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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种扫描电子显微镜电子枪灯丝枪尖振动位移激光测量方法-CN202010590578.2有效
发明人：彭朝琴;孙郑义 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种扫描电子显微镜电子枪灯丝枪尖振动位移激光测量方法，利用三个多普勒激光测振探头测量电子枪灯丝枪尖的振动位移，并根据振动位移测量结果，计算得到电子枪灯丝枪尖的实际振动位移；实际位移的计算结果能够用于削弱电子枪灯丝枪尖自身振动的影响，进而提升利用扫描电子显微镜进行集成电路检测的准确性。
一种扫描电子显微镜电子枪灯丝振动位移激光测量方法

[发明专利]稳定冷场发射电子源-CN201210049064.1有效
发明人： K·刘;G·A·施温 -专利权人： FEI公司
申请日： 2012-02-20 - 公布日： 2012-08-29 - 主分类号： H01J1/304 文献下载
摘要：公开一种用于诸如透射电子显微镜(TEM)、扫描透射电子显微镜(STEM)或扫描电子显微镜(SEM)之类的聚焦电子束系统的冷场发射(CFE)电子源。源采用CFE尖头后面的发射器包围电极，它与抽取器电极结合来定义封闭体积，该体积能够通过电子碰撞解吸(EID)以及来自定位在发射器包围电极与抽取器电极之间的被加热灯丝的辐射加热来彻底清洁。抽取器电极可具有沉孔，沉孔限制在抽取器所生成的后向散射电子到达源和枪的尚未通过EID清洁的部分。
稳定冷场发射电子

[发明专利]通过脉冲光准备显微镜样品的方法和装置-CN201310158953.6有效
发明人： H·斯特格曼 -专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请日： 2013-02-17 - 公布日： 2019-01-08 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明涉及通过光脉冲光来准备显微镜样品的方法和装置，其中大于100μm³的材料体积被清除。该方法包括以下步骤：通过扫描电子显微镜(SEM)或者聚焦离子束(FIB)检查物体，其中该检查包括记录物体的图像；在该物体中勾勒出待研究的区域；基于物体的图像勾勒出激光加工路径，使得可以从该物体准备出样品；采用沿着被勾勒的激光加工路径的激光加工，除去待蚀除的体积；以及通过扫描电子显微镜(SEM)或者聚焦离子束(FIB)检查该物体。
通过脉冲准备显微镜样品方法装置

[发明专利]材料力学性能原位测试装置及其测试系统-CN201811492915.3在审
发明人：韩晓东;马腾云;毛圣成;翟亚迪;马东锋;张剑飞;张家宝;张泽 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2018-12-07 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： G01N3/08 文献下载
摘要：本发明涉及力学性能测试及微观原位表征技术领域，公开了一种材料力学性能原位测试装置及其测试系统，材料力学性能原位测试装置包括扫描电子显微镜以及置于扫描电子显微镜的腔体内的力学实验台；力学实验台包括支撑框架以及设于支撑框架上的夹具机构、驱动机构和测量机构；支撑框架连接扫描电子显微镜的移动平台，夹具机构包括用于同时夹持和加热样品的夹具；驱动机构用于驱动夹具机构，以使样品产生应力和应变；测量机构用于测量应力和应变。
材料力学性能原位测试装置夹具机构扫描电子显微镜支撑框架力学实验台测量机构测试系统加热样品驱动机构夹持力学性能测试力学性能试验夹具移动平台原位表征高应力测量体内微观测试驱动监测

[发明专利]一种确定热再生沥青混合料新旧沥青溶合度指标的试验方法-CN201611178707.7在审
发明人：顾兴宇;姜严旭;周洲 -专利权人：东南大学
申请日： 2016-12-19 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： G01N23/22 文献下载
摘要：包括以下步骤步骤一对旧料进行预处理；步骤二采用纳米TiO2粉末对新沥青进行标记；步骤三使用特定新集料，用以区分RAP集料，进行热再生沥青混合料配合比设计并成型试件；步骤四将热再生沥青混合料试件切片，选择合适区域进行扫描电子显微镜试验的制样；步骤五进行扫描电子显微镜微观观测以及能谱仪试验，根据硅元素、钛元素和硫元素的分布图确定再生沥青混合料中新旧沥青的溶合状态；步骤六提取新旧沥青溶合度的定量指标。本发明借助扫描电子显微镜/能谱仪，直接观测再生混合料中新旧沥青的溶合状态，并精确测定溶合度，显著提高了测试方法的准确性。
一种确定再生沥青混合新旧溶合指标试验方法

