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[实用新型]一种用于室外的无尘室光阻桶新型运输装置-CN202122595804.9有效
发明人：汪洋;杨军;许鹏飞 -专利权人：浙江泰嘉光电科技有限公司
申请日： 2021-10-27 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： B65D19/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及运输装置技术领域，具体为一种用于室外的无尘室光阻桶新型运输装置，所述运输装置包括：顶盖、箱体、叉座和夹持机构，其中，所述顶盖扣合在所述箱体的顶部开口处；所述箱体的前表面设置有箱门；所述叉座固定在所述箱体的底面，且所述叉座上设置有用于配合叉车搬运的叉孔；所述夹持机构设置有多组，对称布置在所述箱体的两侧内壁，用于夹持放置在所述箱体内的光阻桶。该用运输装置对箱体内的光阻桶起到全方位的防护，提高光阻搬运的安全性，避免外界环境的变化而影响光阻品质，使用方便。
一种用于室外无尘室光阻桶新型运输装置

[实用新型]一种光阻供应装置及涂胶设备-CN201921364688.6有效
发明人：程龙;刘运田;刘玉兴;杨澜 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京北旭电子材料有限公司
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2020-03-24 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及平板显示制造技术领域，特别涉及一种光阻供应装置及涂胶设备。该光阻供应装置包括：支架框及光阻桶，光阻桶悬空固定于支架框内；光阻桶的桶底向外凸出且形成有最低点，最低点设置有用于连接光阻涂布机台的出料端口；光阻桶的顶部设置有进料端口以及用于调节光阻桶内压强的稳压结构光阻桶的桶底向外凸出，桶内盛装的光阻在重力作用下向下流动，随着使用消耗会逐渐集中到光阻桶底部的最低处，并自最低处的出料端口接入光阻涂布机台使用，不会在光阻桶底部存留积液，有效减少了光阻滞留桶内所引起的浪费；而支架框对光阻桶除了固定支撑以及保护作用，进一步方便了装置的转移与更换，为光阻涂布机台提供更稳定的光阻供应。
一种供应装置涂胶设备

[发明专利]涂布机光阻回收系统-CN201810962122.7在审
发明人：李亚明;彭建中;徐飞;张伟伟;张良;吴昌龙 -专利权人：南京中电熊猫液晶材料科技有限公司
申请日： 2018-08-22 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种可回收涂布机光阻系统，包括光阻桶、脱气模组、过滤器、涂布泵、涂布头、光阻回收罐和光阻回收桶，所述可回收涂布机光阻系统包括新光阻供给系统和光阻回收系统，所述新光阻供给系统中，光阻回收桶连接脱气模组，脱气模组连接过滤器，过滤器连接涂布泵，涂布泵连接涂布头；所述光阻回收系统中，脱气模组、过滤器、涂布泵和涂布头分别与光阻回收罐连接，光阻回收罐连接光阻回收桶，光阻回收桶连接脱气模组。本发明的有益效果：1）最大程度的回收浪费的光阻用于产品生产，避免光刻胶浪费。2）集光阻回收利用和废液收集于一体，并且自动回收及自动供应。
光阻模组脱气回收桶过滤器回收系统回收罐涂布机涂布头供给系统光阻系统可回收过滤器连接产品生产废液收集回收利用自动供应自动回收泵连接光刻胶集光回收

[实用新型]一种新型光阻桶结构设计-CN201621399072.9有效
发明人：李志欢;刘学敏;雷洪伟 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2016-12-19 - 公布日： 2017-06-30 - 主分类号： B65D25/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种新型光阻桶结构，桶顶部，桶身部和桶底部；在光阻桶的桶身部有底角开口，内侧桶壁为增加桶内光阻流动性的非圆柱形结构，上述结构使得光阻在内侧桶壁的流动性增加，有效地降低光阻粘壁聚集现象，避免光阻在使用过程中出现断层或空穴，同时，流动性增加的残余光阻不会粘附在内侧桶壁上，而是沿内侧底面经底角开口进行合并回收利用，提高操作的便捷性及残留光阻利用率，避免浪费。
一种新型光阻桶结构设计

[实用新型]光阻桶盖及光阻桶-CN202221668145.5有效
发明人：王学志 -专利权人：昆山龙腾光电股份有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： B05C11/11 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光阻桶盖及光阻桶，用于控制光阻桶内光阻流出，其特征在于，包括：密封盖，设置于所述光阻桶的开口，与所述光阻桶密封连接；吸液管，所述光阻经过所述吸液管流向所述光阻桶外，所述吸液管的上端开口设在所述密封盖内本实用新型通过设置锯齿状开口以取代现有技术中的楔形开口，降低了吸液管底端开口高度，提高了光阻利用率，降低了液晶面板的制造成本。
桶盖光阻桶

