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[发明专利]一种感光性聚合物及其制备方法和用途-CN201810558655.9在审
发明人：邓海;杨振宇;张妍 -专利权人：珠海雅天科技有限公司
申请日： 2018-06-01 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及一种感光性聚合物及其制备方法和用途。具体地，本发明公开了一种感光性聚合物、含所述感光性聚合物的感光性树脂组合物，所述感光性树脂在化学放大型光刻胶，特别是浸没式光刻胶中的应用。
感光性聚合物感光性树脂组合物化学放大型光刻胶感光性树脂浸没式光刻制备应用

[发明专利]一种感光性接枝聚合物以及含有其的感光性树脂组合物-CN202211496428.0在审
发明人：梁为民;李晗;汪波 -专利权人：茂名清荷科技有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： C08F265/06 文献下载
摘要：本发明属于感光性树脂技术领域，涉及一种感光性接枝聚合物以及含有其的感光性树脂组合物，感光性接枝聚合物由（甲基）丙烯酸与甲基丙烯酸缩水甘油醚反应，生成一个带烯键的侧链，另外由大分子单体形成另外一个侧链聚合物，所述大分子单体是具有碳原子数8‑20的桥接环式烃基的聚合性单体、与不具有桥接环式烃基聚合性单体共聚而得的。含有上述感光性接枝聚合物、活性单体、流平剂、偶联剂、光聚合引发剂和溶剂的感光性树脂组合物，能够形成颜料的分散稳定性优异、且透明性也优异的固化涂膜，并且具有碱显影性，而且显影后没有残胶，耐高温并且形成光阻后经显影后残膜率高的性能，并可以提供配合在该感光性树脂组合物中的感光性接枝聚合物。
一种感光性接枝聚合物以及含有树脂组合

[发明专利]感光性导电薄膜、导电膜的形成方法和导电图案的形成方法-CN201180018518.2在审
发明人：山崎宏;五十岚由三 -专利权人：日立化成工业株式会社
申请日： 2011-05-10 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： H01B5/14 文献下载
摘要：本发明的感光性导电薄膜（10）具有将薄膜支撑体（1）、含有有机导电材料的导电层（2）、和感光性树脂层（3）依次层叠而成的结构。感光性导电薄膜（10）中，有机导电材料优选为噻吩衍生物的聚合物，感光性树脂层（3）优选由含有粘合剂聚合物、具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物和光聚合引发剂的感光性树脂组合物形成。
感光性导电薄膜形成方法图案

[发明专利]一种含金属元素的感光性聚合物、组合物及其应用-CN201910388391.1在审
发明人：邓海;杨振宇;钱晓飞 -专利权人：珠海雅天科技有限公司
申请日： 2019-05-10 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明公开了一种含金属元素的感光性聚合物、组合物及其应用，所述感光性聚合物中至少包含以下结构单元：1)能够产生酸性基团的结构单元；2)含有金属离子的结构单元；3)具有鎓盐基团的结构单元，所述结构单元1)所述感光性组合物包括以下组分：A)上述感光性聚合物；B)溶剂，所述溶剂为环己酮、EL、PGMEA或PGME中的一种或多种混合。所述感光性聚合物或所述感光性组合物可应用于硬化膜或光刻胶的制备中。与现有技术相比，在38～43μC/cm2曝光光强下，采用本发明方案感光性聚合物制得的光刻图案的LWR在5左右之间，分辨率可达80nm以上。
一种金属元素感光性聚合物组合及其应用

[发明专利]感光性树脂组合物-CN201280024213.7有效
发明人：汤川升志郎 -专利权人：日产化学工业株式会社
申请日： 2012-05-09 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： G03F7/023 文献下载
摘要：本发明的课题是，提供能够明显改善透明性、耐热性、耐热变色性、耐溶剂性、和构图性的感光性树脂组合物。因而提供了一种感光性树脂组合物，含有聚合物(A)和感光剂(B)，所述聚合物(A)以构成聚合物的结构单元的总摩尔数的20～100摩尔%的比例含有带硼酸基的结构单元、带硼酸酯基的结构单元、或这些结构单元的组合聚合物(A)的重均分子量是1000～50000。并且提供了由上述感光性树脂组合物得到的固化膜，以及由上述感光性树脂组合物制作的微透镜形成用感光性树脂组合物。
感光性树脂组合

