离子束对样品切片；通过本发明可实现离子切割的重复高精度切割、定位。
纳米刻蚀精度多次离子切割装置

[实用新型]一种碰撞角度及探测角度可调的交叉分子束实验装置-CN202020808109.9有效
发明人：俞盛锐;廖鸿;杨文绍;简继文 -专利权人：浙江师范大学
申请日： 2020-05-15 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种碰撞角度及探测角度可调的交叉分子束实验装置，该装置主要包括可转动束源制备腔和反应/探测腔。本实用新型通过可转动束源制备腔内同时配置一个相对固定的分子束源及一个角度可经传动连接杆进行调谐的分子束源，在不破坏真空的情况下，高效便捷地实现两个束源之间的碰撞角度以及两个束源相对于探测器角度的独立调谐在改变探测角度之时，可转动束源制备腔与反应/探测腔之间的同心度是通过采用大尺寸高精度轴承加以保证，而动态密封性能则是采用弹簧橡胶圈与差分抽系统的配合来实现的。通过这一系列的设计使交叉分子束实验装置适用于研究不同碰撞能下的同一化学反应产物在各个探测角度之下的速度分布。
一种碰撞角度探测可调交叉分子实验装置

[发明专利]用于增材制造的方法和装置-CN201480036432.6有效
发明人： U·勒君布拉德 -专利权人：阿卡姆股份有限公司
申请日： 2014-06-10 - 公布日： 2018-02-13 - 主分类号： B22F3/105 文献下载
摘要：本发明涉及一种形成三维物品的方法，包括以下步骤采用所述三维物品的模型，在工作台上涂敷第一粉层，在所述工作台上自第一电子束源引导第一电子束，导致所述第一粉层在第一选定位置处根据所述模型熔化而形成所述三维物品的第一横截面，在所述工作台上自第二电子束源引导第二电子束，记录所述第一电子束源的至少一种设定，记录所述第二电子束源的至少一种设定，根据所述第一电子束源的所述至少一种设定和所述第二电子束源的所述至少一种设定来校正所述第二电子束的位置
用于制造方法装置

[发明专利]一种在真空束源腔中精密调节束源方向和位置的束源操纵装置-CN202110592242.4有效
发明人：王兴安;武福燕 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2021-05-28 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： B01J3/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种在真空束源腔中精密调节束源方向和位置的束源操纵装置，所述装置位于真空束源腔中，所述装置包括：L型支架(1)、支架底座(2)、电动精密旋转台(3)、电动精密二维移动平台(4)、超声射流脉冲阀本发明在不破坏腔体高真空环境的前提下，一方面通过电动精密旋转台实现束源垂直和水平两种方向的可逆调节，利用电动精密二维移动平台在两个方向独立调节束源位置；另一方面，通过开腔定位好的点光源红外线激光定位器和光电二极管对束源精准定位，实现了在高真空束源腔中精密调节束源方向和位置的目标，简化了实验操作流程和时间成本，提高了实验操作效率。
一种真空束源腔中精密调节方向位置操纵装置

[发明专利]用于太阳电池薄膜沉积的介质气体辅助气相输运沉积装置-CN201110404957.9无效
发明人：褚君浩;赵守仁;王善力;张传军;曹鸿;邬云华;孙朋超;刘婷婷 -专利权人：上海太阳能电池研究与发展中心
申请日： 2011-12-08 - 公布日： 2012-05-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于太阳电池薄膜沉积的介质气体辅助气相输运沉积装置，该装置包括：加热束流分配器、加热束源发生器，与加热束流分配器和加热束源发生器真空连接的加热束流传输管道。该装置的优点是：束流分配器、束源发生器，束流传输管道均采用加热，可以保证长时间气源性质的稳定；可以避免气体状态的Cd、Te2、CdTe在管壁的沉积导致管路堵塞；束流导向管开孔的调节实现了线源方向膜性质的均匀性；束流分配器在介质气体的辅助下能实现向下喷出束流或向上喷出束流或同时向下和向上喷出束流。
用于太阳电池薄膜沉积介质气体辅助输运装置

[发明专利]综合沉积镀膜设备及综合镀膜方法-CN201810140027.9有效
发明人：朱美萍;曾婷婷;邵建达;易葵;孙建;李静平;王建国;张伟丽 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2018-02-11 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：一种电子束蒸发、离子束辅助与离子束溅射综合沉积镀膜设备及综合镀膜方法，设备包括由左电子枪坩埚、右电子枪坩埚、离子源辅源、离子源主源、溅射靶材和夹具盘组成的综合沉积系统。本发明结合了电子束蒸发沉积技术、离子束辅助沉积技术及离子束溅射沉积技术的优点，不但能够提高膜层质量，而且能够提高镀膜效率、降低镀膜成本。
综合沉积镀膜设备方法

[实用新型]一种线束端头法兰组装设备-CN202123249012.2有效
发明人：李少锋;李伟 -专利权人：苏州惠斯福自动化科技有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01R43/048 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种线束端头法兰组装设备，包括：线束夹持机构；法兰夹紧固定机构，包括法兰夹持组件和带动所述法兰夹持组件向线束夹持机构方向移动的组装驱动源，所述法兰夹持组件分别夹取法兰套装组件，所述组装驱动源带动所述法兰套装组依次套接固定在线束端头；线束剥离机构，设置在法兰夹紧固定机构上靠近线束夹持机构的一端，由所述组装驱动源带动与所述法兰夹持组件同步向线束夹持机构的方向移动，包括设置在线束端头两侧的剥离刀，所述剥离刀由剥离驱动源带动同步向线束端头方向移动，控制所述剥离刀的移动距离将线束端头的外表皮切断，通过组装驱动源带动将外表皮翻开。本实用新型实现在线束端头法兰组件的自动装配。
一种端头法兰组装设备

[发明专利]带有固定部件的线束-CN201380028455.8无效
发明人：雄鹿达也;吉田博之 -专利权人：矢崎总业株式会社
申请日： 2013-05-24 - 公布日： 2015-02-04 - 主分类号： B60R16/02 文献下载
摘要：一种线束布线结构，该线束布线结构包括线束和三个固定部件。第一固定部件设置在线束处，并且固定于振动传递源。第二固定部件设置在线束处，并且固定于非振动传递源。第三固定部件在第一固定部件与第二固定部件之间设置于线束处，固定于非振动传递源，并且使得线束能够在预定移动范围内移动。
带有固定部件