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[发明专利]内注入式超导回旋加速器中心区分体分层式磁铁塞块结构-CN201910729996.2有效
发明人：葛剑;陈根;侯小雨;潘结春;杨庆喜;陈永华;冯汉升;宋云涛 -专利权人：合肥中科离子医学技术装备有限公司
申请日： 2019-08-08 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H05H7/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种内注入式超导回旋加速器中心区分体分层式磁铁塞块结构，该磁铁塞块结构包括磁铁结构上与磁铁结构下，且磁铁结构上和磁铁结构下关于中平面镜像对称，所述磁铁结构下包括磁铁本体下主体，磁铁结构上包括磁铁本体上主体，所述磁铁本体下主体上安装有磁铁定位销、磁铁本体下分体、定位销螺塞和螺栓。可以在兼顾磁测系统和离子源的安装运行的前提下，使磁铁结构关于中平面镜像对称，从而为中心区提供合适的Bump磁场，实现增强粒子的轴向聚焦，降低束流损失率的目标；该结构能实现快速准确的安装与拆卸，重复定位精度高，为磁场测试以及离子源头部的调节与更换提供了极大的便利。
注入超导回旋加速器中心区分体分层磁铁结构

[外观设计]扫描电子显微镜-CN202230734704.7有效
发明人：胡勇;张淼淼;张雪侠;潘结春 -专利权人：国仪量子(合肥)技术有限公司
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： 24-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：扫描电子显微镜。2.本外观设计产品的用途：本产品用于样品表征的采集、分析、成像，特别适用于半导体工业、生物医药领域。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
扫描电子显微镜

[实用新型]扫描电镜背散射探头的安装结构和具有其的扫描电镜-CN202222807863.2有效
发明人： 潘结春;吴天成;张俊 -专利权人：国仪量子（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扫描电镜背散射探头的安装结构和具有其的扫描电镜，所述扫描电镜背散射探头的安装结构包括：下极靴；第一安装板，所述第一安装板与所述下极靴的下表面贴合；第二安装板，所述第二安装板可拆卸地安装在所述第一安装板上；探头，所述探头设在所述第一安装板和所述第二安装板之间；弹性件，所述弹性件分别与所述下极靴和所述第一安装板相连，所述弹性件常驱动所述第一安装板贴合所述下极靴的下表面。根据本实用新型实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构具有拆装方便、可靠性强等优点。
扫描电镜散射探头安装结构具有

[实用新型]扫描电镜样品仓-CN202222787772.7有效
发明人：吴天成;潘结春 -专利权人：国仪量子（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-10-20 - 公布日： 2023-02-21 - 主分类号： H01J37/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扫描电镜样品仓，所述扫描电镜样品仓包括仓体、仓门、镜筒和真空管，所述仓体包括具有仓口的储物空间，所述仓体上设有用于连接真空设备的转接头，所述仓门与所述仓体相连，并可打开和关闭所述仓口，所述镜筒与所述仓体相连，所述真空管与所述镜筒相连，以对所述镜筒内抽真空。根据本实用新型实施例中的扫描电镜样品仓，可以同时对镜筒和仓体内抽真空，从而可以减少整体抽真空的时间，提高扫描电镜的工作效率。
扫描电镜样品

[实用新型]扫描电镜-CN202221694549.1有效
发明人：吴天成;唐琪杰;潘结春;潘建海;刘振培 -专利权人：无锡量子感知研究所
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扫描电镜，包括：仓门、位移台机构、驱动组件，所述位移台机构与所述仓门可转动地相连；所述驱动组件与所述位移台机构相连，以驱动所述位移台机构转动。通过应用上述技术方案，可以增加扫描角度，提高扫描效果。
扫描电镜

[实用新型]扫描电镜-CN202221840399.0有效
发明人：吴天成;潘结春;唐琪杰;张伟 -专利权人：国仪量子（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-07-15 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G01N23/2251 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扫描电镜，包括：导轨、支架、负载台、驱动件，所述支架与所述导轨相连并沿所述导轨可移动，所述负载台支撑于所述支架上；所述驱动件与所述支架传动连接，以驱动所述支架移动，所述驱动件与所述导轨沿垂直于所述导轨的方向相对设置。通过应用上述技术方案，驱动件可以设于导轨侧边，可以提高空间利用率，提高扫描电镜的紧凑性。
扫描电镜

