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[实用新型]涂胶显影机吸盘治具-CN201921841294.5有效
发明人：陈银培;葛文志;丁宇能;杨巨椽;朱毅;翁钦盛 -专利权人：杭州美迪凯光电科技股份有限公司
申请日： 2019-10-30 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种涂胶显影机吸盘治具，包括真空吸盘装置，还包括基板载具、目标载片，所述的基板载具上侧面为承载面、下侧面为吸附面，所述的目标载片设于基板载具承载面上，所述基板载具上设有多个贯穿承载面、下侧面的通孔，所述的真空吸盘装置与基板载具吸附面贴合；所述的基板载具面积大于目标载片面积，所述的通孔分布在目标载片与基板载具的接触面内；所述的基板载具为圆形片，所述的目标载片为方形片；所述的基板载具为直径199.7mm、厚度0.7mm的圆形玻璃片，所述目标载片与基板载具材质相同。本实用新型设计简单，制作成本低，拆装灵活，治具重复利用率高，降低生产成本，解决了实际生产问题。
涂胶显影吸盘

[实用新型]涂胶显影机基板固定工作片优化结构-CN201921841524.8有效
发明人：丁宇能;葛文志;陈银培;邵铭;杨巨椽;朱毅;翁钦盛 -专利权人：杭州美迪凯光电科技股份有限公司
申请日： 2019-10-30 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种涂胶显影机基板固定工作片优化结构，包括固定在涂胶显影机上的基板载具，还包括至少一片工作片，所述的工作片均匀设于基板载具上，所述工作片底面与基板载具表面之间设有贴附层，所述工作片与基板载具通过贴附层固定；所述的基板载具为圆形片，所述的工作片为方形片或圆形片；所述的贴附层采用涂胶工艺稀释剂。
涂胶显影机基板固定工作优化结构

[实用新型]一种SMT贴片冷却缓存机-CN201820877097.8有效
发明人：姜辉 -专利权人：深圳市永信达科技有限公司
申请日： 2018-06-07 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种SMT贴片冷却缓存机，包括机器内腔、位于机器内腔可升降的缓存架、升降系统以及水平传送轨道，所述缓存架用于提供缓存PCB基板或者PCB基板载具的空间，所述升降系统为缓存架的升降提供导向与动力，所述水平传送轨道与SMT流水线连接，用于接收流来的PCB基板或者PCB基板载具，所述机器对侧开设有进口与出口，所述机器另一对侧开设有进风口与出风口，所述进风口安装有静音风幕机，工作时对机器内腔持续吹风通过本SMT冷却缓存机将PCB基板或者PCB基板载具缓存于冷却机中持续持续接受风冷，并通过控制机器的风速与冷却时间达到使PCB基板或者PCB基板载具完全冷却的效果。
冷却载具缓存机缓存架内腔缓存升降系统水平传送进风口本实用新型控制机器出风口风幕机可升降冷却机轨道流水线吹风风冷风速静音升降进口出口

[实用新型]一种在基板双面同时绑定柔性电路板的绑定装置-CN202320191596.2有效
发明人：张可龙;郑冬琛;毛志平;郑士林 -专利权人：山东中康国创先进印染技术研究院有限公司;山东中康激宏科技开发有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H05K3/36 文献下载
摘要：本实用新型提供一种在基板双面同时绑定柔性电路板的绑定装置，包括基板载具、第一柔性电路板载具、第二柔性电路板载具、压合部件、对位部件；第一柔性电路板载具和第二柔性电路板载具与基板载具通过第一导轨、第二导轨相连，第一柔性电路板载具的平面低于基板载具，第二柔性电路板载具的平面高于基板载具，基板载具与压合部件通过第三导轨相连。本实用新型解决了当前现有绑定装置效率低、良品率低的问题，双面同时绑定装置，设置了两个柔性电路板载具，可以两面同时绑定，大大提高了绑定效率，并且设置有对位部件，降低偏移的可能性，提高了良品率。
一种双面同时绑定柔性电路板装置

