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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种晶振盒载具外框-CN202222043021.4有效
发明人：蔡则凡;张蔡星;钱超 -专利权人：江苏高光半导体材料有限公司
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本实用新型提出的一种晶振盒载具外框，涉及蒸镀机晶振探头清洗治具领域。该载具外框包括框体，框体中部具有窗口；框体上设置有安装槽和凸出部，安装槽设置于框体的一侧表面上，凸出部设置于框体的另一侧表面上；所述的安装槽和凸出部均沿着窗口边缘环绕延伸。本实用新型载具外框，与晶振盒载具配合组成晶振盒载具组件使用的情况下，能够为安装于该载具外框上的晶振盒载具及其载有的晶振盒提供防护，降低了通过狭窄空间时晶振盒和晶振盒载具被外物碰伤的风险。
一种晶振盒载具外框

[发明专利]一种晶振盒载具及载具组件-CN202210935760.6在审
发明人：蔡则凡;张蔡星;钱超 -专利权人：江苏高光半导体材料有限公司
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本发明提出的一种晶振盒载具及载具组件，涉及蒸镀机晶振探头清洗治具领域。晶振盒载具包括装配位、外围支撑框和连接部；多个装配位处于同一平面，其中包括一个第一装配位和至少一圈围绕第一装配位设置的多个第二装配位；外围支撑框环绕于装配位的外围；多个连接部分别连接于第一装配位、第二装配位载具组件包括晶振盒载具和载具外框，载具外框包括框体，框体的中部具有窗口；框体一侧具有安装槽，另一侧具有凸出部；晶振盒载具的外围支撑框固定于安装槽内。本发明的晶振盒载具及载具组件，一次性可装载多个晶振盒进行清洗，清洗效率成倍提高；装载的晶振盒之间互不接触、碰撞，不易损坏。
一种晶振盒载具组件

[实用新型]激光调频机-CN201520410766.7有效
发明人：肖丽文 -专利权人：莆田市涵江永德兴电子石英有限公司
申请日： 2015-06-15 - 公布日： 2015-09-02 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种调频后可自动剔除不合格晶振的激光调频机，包括计算机控制单元、激光处理单元、频率检测单元、晶振定位处理单元和剔除单元，计算机控制单元用于控制激光处理单元、频率检测单元、晶振定位处理单元和剔除单元；激光处理单元包括振镜系统；晶振定位处理单元包括载具和载具定位座，载具定位座用于放置载具，载具用于安装多个晶振；剔除单元包括机械手，机械手用于将载具定位座上的不合格晶振取下。本实用新型的有益效果在于：设置有振镜系统和可安装多个晶振的载具，可连续地对多个晶振进行频率调整；设置有剔除单元，可在调频结束后将调频不合格的晶振剔除出去，减少工序。
激光调频

[发明专利]一种半导体晶盒清洗干燥储存一体化方法及设备-CN201610850773.8有效
发明人：赵厚莹 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2016-09-26 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体晶盒清洗干燥储存一体化方法及设备，该设备包括：控制模块、晶盒装载单元、晶盒清洗单元、晶盒真空干燥单元、晶盒储存单元、晶盒卸载单元、晶盒载具以及所述晶盒载具的输运装置；该方法采用晶盒载具装载晶盒；将晶盒连同晶盒载具一起进行超声波或兆声波清洗；将清洗后的晶盒连同晶盒载具一起进行真空干燥；将真空干燥后的晶盒连同晶盒载具一起储存；将储存的晶盒连同晶盒载具一起取出，并将晶盒从晶盒载具中卸载。本发明可实现半导体晶盒的清洗、干燥、储存一体化，提高了晶盒的清洗干燥的效率和质量，节约了时间成本。
一种半导体清洗干燥储存一体化方法设备

[实用新型]一种具有定位机构的晶舟盒运输载具-CN202223090815.2有效
发明人：柯杨 -专利权人：苏州拓德机器人科技有限公司
申请日： 2022-11-17 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请涉及一种具有定位机构的晶舟盒运输载具，载具车能够自主移动从而无需人工推动，载具车上的机械手保证了晶舟盒的抓取盒摆放能够由机械手来进行操作，避免了人工的操作，载具车上的晶舟盒装载机构能够装载晶舟盒，晶舟盒装载机构能够从安装到载具车或者从载具车上卸下，为了使晶舟盒装载机构稳定地由载具车负载，载具车顶部设置承载板，承载板上设置有呈矩形设置的缓冲柱和定位机构，通过定位机构保证了晶舟盒装载机构每次均位于相同的位置通过上述设置使得具有定位机构的晶舟盒运输载具能够方便、稳定地运输晶舟盒，降低了人工成本，提高了自动化程度。
一种具有定位机构晶舟盒运输