[发明专利]一种防止光阻凝聚装置-CN201610679513.9在审
发明人：沈顺杰 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2016-08-17 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：一种防止光阻凝聚装置。属于光阻涂覆装置。光阻在光阻桶底部的凝聚物及残渣会进入管路，影响下一桶新光阻使用效果。防止光阻凝聚装置包括光阻管路(1)、光阻桶(2)和转动装置，转动装置包括支撑箱体(3)、滚轴(4)、电机(5)和电源(6)，电机(5)和电源(6)安装在支撑箱体(3)内，电源(6)连接电机(5)，电机(5)与滚轴(4)的一端固定，滚轴(4)另一端位于支撑箱体(3)外部；滚轴(4)和光阻桶(2)的中轴线平行设置，且滚轴(4)和光阻桶(2)的外壁之间相接触，滚轴(4)为光阻桶(2)提供转动动力。本发明具有将所盛装的光阻充分混合的作用，输入涂覆机中使用时观感光滑无暇。
一种防止凝聚装置

[实用新型]光阻液的循环回收装置-CN200920158422.6无效
发明人：林淑芬 -专利权人：久弘庆股份有限公司
申请日： 2009-05-21 - 公布日： 2010-03-03 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型公开一种光阻液的循环回收装置，其与一可将使用后的光阻液排出的作业机台相互连结，该循环回收装置包含至少一预备桶、复数混合桶、复数搅拌装置、复数恒温装置、一抽真空装置、复数筛检装置、一溶剂装置、一清洗装置和一新液装置；预备桶连接作业机台且承接作业机台排出的光阻液加以集收；恒温装置控制预备桶、混合桶内的光阻液的温度维持在一定设定温度；筛检装置检测容置空间内的光阻液温度、浓度数值；溶剂装置用于稀释光阻液的浓度；新液装置将新光阻液从新液供应桶输送至作业机台此种回收装置既可在回收处理过程中有效提升回收效率，还可使回收处理后的光阻液品质更加稳定。
光阻液循环回收装置

[发明专利]光阻存放装置-CN201710783546.2在审
发明人：熊坤 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2017-08-31 - 公布日： 2017-12-12 - 主分类号： B01F13/08 文献下载
摘要：本发明提供一种光阻存放装置，通过设于底座内的磁铁转动带动存放桶内的转子进行运动，并通过所述转子的叶片使得所述转子旋转的同时在所述存放桶内进行上下运动，实现对存放于所述存放桶内的光阻充分的搅拌，从而保证所述光阻存放装内的高精细光阻静止后不会产生沉降，从而保证所述光阻存放装置内的高精细光阻均匀，保证得到的彩色基板产品性质稳定，提高产品良率。
存放装置

[发明专利]光阻液储存桶及光阻涂布机-CN201711043807.3在审
发明人：吴利峰 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2018-01-16 - 主分类号： B05C11/11 文献下载
摘要：本发明公开了一种光阻液储存桶，包括桶本体，设置在桶本体内的至少两个隔板，所述隔板与所述桶本体活动连接，所述隔板将桶本体的内腔划分为至少三个腔室，当其中一块隔板向上移动时，位于该隔板两侧的腔室相互连通；位于桶本体其中最外一侧的腔室上设有光阻供液管、CDA压力管、脱气管；位于桶本体另一最外一侧的腔室上设有与桶本体密封连接的光阻供给管；位于最外两侧的腔室之间的腔室上设有与存储桶密封连接的加减压管。本发明还提供了一种光阻涂布机，包括所述的光阻液储存桶。与现有技术相比，实现推动隔板自动上升，从而进行补液；大大节省了人力更换的时间，避免了光阻的浪费，而且桶本体还可以循环使用，避免了材料的浪费。
光阻液储存光阻涂布机

[实用新型]一种光刻胶匀胶显影机的供应装置-CN201921368661.4有效
发明人：陈武档;周国波;赖艺珠;梁荣增;宋里千 -专利权人：福建泓光半导体材料有限公司
申请日： 2019-08-22 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型提供一种光刻胶匀胶显影机的供应装置，包括光阻瓶、缓存罐和喷嘴，光阻瓶通过第一输液管与缓存罐连通，光阻瓶通过内置光阻袋与第一输液管连接，通过氮气进入内腔挤压光阻袋输送，避免了光阻液与气体接触，防止光阻液凝固和产生气泡，光阻袋代替传统的不锈钢光阻桶的使用，避免光阻桶在余量不多的情况下不能使用的情况，提高了光阻液的使用效率，减少了浪费；瓶端口通过与第一输液管的密封设计，瓶盖与瓶端口相互挤压管盘，使管盘通过密封垫与出液口的密封，出液口内设有密封层，加强了光阻袋的密封效果；流量计检测光阻瓶输出的液量，便于计算余量，及时提醒人员更换。
一种光刻胶匀胶显影供应装置