[实用新型]扫描电镜二次电子探测器-CN202221652575.8有效
发明人：吴天成;潘结春;张俊 -专利权人：国仪量子（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扫描电镜二次电子探测器，所述扫描电镜二次电子探测器包括：筒体组件、栅网组件、高压筒体、导光柱、闪烁体、外壳、光电倍增镜和电源，高压筒体包括在筒体组件的轴向方向上连接的上高压筒段和下高压筒段。根据本实用新型的扫描电镜二次电子探测器，通过设置下高压筒段的外周壁的径向尺寸在上高压筒段至下高压筒段的方向上逐渐减小，使得高压筒体在传输高压时，最大程度避免高压放电现象的发生，从而最大程度避免高压放电现象对扫描电镜二次电子探测器的探测效率和成像效果的影响。
扫描电镜二次电子探测器

[实用新型]扫描电镜二次电子探测器-CN202221652593.6有效
发明人： 潘结春;陈禹涛;吴天成;张俊 -专利权人：国仪量子（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扫描电镜二次电子探测器，所述扫描电镜二次电子探测器包括：筒体组件、栅网组件、导光柱、闪烁体、高压线、馈电组件、KF法兰支架、紧固件、外壳、光电倍增镜和电源。根据本实用新型的扫描电镜二次电子探测器，通过在馈电组件的馈电端设置馈口，馈口内具有馈电针，馈电针与高压线的另一端通过贯穿孔连接，KF法兰支架设于馈电端和筒体组件之间，实现从馈口到第一容纳空间的密封性，从而保证高压线和馈电针处在密封的空间内，进而保证扫描电镜二次电子探测器工作时，高压线和馈电针位于真空密封的环境内，有效减少高压线对电信号的干扰，使二次电子成像更加清晰。
扫描电镜二次电子探测器

[实用新型]减振结构-CN202220432603.9有效
发明人： 潘结春;吴天成;徐春风;张俊 -专利权人：国仪量子（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-03-01 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： F16F3/087 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种减振结构，包括：支架，所述支架具有安装座，且所述支架包括多个支板，多个所述支板沿一轴向间隔布置，相邻两个所述支板通过减振件配合连接。根据本实用新型实施例的减振结构，通过设置多个支板层叠布置，并通过减振件连接相邻两个支板，使得支板可以在布置方向上发生弹性变形，通过弹性变形来吸收真空泵运作过程中传递到样品室的振动，实现减振效果，真空泵和样品座可通过安装座安装在支架上，整体结构简单，装配拆卸方便。
结构

[发明专利]扫描电镜二次电子探测器-CN202210746321.0在审
发明人：吴天成;潘结春;张俊 -专利权人：国仪量子（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本发明公开了一种扫描电镜二次电子探测器，所述扫描电镜二次电子探测器包括：筒体组件、栅网组件、高压筒体、导光柱、闪烁体、外壳、光电倍增镜和电源，高压筒体包括在筒体组件的轴向方向上连接的上高压筒段和下高压筒段。根据本发明的扫描电镜二次电子探测器，通过设置下高压筒段的外周壁的径向尺寸在上高压筒段至下高压筒段的方向上逐渐减小，使得高压筒体在传输高压时，最大程度避免高压放电现象的发生，从而最大程度避免高压放电现象对扫描电镜二次电子探测器的探测效率和成像效果的影响。
扫描电镜二次电子探测器

