“显影效率”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果5213038个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]摆镜特性参数测试装置及测试方法-CN201610431205.4有效
发明人：刘尚阔;薛勋;赵建科;周艳;李坤;段亚轩;田留德;昌明;曹昆 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2016-06-16 - 公布日： 2018-11-02 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：装置包括光源组件、显影屏、光斑中心获取系统和放置在光源组件出射光路上的摆镜；在光源组件的出射端口处安装有光阑，光阑具有多个大小不同的圆形通光孔；显影屏位于摆镜的反射光路上，能接收摆镜在各位置的反射光，摆镜的反射光在显影屏上形成光斑；光斑中心获取系统用于记录显影屏上的光斑图像及其中心坐标。方法包括步骤：1)对光源组件、显影屏和光斑中心获取系统的位置关系进行标定；2)打开光源组件，其发出的平行光经摆镜反射后在显影屏上形成光斑；3)获取显影屏上的光斑图像及其中心坐标；4)对步骤3)中所得数据处理本发明测角范围大、测量效率高。
特性参数测试装置方法

[发明专利]一种半导体结构及其制作方法-CN202010047702.0有效
发明人：李天慧;于星;王科;秦俊峰;王凡 -专利权人：芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请日： 2020-01-16 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体结构及其制作方法，包括以下步骤：提供一衬底，形成自下而上依次包括感光材料层及正显影光刻胶层的双层光刻胶层于衬底上；进行曝光；进行显影，得到开口；形成正显影光刻胶微缩材料层；进行加热处理，使正显影光刻胶微缩材料层与正显影光刻胶层的交界面处发生融合，得到交联层，交联层位于正显影光刻胶层侧壁的部分突出于感光材料层的侧壁；去除正显影光刻胶微缩材料层以再次显露开口，开口的顶部宽度小于底部宽度。本发明可方便控制开口上部的微缩程度，具有很高的灵活性，同时工艺难度不高，有利于提高生产效率并降低生产成本。
一种半导体结构及其制作方法

[发明专利]涂胶显影单元工作臂的分控、交叉作业结构-CN200810228024.7无效
发明人：王阳 -专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
申请日： 2008-10-10 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明涉及涂胶显影单元工作臂的改进技术，具体为一种用以在半导体晶片上进行涂胶、显影的各工作臂的可分控作业及可交叉作业结构，解决涂胶、显影单元中实现工作臂的上下动作结构复杂，工作效率低等问题。涂胶单元或显影单元的基座一侧安装支承板，两个电缸I、电缸II上下平行安装在支承板外侧，涂胶单元或显影单元的两个工作臂分别固定在基座支承板外侧的上下两个电缸I、电缸II上。这一独特功能的实用性在显影单元上体现的由为明显，可以实现反复的显影、定影工艺过程。采用本发明可以缩短工艺单元的作业时间，为提高整体设备的产能打基础。
涂胶显影单元工作交叉作业结构

[实用新型]一种玻璃光罩显影计时装置-CN201520198656.9有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：广州市仕元光电有限公司
申请日： 2015-04-03 - 公布日： 2015-07-29 - 主分类号： G04G13/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种玻璃光罩显影计时装置，包括：连接在电源之间的智能语音录放模块和语音信号放大电路，以及连接在所述智能语音录放模块上的录音电路和输入按键信号电路，将报时语音录入所述智能语音录放模块，当接通播放/停止开关时，智能语音录放模块通过语音信号放大电路，使扬声器播放报时语音，为玻璃光罩显影计时。本实用新型所述玻璃光罩显影计时装置，通过使用智能语音录放模块和语音信号放大电路，用脚踏开关控制扬声器播放报时语音，一人就能独立操作玻璃光罩显影作业，避免了原先玻璃光罩显影时，需要一人显影，一人看秒表报时的方法，提高了生产效率，克服了因玻璃光罩显影需要两个人配合和互相配合存在的误差。
一种玻璃显影计时装置

[实用新型]涂胶显影单元工作臂的分控、交叉作业结构-CN200820218407.1有效
发明人：王阳 -专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
申请日： 2008-10-10 - 公布日： 2009-07-29 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及涂胶显影单元工作臂的改进技术，具体为一种用以在半导体晶片上进行涂胶、显影的各工作臂的可分控作业及可交叉作业结构，解决涂胶、显影单元中实现工作臂的上下动作结构复杂，工作效率低等问题。涂胶单元或显影单元的基座一侧安装支承板，两个电缸I、电缸II上下平行安装在支承板外侧，涂胶单元或显影单元的两个工作臂分别固定在基座支承板外侧的上下两个电缸I、电缸II上。这一独特功能的实用性在显影单元上体现的尤为明显，可以实现反复的显影、定影工艺过程。采用本实用新型可以缩短工艺单元的作业时间，为提高整体设备的产能打基础。
涂胶显影单元工作交叉作业结构