[发明专利]一种处理光阻沉积的搅拌装置及光阻桶-CN201710181986.0有效
发明人：唐林宁 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2017-03-24 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： B01F7/18 文献下载
摘要：本发明涉及搅拌装置技术领域，具体涉及一种处理光阻沉积的搅拌装置及光阻桶，包括套轴、内伸缩轴、搅拌组件和旋杆；其中，旋杆安装在套轴上端用于带动套轴转动，搅拌组件设置在套轴下端随着套轴转动，内伸缩轴设置在套轴内部与搅拌组件连接打开光阻桶的圆口，将搅拌装置置于光阻桶内，内伸缩轴向下压打开两个搅拌片，旋转旋杆带着套轴搅拌片转动，搅拌片靠近光阻桶底部，此时手控制搅拌装置从底部开启逐步向上搅拌，从而到达光阻成分均一的目的。
一种处理沉积搅拌装置光阻桶

[发明专利]光阻过滤器-CN201810737390.9在审
发明人：卡尔·罗伯特·修斯特;史蒂芬·贺·汪;金金明;刘四化 -专利权人：新阳硅密（上海）半导体技术有限公司;硅密(常州)电子设备有限公司
申请日： 2018-07-06 - 公布日： 2018-10-26 - 主分类号： B01D29/33 文献下载
摘要：本发明公开了一种光阻过滤器。所述光阻过滤器包括槽体、槽盖及过滤桶。所述槽体具有容纳槽。所述槽盖设置在所述槽体的顶端，并密封所述容纳槽地设置。所述过滤桶容置在所述容纳槽内。所述过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置。所述过滤桶具有容腔。所述过滤桶设置有多个过滤通孔。所述过滤通孔连通所述容腔与所述容纳槽地设置。所述光阻过滤器结构精简且过滤性能佳。
过滤桶光阻过滤器容纳槽槽体槽盖过滤通孔容腔过滤性能连接设置容置连通密封

[发明专利]光阻过滤器-CN201711385436.7在审
发明人：许峯嘉;王铮 -专利权人：新阳硅密（上海）半导体技术有限公司
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： B01D29/33 文献下载
摘要：本发明公开了一种光阻过滤器。所述光阻过滤器包括槽体、槽盖及过滤桶。所述槽体具有容纳槽。所述槽盖设置在所述槽体的顶端，并密封所述容纳槽地设置。所述过滤桶容置在所述容纳槽内。所述过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置。所述过滤桶具有容腔。所述过滤桶设置有多个过滤通孔。所述过滤通孔连通所述容腔与所述容纳槽地设置。所述光阻过滤器结构精简且过滤性能佳。
过滤桶光阻过滤器容纳槽槽体槽盖过滤通孔容腔过滤性能连接设置容置连通密封

[实用新型]光阻过滤器-CN201821073829.4有效
发明人：卡尔·罗伯特·修斯特;史蒂芬·贺·汪;金金明;刘四化 -专利权人：新阳硅密（上海）半导体技术有限公司;硅密(常州)电子设备有限公司
申请日： 2018-07-06 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： B01D29/33 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光阻过滤器。所述光阻过滤器包括槽体、槽盖及过滤桶。所述槽体具有容纳槽。所述槽盖设置在所述槽体的顶端，并密封所述容纳槽地设置。所述过滤桶容置在所述容纳槽内。所述过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置。所述过滤桶具有容腔。所述过滤桶设置有多个过滤通孔。所述过滤通孔连通所述容腔与所述容纳槽。所述光阻过滤器结构精简且过滤性能佳。
过滤桶光阻过滤器容纳槽槽体槽盖过滤通孔容腔本实用新型过滤性能连接设置容置连通密封

[发明专利]无尘室的施工方法-CN201810406715.5有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：河南泉舜工程有限公司
申请日： 2016-06-27 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： E04B1/80 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成电路芯片、太阳能光伏芯片等生产用无尘室的施工方法。本发明包括以下步骤：步骤A、无尘室建造：通过保温墙板围成密封空间；在密封空间的顶部设置吊顶，并将进风罩固定于上述吊顶上，然后安装进风管、排风管和空调机组；步骤B、除尘；步骤C、空气净化：通过进风管向无尘室内部通入过滤净化后的新风，同时通过排风管将无尘室内部的空气排出；步骤D、铺设地板：将液态的环氧树脂倾倒于无尘室的地面，待环氧树脂凝固后，使得无尘室的地面形成水平的环氧树脂涂层地板。本发明提升了无尘室内部的温度均匀性，实现了无尘室的有效保温。
无尘室室内部环氧树脂密封空间吊顶进风管排风管无尘地板环氧树脂涂层集成电路芯片太阳能光伏温度均匀性空气净化保温墙板顶部设置过滤净化空调机组进风罩除尘尘室排出施工保温倾倒凝固铺设芯片新风建造生产

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