[发明专利]感光性转印材料、图案形成方法及蚀刻方法-CN201480069251.3有效
发明人：佐藤守正 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2014-12-01 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种感光性转印材料、图案形成方法及蚀刻方法，所述感光性转印材料包括支撑体与感光性树脂组合物层，前述感光性树脂组合物层含有(A)包含聚合物的聚合物成分及(B)光酸产生剂，所述聚合物含有具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元(a1)，且前述感光性树脂组合物不具有乙烯性交联结构，所述感光性转印材料为正型，且耐热矩形性优异、耐蚀刻剂性优异、抗蚀剂剥离性优异、加工时的扬尘少。
感光性材料图案形成方法蚀刻

[发明专利]感光性转印材料、树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法-CN201980034172.1在审
发明人：松田知树;两角一真;山田悟 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2019-05-10 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：一种感光性转印材料以及使用了上述感光性转印材料的树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法，上述感光性转印材料具有临时支承体及感光性树脂层，上述感光性树脂层包含满足下述a1及a2中的至少一个的聚合物成分以及光产酸剂，上述聚合物成分的玻璃化转变温度为90℃以下。a1：包含聚合物的聚合物成分，该聚合物具有包含被酸分解性基团保护的酸基的结构单元及包含pKaH为3以上的基团的结构单元；a2：聚合物成分，其包含：具有包含被酸分解性基团保护的酸基的结构单元的聚合物以及具有包含pKaH为3以上的基团的结构单元的聚合物。
感光性材料树脂图案制造方法电路布线触摸面板

[发明专利]感光性转印材料、树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法-CN201980034383.5在审
发明人：松田知树;两角一真 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2019-05-10 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种感光性转印材料以及使用上述感光性转印材料而成的树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法，该感光性转印材料具有临时支承体及感光性树脂层，上述感光性树脂层包含聚合物A、光产酸剂及聚合物F，该聚合物A包含具有被酸分解性基团保护的酸基的结构单元，该聚合物F包含具有氟原子的结构单元，上述聚合物F中的氟原子的含量相对于上述聚合物F的总质量为20质量％以上且50质量％以下，上述聚合物F满足f1f1：上述聚合物F的I/O值为0.45以上。f2：上述聚合物F的I/O值小于0.45且上述聚合物F包含具有酸基或碱性基团的结构单元。
感光性材料树脂图案制造方法电路布线触摸面板

[发明专利]感光性组合物、转印薄膜、固化膜、层叠体、触摸面板、聚合物的制造方法及感光性组合物的制造方法-CN202080066634.0在审
发明人：儿玉邦彦 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2020-09-01 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： G03F7/027 文献下载
摘要：本发明提供一种感光性组合物、转印薄膜、固化膜、层叠体、触摸面板、聚合物的制造方法及感光性组合物的制造方法，所述感光性组合物包含在侧链上具有聚合性官能团的聚合物和包含铵阳离子和羧酸根阴离子的铵化合物。
感光性组合薄膜固化层叠触摸面板聚合物制造方法

[发明专利]感光性树脂组合物、聚合物前体、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件-CN201880035123.5在审
发明人：川端健志;吉田健太;岩井悠;涩谷明规 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2018-05-28 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： G03F7/027 文献下载
摘要：本发明提供一种感光性树脂组合物、以及聚合物前体、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件，所述感光性树脂组合物在成型为固化膜时具有高断裂伸长率，并且保存稳定性优异。所述感光性树脂组合物，其包含选自聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的聚合物前体、光自由基聚合引发剂及溶剂，聚合物前体中所含有的中和点的pH在7.0～12.0的范围的酸基的酸值在2.5～34.0mgKOH/g的范围，聚合物前体具有自由基聚合性基，或者所述感光性树脂组合物包含除了聚合物前体以外的自由基聚合性化合物。
聚合物前体感光性树脂组合物固化膜前体光自由基聚合引发剂自由基聚合性化合物自由基聚合性基半导体器件保存稳定性断裂伸长率层叠体中和点酰亚胺溶剂聚苯酸基自聚成型制造

