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- [发明专利]接合方法和接合装置-CN202211613707.0在审
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田代佳;饭野克宏
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东京毅力科创株式会社
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2022-12-15
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2023-06-27
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B32B37/10
- 本发明提供一种接合方法和接合装置,能够控制将第一基板与第二基板接合而成的重合基板的翘曲。本发明的接合方法包括:使用第一保持部来吸附并保持第一基板;使用第二保持部来吸附并保持第二基板;以及通过使第一保持部与第二保持部相对地移动来使第一基板与第二基板接触而形成重合基板。本发明的一个方式所涉及的接合方法还包括:将第一基板及第二基板、或者重合基板进行加热;以及使用冷却部将加热后的重合基板进行冷却。另外,在冷却中,通过在重合基板形成温度差来控制重合基板的翘曲。
- 接合方法装置
- [发明专利]接合夹具及接合装置-CN202310196169.8在审
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椎名隆行;白石典久;饭岛隆彰
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JUKI株式会社
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2023-03-03
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2023-09-05
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B29C65/78
- 接合夹具用于在片状原材料的一个面侧配置片状的被粘物,在片状原材料的端缘部处将被粘物折回,在片状原材料的另一个面侧对被粘物的端缘部进行粘接,该接合夹具具有:载置台,其具有在被粘物之上叠加地载置片状原材料的载置面,该载置面的端缘部形成为与片状原材料的端缘部相对应的形状;以及多个附着片,它们使沿载置台的端缘部排列而配置的被粘物附着,附着片的前端部在载置台的载置面的端缘部处转动,由此能够切换至使被粘物附着的附着面与载置台的载置面的端缘部相比向外侧展开的展开位置和附着面与载置面的端缘部相对的相对位置
- 接合夹具装置
- [发明专利]接合装置以及接合方法-CN201410341895.5有效
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井出昌史;依田薰
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西铁城控股株式会社
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2014-07-17
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2015-01-21
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H01L21/603
- 本发明提供一种能够高精度且高速地进行光学元件向基板上的常温活性化接合的接合装置以及接合方法。接合装置(1、2)具有:临时固定部(10),所述临时固定部(10)基于从光学元件出射的光的强度,相对于具有金属制的微凸块的基板对光学元件进行定位,并将第一负荷施加于光学元件以将光学元件临时固定在微凸块上;和正式接合部(20),所述正式接合部(20)将第二负荷施加于光学元件以使光学元件常温活性化接合在微凸块上,该第二负荷比第一负荷要大,基于从通过临时固定部临时固定了的光学元件出射的光的强度而被调整。
- 接合装置以及方法
- [发明专利]接合方法及接合体-CN200910007995.3有效
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足助慎太郎
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精工爱普生株式会社
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2009-03-06
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2009-09-09
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H01L21/00
- 本发明提供在一部分的区域能够部分地以高的尺寸精度牢固地,且在低温下效率良好地接合两个基材的接合方法、及利用所述接合方法,在一部分的区域部分地接合两个基材而成的接合体。本发明的接合方法包括:准备第一基材(21)和第二基材(22)的工序;在第一基材(21)上的接合膜形成区域(41)以外的区域设定具有相对于含有硅酮材料的液态材料(30)的疏液性的疏液性区域(43)的工序;向第一基材(21)上供给所述液态材料(30),在接合膜形成区域(41)上形成液态被膜(31)的工序;干燥液态被膜(31),得到接合膜(3)的工序;通过向接合膜(3)赋予能量,在接合膜(3)显示粘接性的工序;通过贴合第一基材(21)和第二基材(22),得到经由接合膜(3)部分地接合这些而成的接合体的工序。
- 接合方法
- [发明专利]接合体及接合方法-CN200910118005.3有效
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五味一博
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精工爱普生株式会社
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2009-02-23
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2009-08-26
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B32B7/12
- 本发明提供一种尺寸精密度出色且在不会发生固体接合法的那类各种问题的情况下也可易地制造的接合体,还提供用于得到该接合体的接合方法。在本发明的接合体中,具有第1基材(21)、第2基材(22)、接合第1基材(21)的接合面(23)和第2基材(22)的接合面(24)的接合膜(3),接合膜(3)含有硅酮材料,接合膜(3)利用通过向其至少一部分区域赋予接合用能量而在接合膜(3)的表面附近区域显现的粘接性,接合第1基材(21)与第2基材(22),在接合膜(3)中设置具有控制第1基材(21)和第2基材(22)之间的距离的功能的间隙材料(32)。
- 接合方法
- [发明专利]接合装置及接合方法-CN201210249158.3有效
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桔胜义;园部司
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平田机工株式会社
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2012-07-18
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2013-03-06
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B23K3/00
- 本发明提供一种接合装置,能够连续地执行引线向基板的移动和接合,实现作业时间的缩短化。该接合装置,将具有与基板抵接的背面及该背面的相反侧的表面的引线,在上述背面的至少一个接合处接合在上述基板上;其特征在于,上述接合装置具备保持单元、移动单元、以及加热单元;该保持单元对上述引线进行保持;该移动单元在供给上述引线的第一位置和上述引线位于上述基板上的接合位置的第二位置之间移动上述保持单元;该加热单元对上述引线的与上述接合处对应的部分进行加热;上述保持单元在上述引线的与上述接合处对应的部位具有使上述引线露出的空隙部。
- 接合装置方法
- [发明专利]接合装置及接合方法-CN201780030478.0有效
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小林泰人;孝多正义
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株式会社新川
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2017-03-22
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2021-11-26
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H01L21/52
- 本发明提供一种接合装置及接合方法。接合装置(1)的接合控制部(60)针对从装载部(40)的基板收容体(90)搬运至搬运道(30)的至少一个基板(80),(i)在通过接合头(20a,20b)完成对基板(80)的所有裸片(72)的接合的情况下,将基板(80)作为已封装裸片的基板而输送至卸载部(50)的基板收容体(90),另一方面,(ii)在未通过接合头(20a,20b)完成对基板(80)的所有裸片(72)的接合的情况下,使基板(80)作为未封装裸片的基板而返回至装载部由此,可通过简易的机构,效率良好地以等级为单位将裸片接合于基板。
- 接合装置方法
- [发明专利]接合装置和接合件-CN201310254972.9有效
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T·霍夫曼;S·卢岑贝格尔;C·西尔;S·魏德尔
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德西福格成型技术有限公司
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2013-06-25
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2018-10-19
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F16D1/108
- 本发明涉及接合装置和接合件。接合装置(1)具有旋转轴线(A)且能绕该旋转轴线转动,并包括:第一接合件(10),其具有沿旋转轴线(A)轴向延伸的平面状的端面齿部(15),且该端面齿部包括沿旋转轴线(A)径向延伸的第一齿(150);第二接合件(20),其具有沿该旋转轴线(A)轴向延伸且沿轴向与端面齿部(15)接合的平面状的配对齿部(25),且该配对齿部包括沿旋转轴线(A)径向延伸的第二齿(250);至少一个用于将第一接合件(10)和第二接合件(20)轴向夹紧的夹紧机构(30),第一接合件和第二接合件借助端面齿部(15)和配对齿部(25)以抗扭的方式连接而传递绕旋转轴线(A)的扭矩。
- 接合装置
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