专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种扫描电镜装置-CN202222358604.6有效
  • 姚林松;陈丽祥;黄川;李雪松 - 威科赛乐微电子股份有限公司
  • 2022-09-06 - 2023-03-03 - H01J37/28
  • 本实用新型涉及半导体制造领域,公开了一种扫描电镜装置,包括:电子枪,设置在电子真空腔室内用于产生检测分析需要的电子;扫描电镜,设置在电子枪的电子出口处用于调整电子的活动轨迹;还包括样品台,用于放置需要进行检测分析的晶圆,扫描电镜包括第一目镜腔室和第二目镜腔室,第一目镜腔室和第二目镜腔室内分别设置有调节电压以使得穿过第一目镜腔室和第二目镜腔室的电子能够轰击到样品台上。
  • 一种扫描电镜装置
  • [发明专利]一种扫描电镜的控制系统及控制方法-CN202211103812.X在审
  • 苏韶生;胡金龙;董守斌 - 中山依数科技有限公司
  • 2022-09-09 - 2023-01-03 - H01J37/24
  • 本发明涉及扫描电镜技术领域,具体为一种扫描电镜的控制系统及控制方法,包括电路系统和聚光通道,聚光通道,聚光通道的一侧连接有视频放大器,视频放大器的外侧连接有第一显像管和第二显像管,第二显像管的一侧连接有扫描发生器,聚光通道的中部安装有第一扫描线圈,第一显像管的中部安装有第三扫描线圈,第二显像管的中部安装有第二扫描线圈。该扫描电镜的控制系统及控制方法中,通过其中设置的驱动滚轮组方便对样品台进行调节,使得电子束的发射角度调节,方便其精确被探头检测,且通过上聚光镜和下聚光镜将电子束进行聚光,便于其观察,通过视频放大器、第二扫描线圈、第三扫描线圈进一步提高显像管的亮度,保证显示成像清晰。
  • 一种扫描电镜控制系统控制方法
  • [实用新型]一种离子切割专用样品台-CN202222267287.7有效
  • 雷瑾 - 云南协研科技有限公司
  • 2022-08-26 - 2023-03-21 - G01N23/2202
  • 本实用新型公开了一种离子切割专用样品台,包括可安装于扫描电镜上的样品台底座,所述样品台底座上可拆卸设置有用于固定样品的样品承片。本实用新型提供的离子切割专用样品台,实现了样品在离子切割仪与扫描电镜之间的快速转移,且还能增加样品强度,保护样品,降低样品受损的概率,又无需在重新进行切割加工时,再次调整样品空间参数,提升了样品加工的便利性
  • 一种离子切割专用样品

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