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- [实用新型]单晶炉-CN202120379054.9有效
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路宙山
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西安奕斯伟设备技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司
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2021-02-18
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2021-12-28
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C30B15/00
- 本公开提供一种单晶炉，包括炉体、软轴提拉装置、软轴、坩埚和籽晶轴，炉体内部设真空腔室，坩埚、软轴和籽晶轴设置于真空腔室内，软轴和籽晶轴位于坩埚的上方，软轴上端连接软轴提拉装置，软轴下端连接籽晶轴；软轴提拉装置包括：卷丝轮单元及传动机构，卷丝轮单元连接在软轴上端，并位于真空腔室内侧；传动机构位于真空腔室外侧，且传动机构与卷丝轮单元连接，驱动卷丝轮单元对软轴卷扬，以在竖直方向上升降籽晶轴。本公开的单晶炉对软轴提拉装置进行了改进，将提拉软轴的传动机构隔离到真空腔室外侧，实现籽晶提拉软轴的快慢速提拉的功能；减少了真空腔室内的洁净度污染，提升晶棒产品品质。
- 单晶炉
- [实用新型]单晶炉连续拉晶设备-CN202220604982.5有效
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郭大伟;陈辉;魏松涛;赵智强
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北京京运通科技股份有限公司
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2022-03-18
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2022-10-14
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C30B15/00
- 本实用新型涉及单晶硅生产技术领域,公开了一种单晶炉连续拉晶设备,该设备包括石英外埚、石英内埚、加热机构、加料机构以及拉晶机构；其中，加料机构用于向石英外埚的腔体中输送固态硅散料；加热机构用于对石英外埚的底部进行加热开孔沿竖直方向贯穿石英内埚；在水平方向上：石英内埚位于石英外埚的腔体的中部；在竖直方向上：石英内埚的顶部位于液态硅的液面之上，石英内埚的底部位于液态硅的液面之下，且石英内埚的底部与石英外埚的底部之间存在间隙；拉晶机构包括软轴，软轴用于与液面接触以形成硅晶体，且软轴在石英内埚上的正投影被开孔完全覆盖。
- 单晶炉连续设备
- [实用新型]一种新型硅芯炉籽晶盘换位机构-CN201320346924.8有效
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刘剑
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刘剑
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2013-06-18
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2013-11-27
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C30B13/00
- 本实用新型涉及一种新型硅芯炉籽晶盘换位机构，包括硅芯提拉头、籽晶盘及炉体，所述炉体内部设有硅芯提拉头并且该硅芯提拉头上端连接提拉钢绳软轴，位于炉体上表面水平安装一个换位滑台并且此换位滑台与换位马达相接，同时，换位滑台相邻位置的炉体上表面垂直安装一个转位马达；所述硅芯提拉头侧面设置钢丝导轨，位于硅芯提拉头下端连接晶盘座，该晶盘座下方挂接籽晶盘，位于炉体上方封口处设置有密封仓。本实用新型有益效果为：由转位马达、换位滑台、换位马达、籽晶盘、提拉钢绳软轴之间的相互协调PLC控制来实现硅芯的提拉动作，整体结构可使硅芯区熔法拉制更加稳定，在炉体内径不改变的情况下最大限度的提高单机产能
- 一种新型硅芯炉籽晶换位机构
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