[发明专利]感光性转印材料以及电路布线的制造方法-CN201780088772.7在审
发明人：藤本进二;松田知树;山田悟 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2017-12-25 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：一种感光性转印材料以及使用了感光性转印材料的电路布线的制造方法，所述感光性转印材料具有临时支撑体以及感光性树脂组合物层，所述感光性树脂组合物层含有包含聚合物的聚合物成分和光产酸剂，所述聚合物包含具有羧基以缩醛的形态被保护的基团的构成单元(a‑1)、或具有酚性羟基以缩醛的形态被保护的基团的构成单元(a‑2)，聚合物成分包含具有酚性羟基的构成单元(b‑1)以及具有醇性羟基的构成单元(b‑2)中的至少一个，在聚合物成分的总构成单元中所占的构成单元
构成单元聚合物感光性转印材料感光性树脂组合物层酚性羟基缩醛临时支撑体醇性羟基电路布线光产酸剂羧基总计制造

[发明专利]感光性转印材料、树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法-CN201980035400.7在审
发明人：藤本进二;汉那慎一;石坂壮二;两角一真;筱田克己;松田知树 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2019-05-10 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：本发明提供一种感光性转印材料以及使用了上述感光性转印材料的树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法，该感光性转印材料具有临时支承体、中间层及感光性树脂层，上述感光性树脂层包含聚合物及光产酸剂，该聚合物包含具有被酸分解性基团保护的酸基的结构单元，上述感光性树脂层中所包含的上述聚合物是酸值为10mgKOH/g以下的丙烯酸树脂，上述中间层包含水溶性或碱溶性丙烯酸树脂，上述中间层与上述感光性树脂层接触
感光性材料树脂图案制造方法电路布线触摸面板

[发明专利]正型感光性转印材料及其制造方法以及电路布线的制造方法-CN201880052223.9在审
发明人：藤本进二;松田知树;石坂壮二;筱田克己 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2018-06-25 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： G03F7/11 文献下载
摘要：本发明提供一种正型感光性转印材料及其制造方法以及使用上述感光性转印材料的电路布线的制造方法。所述正型感光性转印材料在临时支承体上具有感光性树脂组合物层及紫外线吸收层，上述感光性树脂组合物层包含：聚合物A1，具有包含被酸分解性基团保护的酸基的结构单元；及光产酸剂，上述紫外线吸收层包含有机紫外线吸收剂及聚合物A2或包含具有紫外线吸收能力的聚合物A3，包含于上述紫外线吸收层的上述聚合物A2的玻璃化转变温度或上述聚合物A3的玻璃化转变温度是90℃以下。
感光性材料及其制造方法以及电路布线

[发明专利]感光性转印材料、电极保护膜、层叠体、静电电容型输入装置及触摸面板的制造方法-CN201980014044.0在审
发明人：霜山达也 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2019-02-22 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种粘性低且固化后的耐弯曲性优异的感光性转印材料。感光性转印材料具有临时支承体及感光性层，上述感光性层含有粘合剂聚合物、具有烯属不饱和基团的自由基聚合性化合物、光聚合引发剂及硫醇化合物，上述硫醇化合物的含量相对于上述感光性层的总质量为5质量％以上，相对于上述感光性层的总质量的上述自由基聚合性化合物和上述硫醇化合物的总含量MRS与相对于上述感光性层的总质量的上述粘合剂聚合物的含量MB之比的值为MRS
感光性材料电极保护膜层叠静电电容输入装置触摸面板制造方法

[发明专利]含有机硅结构聚合物、感光树脂组合物、感光树脂涂层、感光干膜、层合体和图案形成方法-CN201810899840.4有效
发明人：丸山仁;近藤和纪 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2018-08-09 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明为含有机硅结构的聚合物、感光性树脂组合物、感光性树脂涂层、感光性干膜、层合体和图案形成方法。将包含分子中具有交联性基团或易交联反应的反应位点的含有机硅结构的聚合物的感光性树脂组合物涂布至基底上，以形成具有改进的基底粘合性、图案形成能力、耐开裂性、耐热性和作为保护膜的可靠性的感光性树脂涂层。
有机硅结构聚合物感光树脂组合涂层合体图案形成方法

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