[发明专利]基板载具、基板载具阵列和气相沉积装置及其使用方法-CN202010468492.2在审
发明人：叶继春;曾俞衡;廖明墩;闫宝杰;王玉明;陈晖;程海良;谢利华;李旺鹏 -专利权人：苏州拓升智能装备有限公司
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种基板载具、基板载具阵列和气相沉积装置及其使用方法，其中，所述基板载具包括：基板载板；第一固定部，设置在所述基板载板的第一表面，用于固定基板；第二固定部，设置在所述基板载板的第二表面，用于固定另一基板，所述第二表面与所述第一表面相对。
基板载具阵列和气沉积装置及其使用方法

[实用新型]基板载具、基板载具阵列和气相沉积装置-CN202020933954.9有效
发明人：叶继春;曾俞衡;廖明墩;闫宝杰;王玉明;陈晖;程海良;谢利华;李旺鹏 -专利权人：苏州拓升智能装备有限公司
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种基板载具、基板载具阵列和气相沉积装置，其中，所述基板载具包括：基板载板；第一固定部，设置在所述基板载板的第一表面，用于固定基板；第二固定部，设置在所述基板载板的第二表面，用于固定另一基板
基板载具阵列和气沉积装置

[实用新型]基板载具及移载装置-CN201720941238.3有效
发明人：张猛;刘智勇 -专利权人：昆山龙腾光电有限公司
申请日： 2017-07-31 - 公布日： 2018-03-02 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本申请公开了一种基板载具及移载装置。所述基板载具包括至少一个用于承载基板的承载面，所述基板载具还包括承载部件，所述承载部件设于所述承载面，所述基板载具承载所述基板时，所述承载部件与所述基板接触，且所述承载部件、所述承载面与所述基板之间形成与大气连通的结构
基板载具装置

[实用新型]成膜装置-CN201721740411.X有效
发明人：王三军;刘圣烈 -专利权人：深圳柔宇显示技术有限公司
申请日： 2017-12-13 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：成膜装置包括多个腔体、第一轨道、能够移动地设置在第一轨道上的基板载具和与基板载具同步移动的收集装置。多个腔体沿第一轨道排布。基板载具用于运载板材。收集装置位于基板载具的正下方且用于收集板材的破片。本实用新型实施方式的成膜装置，在基板载具正下方设置收集装置，在基板载具的传输过程中，一旦板材发生破片，破片由于重力作用会直接掉入位于基板载具正下方的收集装置中。
基板载具成膜装置收集装置破片本实用新型轨道传输过程生产效率同步移动重力作用腔体沿移动地排布腔体停机运载

[实用新型]基板传送装置-CN202022841195.6有效
发明人：王成飞;闫俊伟;袁广才;孙少东;张国才;董士豪;董鹏程 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基板传送装置，包括水平设置的横梁，以及纵向设置于所述横梁的两端的支撑梁，所述横梁上悬挂有基板载具，所述基板载具位于两个所述支撑梁之间，且所述基板载具与两个所述支撑梁所在的平面平行，所述基板载具包括沿水平方向相对设置的两个侧壁，每个所述支撑梁上设置有辅助夹持结构，所述辅助夹持结构用于在所述基板传送装置运动过程中夹持所述基板载具的所述侧壁上。
传送装置

[实用新型]一种基板上下料装置及电沉积设备-CN202021649851.6有效
发明人：闫俊伟;袁广才;孙少东;王成飞;董士豪;齐琪;张国才;曹占锋 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2020-08-10 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本公开提供一种基板上下料装置及电沉积设备，该基板上下料装置用于在基板载具上装卸待处理基板，待处理基板包括待工艺处理面及背面，待处理基板承载于基板载具时，背面面向基板载具的承载面固定；基板上下料装置包括：基板承载部，包括面向基板载具的承载面设置的基板承载面，基板承载面上设有非接触式吸附部件，用于吸附待处理基板的待工艺处理面，以固定待处理基板；支架，基板承载部设置在支架上，并在支架上沿第一方向往复运动，以靠近或远离基板载具，第一方向垂直于基板承载面。本公开提供的基板上下料装置及电沉积设备能够实现在基板载具上自动装卸待处理基板，且操作方便，不会对待工艺处理面膜层造成损伤，可提升产能。
一种上下装置沉积设备