[发明专利]晶圆盒载具、晶圆盒清洗设备及晶圆盒清洗的方法-CN202310656544.2在审
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：江苏芯梦半导体设备有限公司
申请日： 2023-06-05 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请提供了一种晶圆盒载具，包含该载具的晶圆盒清洗设备及使用该晶圆盒载具进行晶圆盒清洗的方法，旨在解决现有技术中晶圆盒载具存在的结构复杂、操作成本高、晶圆盒部件与清洗液接触不充分、清洗液排出困难等技术问题本申请公开的晶圆盒载具不仅结构简单，且具有高效的清洗能力，能够通过载具的转动使得清洗时晶圆盒部件内壁与清洗液充分接触，从而提高清洗效果，清洗结束后清洗液可以彻底排出，防止对后续的处理工序带来不便。
晶圆盒载具晶圆盒清洗设备方法

[发明专利]一种晶振检测载具和工装-CN201611237240.9有效
发明人：徐元涛 -专利权人：歌尔科技有限公司
申请日： 2016-12-28 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶振检测载具和工装，该晶振检测载具包括：上层板和下层板，上层板和下层板固定在一起，上层板上设有凹陷部，凹陷部用于放置和固定待检测晶振，所述凹陷部中开有贯通上层板的第一沟道，上层板上还设置有用于防止待检测晶振在凹陷部中活动的压固部件，下层板上设置有贯通下层板的第二沟道，第一沟道与第二沟道位置对应，连接频率计的探针穿过第二沟道和第一沟道与待检测晶振的相应引脚接触，并在所述压固部件的作用下保持稳定，以完成晶振的检测。本实施例的这种晶振检测载具和工装可以有效降低检测成本，节省了检测时间，方便快捷。
一种检测工装

[实用新型]一种晶振检测载具和工装-CN201621457044.8有效
发明人：徐元涛 -专利权人：歌尔科技有限公司
申请日： 2016-12-28 - 公布日： 2017-08-15 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶振检测载具和工装，该晶振检测载具包括上层板和下层板，上层板和下层板固定在一起，上层板上设有凹陷部，凹陷部用于放置和固定待检测晶振，所述凹陷部中开有贯通上层板的第一沟道，上层板上还设置有用于防止待检测晶振在凹陷部中活动的压固部件，下层板上设置有贯通下层板的第二沟道，第一沟道与第二沟道位置对应，连接频率计的探针穿过第二沟道和第一沟道与待检测晶振的相应引脚接触，并在所述压固部件的作用下保持稳定，以完成晶振的检测。本实施例的这种晶振检测载具和工装可以有效降低检测成本，节省了检测时间，方便快捷。
一种检测工装

[实用新型]一种晶振测试装置-CN202122039763.5有效
发明人：陈蕾;杨爕;叶飞;翁步升;吴彬强 -专利权人：横店集团得邦照明股份有限公司
申请日： 2021-08-26 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了属于晶振测试技术领域的一种晶振测试装置，包括晶振测试模块，晶振测试模块包括晶振测试载具P1、第一反相器U1和第二反相器U2，其中，第一反相器U1的输入端分别与直流电源1和晶振测试载具P1的一端连接，第一反相器U1的输出端与第二反相器U2的输入端和晶振测试载具P1的另一端连接，第二反相器U2的输出端与检测仪连接。本实用新型通过简单的装置实现了对晶振在高低温环境下工作频率以及稳定性的测试，从而可以有效的检测晶振的合格性；本实用新型的待测晶振可以在高低温恒温箱内快速测试振荡频率、波形质量及高低温环境下的精度，便于对晶振的主要性能进行测试及分析
一种测试装置

[发明专利]晶圆标记设备-CN202210457980.2在审
发明人：李志强;李文强;杨建新;朱霆;盛辉;周学慧;张凯 -专利权人：深圳泰德半导体装备有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本发明公开一种晶圆标记设备，该晶圆标记设备包括机架、至少一个料盒载具以及至少一检测机构，所述机架设有机台；所述料盒载具设于所述机台，所述料盒载具用于固定晶圆料盒；所述检测机构包括至少两检测器，至少两所述检测器间隔设于所述料盒载具的表面，两所述检测器同时检测到所述晶圆料盒的信号时，所述晶圆料盒预装到位。本发明技术方案旨在减小料盒的上料误差，提升晶圆的标记效率。
标记设备

