|
钻瓜专利网为您找到相关结果 575764个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]一种薄膜检测装置-CN202310404432.8在审
-
郭浩东;靳佳
-
北京中科科仪股份有限公司
-
2023-04-17
-
2023-05-19
-
G01N23/2204
- 本发明提供的一种薄膜检测装置,属于光学检测技术领域,包括:样品室结构和支撑结构、透镜结构、真空系统,其中样品室结构内部形成有容纳腔,样品室结构上端设置有扫描电镜;样品室结构开设适于光束通过的第一开孔;支撑结构与所述样品室结构连接,并适于支撑样品室结构;透镜结构设置于样品室结构的下方,适于接收扫描电镜的光束;真空系统设置于样品室结构的侧方。本装置将真空系统放置在样品室结构的侧方,并将透镜结构放置在样品室结构的下方,保证样品室结构上端的扫描电镜发射的光束能够通过第一开孔被透镜结构接收到,在对薄膜材料进行检测时无需扫描电镜和透射电镜分别对薄膜材料进行检测
- 一种薄膜检测装置
|