[实用新型]一种扫描电镜样品室运输包装支撑结构及包装固定结构-CN202221066990.5有效
发明人： 潘结春;刘振培;徐春风;吴天成;张俊 -专利权人：国仪量子(合肥)技术有限公司
申请日： 2022-05-06 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： B65D25/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扫描电镜样品室运输包装支撑结构及包装固定结构，包装支撑结构包括高度可调节的支撑组件，以及用于调节所述支撑组件高度的调节组件，所述支撑组件固定于样品室底部悬空部位；所述支撑组件由上支撑块和下支撑块构成，两个支撑块均为楔形，接触面为斜面，上支撑块的顶面和下支撑块的底面均为平面；所述调节组件由固定于所述支撑组件一侧的支座，以及穿过所述支座与所述上支撑块相抵的顶杆构成，所述顶杆上设有外螺纹，所述支座上设有供所述顶杆穿过的螺纹孔；通过旋入/旋出顶杆实现所述上支撑块与所述下支撑块的相对移动，进而实现所述上支撑块顶面的高度调节。
一种扫描电镜样品运输包装支撑结构固定

[实用新型]用于扫描电镜的位移台机构-CN202220774147.6有效
发明人：张俊;吴天成;潘结春 -专利权人：国仪量子（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-04-02 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： G01N23/2251 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于扫描电镜的位移台机构，位移台机构包括：工作台；负载台，所述负载台可移动地设置于所述工作台上；驱动机构和滚珠丝杠组件，所述驱动机构所输出的动力通过所述滚珠丝杠组件传动至所述负载台以控制所述负载台移动；弹性件，所述弹性件张紧连接于所述负载台与所述工作台之间。根据本实用新型的位移台机构消除了滚珠丝杠组件在反向移动过程时的空回行程，提高了负载台移动的稳定性，进一步提高了负载台移动的精度。
用于扫描电镜位移机构

[实用新型]背散射采集卡-CN202221619425.7有效
发明人：吴天成;潘结春;张俊 -专利权人：国仪量子（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种背散射采集卡，包括：连接法兰、采集卡本体和第一密封件。连接法兰固定在样品舱；采集卡本体包括设置在连接法兰朝向样品舱一侧的第一信号放大板、另一侧的转接板，第一信号放大板与转接板电连接，且转接板朝向连接法兰的一侧涂覆有第一密封层；第一密封件设置在第一密封层与连接法兰之间。连接法兰固定在样品舱上，可以通过第一密封件与转接板上的第一密封层形成密封，以保证背散射采集卡及样品舱的真空密封性，减少环境对扫描电子显微镜的干扰，通过将第一信号放大板设置在样品舱内，可以使其与探测器尽可能靠近，以降低由于信号传输以及环境干扰造成的信号损失，增加扫描电子显微镜的观测效果。
散射采集

[实用新型]扫描电镜二次电子探测器-CN202221625047.3有效
发明人： 潘结春;陈禹涛;吴天成;张俊 -专利权人：国仪量子（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扫描电镜二次电子探测器，所述扫描电镜二次电子探测器包括：壳体、电源、光电倍增管、导光柱、法兰、电连接件和导线。根据本实用新型的扫描电镜二次电子探测器，通过在壳体内限定出容纳电源、光电倍增管、导光柱和导线的容纳空间，法兰与壳体连接，电连接件穿设于壳体上，使得壳体作为扫描电镜二次电子探测器的装配基体，从而使扫描电镜二次电子探测器的整体结构紧凑、体积小，进而减少SEM在装配扫描电镜二次电子探测器时所需的装配空间，同时更易于安装在SEM上。另外，该扫描电镜二次电子探测器的结构简单，制造成本低，加工制造便利，可以有效地缩短加工制作的成本及周期，同时拆装及维护更为便捷。
扫描电镜二次电子探测器

[实用新型]样品舱-CN202221625963.7有效
发明人：吴天成;潘结春;张俊 -专利权人：国仪量子（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种样品舱，样品舱具有容置空间，样品舱包括：舱门、位移台和支撑座。舱门可选择地开闭容置空间；位移台的一端设置在舱门上并形成为悬臂梁；支撑座设置在容置空间内，且适于在舱门关闭时，在位移台的另一端托举悬臂梁。当舱门关闭时，支撑座可以对位移台远离舱门的一端进行支撑，又因位移台的一端设置在舱门上，所以位移台被舱门以及支撑座托举，形成稳定结构。在通过电子显微镜对样品进行观测时，位移台能够保持稳定，从而使电子显微镜的测样精度得到提升。
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