[发明专利]膜层厚度检测方法-CN201911257376.X在审
发明人：王士敏;刘太兴;朱泽力;曾胜祥;李连伟;李海峰 -专利权人：深圳莱宝高科技股份有限公司
申请日： 2019-12-10 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： G01B15/02 文献下载
摘要：本发明属于膜层厚度检测技术领域，提供了一种膜层厚度检测方法，包括以下步骤：制作样品；对样品的端面进行蚀刻；采用扫描电子显微镜对蚀刻后的端面进行检测。本发明先通过在样品的端面上蚀刻出高度不同的台阶，使得在表面形态相近的第一膜层和第二膜层之间形成清晰的分界线，然后通过扫描电子显微镜对蚀刻后的端面进行观测，即可测量出第一膜层和/或第二膜层的厚度，从而有效地解决了采用扫描电子显微镜难以检测出表面形态相近的数层薄膜间膜层厚度的技术问题
厚度检测方法

[发明专利]扫描电子显微镜的样品及其制备方法-CN202310282701.8在审
发明人：张韩;谭宇琦;李杨;张琛;费雅茜 -专利权人：聚束科技（北京）有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01N23/2202 文献下载
摘要：本申请公开了一种扫描电子显微镜的样品及其制备方法。其中，该制备方法包括：将初始样品固定于制样模板的指定区域；在制样模板上相应于初始样品的边缘间隔设置与初始样品等高的第一导电胶层；对带有初始样品及第一导电胶层的制样模板进行镀膜处理，得到供扫描电子显微镜观测的成品样品本申请实施例制备的成品样品，通过在初始样品的边缘设置等高的第一导电胶层，使得样品的边缘与中心所受的电场力均匀，像散接近一致，利于在图像采集过程进行像散参数的调试，可以避免样品边缘的虚图情况，进而能够使得在减速模式下的扫描电子显微镜获取样品质量良好且图像质量较佳的完整数据
扫描电子显微镜样品及其制备方法

[发明专利]一种混合反馈式先进过程控制系统-CN201210568146.7有效
发明人：蔡博修;林益世 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2012-12-24 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种混合反馈式先进过程控制系统，包括测量SEM关键尺寸的扫描电子显微镜模块，所述扫描电子显微镜模块将测量得到的SEM关键尺寸数据与曝光能量建立反馈关联，对曝光能量进行监控，其特征在于，所述系统还包括测量光学关键尺寸的光学模块，所述光学模块通过将收集的光学关键尺寸数据与所述SEM关键尺寸数据建立关联，进而与所述曝光能量建立反馈关联，对非关键工艺层的曝光能量进行监控，以降低所述扫描电子显微镜关键尺寸模块负载，提高产能。
一种混合反馈先进过程控制系统

[实用新型]一种钙质砂试件拉或压后的颗粒观察测试装置-CN201922296689.8有效
发明人：庄迎春;宋睿;徐建强;汪明元;沈世龙;宁顺理 -专利权人：中国电建集团华东勘测设计研究院有限公司
申请日： 2019-12-19 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： G01N15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种钙质砂试件拉或压后的颗粒观察测试装置，包括上支座、支架和下支座，所述上支座内侧顶面设有扫描电子显微镜，所述扫描电子显微镜可在上支座上左右移动；所述支架中部设有承台，所述承台作为颗粒观察测试装置的试验平台本实用新型提供一种钙质砂试件拉或压后的颗粒观察测试装置，通过供力系统可以提供拉力作用或者压力作用或者匀速加载或者变速加载等多种加载模式，以方便观察不同荷载作用下钙质砂试件的破坏截面；通过左右移动扫描电子显微镜可以细致地观察荷载作用下
一种钙质砂试件拉颗粒观察测试装置

[实用新型]基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统-CN201920718887.6有效
发明人：陈六彪;王俊杰;郭嘉;季伟;顾开选 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2019-05-17 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及扫描电子显微镜样品台冷却技术领域，提供基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，包括：容器、第一真空腔体和第二真空腔体，还包括样品台、低温冷头以及气源；所述样品台设置于所述容器上，所述低温冷头用于为所述容器提供冷量该基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，基于低温液体潜热制冷，在切断低温冷头和容器之间的冷量输送后，系统处于零振动状态，并且样品台能够长时间维持在设定温度，温度波动范围也很小。
样品台真空腔体冷头扫描电子显微镜低温液体制冷系统冷量气源冷却本实用新型冷却技术时间维持温度波动零振动潜热制冷