[发明专利]基板上下料装置和电化学沉积设备-CN202111260062.2在审
发明人：闫俊伟;袁广才;孙少东;王成飞;董士豪;张国才 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本公开实施例提供一种基板上下料装置和电化学沉积设备，所述基板上下料装置用于在基板载具上装卸基板，所述装置包括：支撑架，用于支撑基板载具的承载板；推动结构，设置在支撑架上，推动结构包括多个推动单元，多个推动单元中的每个用于固定基板载具的盖板，并沿基板载具的厚度方向移动盖板，使盖板与承载板接触或分离，多个推动单元对盖板的推动互不影响。
上下装置电化学沉积设备

[发明专利]基板载具-CN201510526161.9在审
发明人：吴世民;江信宽 -专利权人：英属开曼群岛商精曜有限公司
申请日： 2015-08-25 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：一种基板载具，用以承载具有双面镀膜的至少一基板。基板载具包括至少一承载体用以承载基板，其中承载体具有至少一倾斜面，当基板载具承载基板时，基板的至少部分的侧边接触倾斜面，且基板与倾斜面之间具有一为锐角的第一夹角。
基板载具

[发明专利]基板载具检测装置和基板载具检测方法-CN202111241269.5在审
发明人：孙少东;袁广才;闫俊伟;张国才;董士豪;王成飞 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2022-01-21 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本公开提供了一种基板载具检测装置和基板载具检测方法。所述基板载具检测装置，包括：承载架，用于承载待检测的基板载具；设置在承载架上的驱动机构，驱动机构位于基板载具至少一侧，驱动机构包括第一驱动组件和第二驱动组件，第二驱动组件设置在第一驱动组件上，第一驱动组件用于驱动第二驱动组件沿第一方向运动；设置于第二驱动组件上的至少一个检测探头，检测探头用于在第二驱动组件的驱动下沿第二方向运动，并用于确定检测探头的检测端与基板载具之间的距离参数，第二方向和第一方向交叉。
基板载具检测装置方法

[实用新型]可防止绕镀的基板载具-CN200820006107.7无效
发明人：黄泳钊;郑博仁 -专利权人：北儒精密股份有限公司
申请日： 2008-02-03 - 公布日： 2008-12-03 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可防止绕镀的基板载具，可供至少一片基板架设，包括：一个承载板，以及至少一个将基板架设在承载板上的架设单元，该承载板包括一个供基板架设的基板架设部。本实用新型的特征在于：该承载板还包括：两个自基板架设部往相反侧突出的防绕部，前述防绕部并可在基板载具沿着一行进方向移送时，和另一块基板载具上相邻的防绕部重叠。借此可在基板载具载运基板进入溅镀室时，防止镀膜材料由两块基板载具间的间隙绕到基板背面并附着在背面上，以达到提高载运基板溅镀品质的目的。
可防止基板载具

[发明专利]用于磁介质的批处理的系统-CN201180005377.0有效
发明人：史蒂文·维哈维伯克;乔斯·安东尼奥·马林 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2011-01-05 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： G11B5/84 文献下载
摘要：提供用于同时处理多个基板的方法与设备。每个基板可具有将被处理的两个主活性表面。设备具有基板搬运模块与基板处理模块。基板搬运模块具有负载组件、翻转组件与工厂接口。基板在负载组件处设置在基板载具上。翻转组件是用来在需要两侧处理的情况下翻转基板载具上的所有基板。工厂接口定位固持基板的基板载具以进出基板处理模块。基板处理模块包括负载锁定器、传送腔室与多个处理腔室，多个处理腔室的每一个配置为处理设置在基板载具上的多个基板。
用于介质批处理系统

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