[实用新型]用于显影液槽的辅助加液装置-CN201520455805.5有效
发明人：褚宏扬;魏明德;刘鹏;丁建峰;王祥;周雪松 -专利权人：徐州同鑫光电科技股份有限公司
申请日： 2015-06-29 - 公布日： 2015-12-23 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型公开一种用于显影液槽的辅助加液装置，属于半导体设备技术领域，包括输液管(1)、进气管(2)及连接机构(3)；输液管上设置有输液阀门(1.1)，进气管上设有进气阀门(2.1)；连接机构包括定位部(3.1)、设置在定位部下端的连接部(3.3)，定位部中开有两个安装通孔，安装通孔的孔径相应比输液管、进气管的管径大0.5-2mm，连接部中设有连接螺纹(3.4)；连接机构安装在显影液桶上，通过进气管向显影液桶中通入压力气体，使显影液经输液管流入显影液槽内。该辅助加液装置向显影液槽中加液效率高，可有效避免加液时显影液的浪费，提高作业人员加液时的安全系数，减少作业人员加液时的工作强度。
用于显影液辅助装置

[实用新型]一种显影盒侧边盖-CN201921585370.0有效
发明人：谢刚 -专利权人：珠海墨美影像科技有限公司
申请日： 2019-09-23 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： G03G15/08 文献下载
摘要：一种显影盒侧边盖，其安装在显影盒的侧端，显影盒侧边盖包括正面和背面，背面与显影盒的侧端接触，正面设有芯片安装槽、第一定位块、第二定位块和弹性定位块，显影盒的芯片匹配安装在芯片安装槽；第一定位块设置在芯片安装槽的第一槽侧本实用新型提供的显影盒侧边盖，解决了现有的显影盒芯片安装和拆卸的操作复杂和费力的技术问题，达到了芯片安装和拆卸简便，操作效率高的技术效果。
一种显影侧边

[实用新型]粉盒-CN202022222540.8有效
发明人：黄斌;黄乐;熊涛 -专利权人：珠海市汇威打印机耗材有限公司
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： G03G21/18 文献下载
摘要：粉盒，包括外壳和设置于所述外壳一端的送粉辊导电支架、显影辊导电端支架及固定支架，所述固定支架的一侧表面上设置有突出于该表面的显影辊导电端支架卡扣部、另一侧表面设置有突出于该表面的送粉辊导电支架卡扣部，所述显影辊导电端支架上设置有与所述显影辊导电支架对应的卡扣配合部，所述卡扣配合部可与所述显影辊导电端支架卡扣部卡扣配合，所述送粉辊导电支架可与所述送粉辊导电支架卡扣部卡扣配合。本实用新型在送粉辊导电支架、显影辊导电端支架及固定支架上设置相互配合的卡扣结构，可以将送粉辊导电支架、显影辊导电端支架及固定支架先组装后再装配到粉盒外壳上，简化了在粉盒上的装配步骤，有利于提高效率。
粉盒

[实用新型]一种具备水洗组件的铜箔显影装置-CN202120759947.6有效
发明人：李长春 -专利权人：东莞市博永凯电子科技有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具备水洗组件的铜箔显影装置，包括箱体，所述箱体内壁两侧分别通过轴承与运输辊转动连接，运输辊一侧上端设置有预打磨箱，运输辊另一侧上端依次设置有蚀刻辊和图案辊，运输辊尾端设置有曝光箱，曝光箱一侧依次设置有显影液箱和蚀刻液箱，蚀刻液箱一侧设置有清洗箱，显影液箱和蚀刻液箱内分别设置有浸液辊。本具备水洗组件的铜箔显影装置，喷头对铜箔表面进行冲洗，去除附着在铜箔表面的显影生成物和多余的显影液和蚀刻液，同时进行降温，完成显影作业，提高工作效率，原料辊和收料辊方便对铜箔进行收料和放料，铜箔不会造成褶皱
一种具备水洗组件铜箔显影装置

[实用新型]一种封闭式显影装置-CN202121810997.9有效
发明人：张朝勋 -专利权人：江门市宏儒电子科技有限公司
申请日： 2021-08-04 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种封闭式显影装置，通过喷淋机构在第一喷淋室内设置的第一喷淋部进行一次喷淋、在第二喷淋室内设置的第二喷淋部进行二次喷淋，而第一喷淋部和第二喷淋部均能够摆动喷淋且摆动中心相互垂直，这样能够通过两次摆动喷淋形成高效的喷淋面积能够调节的十字喷淋面来充分覆盖印制电路板，有利于提高喷淋显影效率，进一步的，在喷淋过程中，能够通过防飞溅结构缓冲飞溅后的显影液，避免飞溅后的显影液冲击侧壁产生泡沫而降低显影效果，同时通过转动调节挡板结构，使得显影液无法从第一喷淋室和第二喷淋室靠近移动通道的边缘位置外泄，有效避免了显影液外泄的现象发生。
一种封闭式显影装置