[发明专利]晶圆盒检测辅助装置及晶圆盒洁净度检测方法-CN202311203313.2在审
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：江苏芯梦半导体设备有限公司
申请日： 2023-09-19 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01N15/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆盒检测辅助装置及晶圆盒洁净度检测方法，所述检测辅助装置包括驱动组件和与所述驱动组件连接的载具，所述晶圆盒能够被收容在所述载具内，且所述驱动组件能够驱动所述载具带动所述晶圆盒绕转动中心线同步摆动，其中，所述转动中心线位于所述晶圆盒的中心对称面上。进行洁净度检测时，向晶圆盒的内腔中注入适量检测液，后驱使载具带动晶圆盒摆动，使得检测液浸润晶圆盒内腔的所有表面，最后使用液体颗粒检测设备对检测液进行检测，该检测辅助装置能够通过驱动组件驱使载具并带动晶圆盒同步摆动
晶圆盒检测辅助装置洁净方法

[发明专利]一种焊接方法-CN201110283560.9无效
发明人：詹伟 -专利权人：武汉昊昱微电子股份有限公司
申请日： 2011-09-22 - 公布日： 2012-03-07 - 主分类号： B23K11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种焊接方法，该方法将柱状晶振放置在焊接治具的固定槽中，把引线框架镀银的一面放在焊接治具上，并使得晶振尾部紧贴引线框架的载片台、晶振引脚紧贴引线框架载片台一侧的晶振焊接引脚，在引线框架未放置晶振的一面采用电阻焊进行焊接本发明方法简单易操作，且避免了焊接产生的氧化物对引线框架镀银区的污染，同时，本发明方法可以保证产品的焊接精度，并且避免了晶振尾部的上翘。
一种焊接方法

[发明专利]一种晶舟盒及包括该晶舟盒的半导体设备-CN201811564336.5在审
发明人：刘超群 -专利权人：中芯集成电路（宁波）有限公司
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供一种晶舟盒及包括该晶舟盒的半导体设备，所述晶舟盒，用于装载晶圆，包括：盒体，所述盒体具有内部空腔、顶盖、与所述顶盖相对的底壁；晶圆载具，设置于所述盒体的所述内部空腔内，用以装载至少一个晶圆；所述晶圆载具与所述顶盖、所述底壁可拆卸固定连接，所述顶盖能够打开，以取出或装载所述晶圆载具。本发明的晶舟盒能够提高每小时产量和保证晶圆安全性。
一种晶舟盒包括半导体设备

[实用新型]一种晶圆载具盒适配器及半导体晶圆搬送装置-CN202321200761.2有效
发明人：张明辉;余涛;王周杰 -专利权人：乐孜芯创半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2023-05-17 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆载具盒适配器及半导体晶圆搬送装置，其中晶圆载具盒适配器用于放置在半导体晶圆搬送前端模块装载平台上，包括适配器本体；若干个挡块，分布于所述适配器本体的上表面，用于对所述晶圆载具盒进行空间定位；存在检测传感器，设置于所述适配器本体的上方，用于检测所述晶圆载具盒是否存在以及是否放平；若干个定位柱，分布在所述适配器本体的下表面，用于与所述装载平台的定位销相配合；夹紧块，设置在所述适配器本体的下方本实用新型实现了一个晶圆搬送前端模块装载口平台可以兼容布置晶圆盒和晶圆载具盒，解决了单个设备只能处理晶圆不能处理晶圆载具的问题。
一种晶圆载具盒适配器半导体晶圆搬送装置

[发明专利]一种星载温补晶振的隔振装置-CN201410353080.9有效
发明人：梁晓晖;邵兆申;马艳;邱伟峰;安维刚 -专利权人：西安空间无线电技术研究所
申请日： 2014-07-23 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： H03B5/04 文献下载
摘要：本发明提供一种星载温补晶振的隔振装置，包括隔振盒体、晶振电路印制板、以及石英晶体振荡器。隔振盒体中具有刚性安装台，使用弹性紧固夹将石英晶体振荡器直接固定在刚性安装台上，石英晶体振荡器与晶振电路印制板电连接，隔振盒体底座安装螺钉设计了隔振阻尼套管。本发明的隔振装置既能实现隔振又能实现散热的功能，尤其适用于星载温补晶振等小型、对温度敏感的物体的隔振、减振。
一种星载温补晶振装置

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