[实用新型]基于低温固体冷却的扫描电子显微镜制冷系统-CN201920719106.5有效
发明人：陈六彪;王俊杰;郭嘉;崔晨;顾开选 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2019-05-17 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及扫描电子显微镜样品台冷却技术领域，提供基于低温固体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，包括：容器、第一真空腔体和第二真空腔体，还包括样品台、低温冷头以及液体源；所述样品台设置于所述容器的上方，所述低温冷头用于为所述容器提供冷量该基于低温固体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，由液体转化的低温固体的潜热制冷以实现样品台的温度的调控，在切断低温冷头和容器之间的冷量输送后，系统处于零振动状态，并且样品台能够长时间维持在设定温度，温度波动范围很小
样品台真空腔体冷头扫描电子显微镜低温固体制冷系统液体源冷量冷却本实用新型冷却技术时间维持温度波动液体转化零振动潜热制冷调控

[实用新型]隔绝空气条件下的样品传输装置-CN202221158179.X有效
发明人：周宏敏 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2022-05-12 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H01J37/18 文献下载
摘要：本实用新型提供一种隔绝空气条件下的样品传输装置，涉及扫描电子显微镜技术领域。该装置用于将样品从样品交换仓(5)传输至扫描电子显微镜样品仓(6)，装置包括：盒体(1)，一端开口，内部开设有用于装载样品的空腔；套件(2)，三面套设于盒体(1)外壁，套件(2)固定于盒体(1)的开口端本实用新型可以实现将样品在隔绝空气条件下传输至扫描电子显微镜的样品仓，该装置工艺简单，易于制作且成本低廉。
隔绝空气条件下样品传输装置

[实用新型]一种用于纤维检测的扫描电子显微镜载物台-CN202222043087.3有效
发明人：袁莉民;丛天孺 -专利权人：扬州大学
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于纤维检测的扫描电子显微镜载物台，涉及扫描电子显微镜技术领域，包括台体，所述台体的上方安装有底板，所述底板的左端配置有压板，所述压板的右端的上方连接有螺杆，所述压板的右侧开设有卡槽该用于纤维检测的扫描电子显微镜载物台，通过压板和螺杆的配合，使得压板和底板能够实现纤维样品竖直方向的夹紧，从而使得纤维样品在冷冻后竖直固定在载物台上，从而方便刀片对纤维样本截面的截取操作，方便实验的进行
一种用于纤维检测扫描电子显微镜载物台

[实用新型]一种用于扫描电子显微镜纤维检测的载物台-CN202221248708.5有效
发明人：王力轻 -专利权人：上海埃泽思生物科技有限公司
申请日： 2022-05-24 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及扫描电子显微镜配件技术领域，且公开了一种用于扫描电子显微镜纤维检测的载物台，包括台体，所述台体的左侧安装有螺杆，所述螺杆的顶端连接有固定板，所述固定板的底端设置有转筒，所述台体的两侧开设有插槽该用于扫描电子显微镜纤维检测的载物台，通过固定板、螺杆和转筒的配合，能够在转动转筒时使螺杆从转筒内伸出或者缩回转筒的内部，从而达到固定板在台体上升降的目的，使得固定板能够起到固定纤维的作用，避免纤维在进行液氮冷冻等操作时移动
一种用于扫描电子显微镜纤维检测载物台

[发明专利]一种用于附着穿透式电子显微镜样品的硅网及其制备方法-CN202010275256.9在审
发明人：李德元 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-04-09 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：本申请提供了一种用于附着穿透式电子显微镜样品的硅网及其制备方法，该硅网可具有设定的形态，包括：硅衬底，以及自硅衬底延伸出的附着部，附着部，用于放置穿透式电子显微镜样品，上述的制备方法包括：提供半导体晶圆，将晶圆加工成硅衬底以及自硅衬底延伸出的附着部，以形成用于附着穿透式电子显微镜样品的硅网。本申请提供的硅网能够替代传统的金属网，改善样品分析的品质，作为消耗品的硅网成本更低。
一种用于附着穿透电子显微镜样品及其制备方法

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