[实用新型]一种芯片组件及显影盒-CN202320257326.7有效
发明人：薛上鹏 -专利权人：珠海市颂洋科技有限公司
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G03G15/06 文献下载
摘要：一种芯片组件及显影盒，该芯片组件包括芯片安装块、芯片和N个导电钢片，芯片安装块可拆卸地安装在显影盒主体的前端安装位，芯片安装块包括前面，芯片安装块设有位于前面的后方的芯片安装槽，芯片安装块的底部还设有固定槽该芯片组件可拆卸地安装在显影盒主体的前端安装位中，显影盒主体可大批量生产，不同型号的芯片组件匹配安装在显影盒主体上即可形成对应型号的显影盒，芯片组件容易辨别，不会错误，安装效率高，节约资源，节能环保。本实用新型还提供一种包括上述芯片组件的显影盒。
一种芯片组件显影

[实用新型]显影盒、硒鼓架和电子成像设备-CN202221040925.5有效
发明人：杨晓锋;苏健强;何永刚 -专利权人：珠海天威飞马打印耗材有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： G03G15/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种显影盒、硒鼓架和电子成像设备，电子成像设备包括显影盒和硒鼓架，显影盒包括包括盒体和端盖，盒体上用于设置有显影辊、送粉辊和搅拌架，搅拌架上设置有旋转轴，显影辊的轴向、送粉辊的轴向和旋转轴的轴向相互平行端盖可拆卸地设置在盒体上，端盖位于旋转轴的轴向方向上，端盖朝向盒体的一侧上设置有定位凸起，硒鼓架上设置有弹性组件，弹性组件包括弹簧和抵接块，弹簧连接在硒鼓架与抵接块之间，弹簧驱动抵接块与定位凸起邻接；采用以上结构，当显影盒与鼓架不适配时，可拆卸更换端盖上的定位凸起或者拆卸更换端盖，无需要对盒体上的其他部件进行拆卸更换盒体后重新安装，有效提高显影盒安装效率。
显影硒鼓电子成像设备

[实用新型]全显影涂层支架-CN202222330325.9有效
发明人：田立剑;王英平;苏宏东;张汝翔 -专利权人：山东维心医疗器械有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： A61F2/90 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全显影涂层支架，包括支架基体，还设有显影合金和药物涂层，显影合金包括左显影合金和右显影合金，左显影合金包括左上显影片、左侧显影片和左下显影片，左侧显影片与左上显影片以及左下显影片相配合形成左显影槽，右显影合金包括右上显影片、右侧显影片和右下显影片，右侧显影片与右上显影片以及右下显影片相配合形成右显影槽，支架波杆左侧与左显影槽固定插接，右侧与右显影槽固定插接，左上显影片右侧与右上显影片左侧之间形成外载药槽，左下显影片右侧与右下显影片左侧之间形成内载药槽，外载药槽内、内载药槽内及支架基体的表面均涂覆有药物涂层，本实用新型具有显影效果好、药物损失率低、载药量大、释放周期长等优点。
显影涂层支架

[发明专利]一种基板显影方法和基板显影装置-CN201910275887.8在审
发明人：刘红亮 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2019-04-08 - 公布日： 2019-08-02 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本申请涉及一种基板显影方法和基板显影装置，该基板显影方法包括：获取显影指令，显影指令携带基板所需的显影时长和显影开始时刻；根据显影开始时刻和显影时长，确定第一补液时刻和第二补液时刻，第一补液时刻在显影开始时刻之前，第二补液时刻在显影开始时刻之后；在第一补液时刻，向显影槽注入第一预设浓度显影液，以增大显影槽内显影液的浓度；在显影开始时刻，将基板放入显影槽中进行显影；在显影过程中，在第二补液时刻，向显影槽注入第二预设浓度显影液，以减小显影槽内显影液的浓度。通过这种方式，能够在显影开始或结束时避免由于显影液浓度波动较大而导致显影设备宕机以及产能下降的问题。
显影补液基板显影开始时刻显影槽显影液基板时长预设指令浓度波动显影过程显影设备产能放入减小宕机携带申请

[发明专利]自动低温显影装置-CN202310466613.3在审
发明人：王文豪;张振生;曹峻凯;宋学锋;俞大鹏 -专利权人：南方科技大学;深圳国际量子研究院
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本申请提供一种自动低温显影装置，包括显影仓、显影机构和传送机构，显影仓用于隔离显影样品的显影环境，显影机构包括用于盛放显影液的显影容器和用于控制显影液温度的第一温控组件，第一温控组件安装于显影容器上，显影容器安装于显影仓内，传送机构用于将显影样品传输至显影容器内，传送机构安装于显影仓内。本申请的自动低温显影装置，具有可控制显影液的温度、显影效果较好的优点。
自动低温显影装置