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[发明专利]一种V型折叠悬臂梁结构的微颗粒称重传感器-CN201210467977.5无效
发明人：高仁璟;赵剑;张延康;朱传月;张莹;魏岩 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2012-11-18 - 公布日： 2013-03-06 - 主分类号： G01G3/16 文献下载
摘要：一种V型折叠悬臂梁结构的微颗粒称重传感器，属于精密颗粒质量探测传感器领域。该微质量传感器包括固定块、V型折叠悬臂梁结构和压电薄膜，其特征在于连接于固定块的V型折叠悬臂梁的上表面连接压电薄膜，以沿轴线布置的单个或多个V型折槽的顶部作为主探测点，并通过压电薄膜的数据输出来准确计算探测物的质量V型折叠悬臂梁的引入，有效改变了传感器的刚度和有效质量分布状态，大幅度提高了传感器的探测灵敏度。具体算例表明，与传统矩形截面悬臂梁结构传感器相比，灵敏度可提升达227%。该微质量传感器具有结构简单、被测物定位准确、和灵敏度高等特点，因而可广泛用于原子、微小颗粒、环境灰尘及细菌或病毒等微生物细胞的探测。
一种折叠悬臂梁结构颗粒称重传感器

[发明专利]光读出式焦平面阵列及其制备方法-CN201410032762.X在审
发明人：于晓梅;文永正;马蔚;王舒阳 -专利权人：北京大学
申请日： 2014-01-22 - 公布日： 2015-07-22 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本发明提供的太赫兹与全波段红外焦平面阵列利用双材料微悬臂梁作为焦平面阵列的像元，采用表面牺牲层工艺制备，光学技术读出焦平面阵列的响应信号。每个双材料微悬臂梁由吸收体、形变支腿、热隔离支腿、反射镜面和锚点组成，双材料微悬臂梁通过锚点固支在衬底上。在进行探测成像时，太赫兹与全波段红外电磁波聚焦到双材料微悬臂梁上，吸收体将吸收的电磁波能量转换成热能，形变支腿使微双材料微悬臂梁发生偏转，光学检测系统通过透明衬底读出双材料微悬臂梁阵列的形变量和分布，最终通过数据图像处理模块以光强图像的方式将被测物体的太赫兹与全波段红外图像显示出来
读出平面阵列及其制备方法

[发明专利]微机械系统中带有热驱动粘附消除机构的微悬臂梁结构-CN201310565297.1有效
发明人：唐洁影;王磊;蒋明霞 -专利权人：东南大学
申请日： 2013-11-14 - 公布日： 2014-02-05 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微机械系统中带有热驱动粘附消除机构的微悬臂梁结构，包括衬底、通过锚区连接在衬底上的悬臂梁、用于静电激励的下拉电极、衬底接触电极和粘附消除机构。所述粘附消除机构位于悬臂梁的末端，由一根与悬臂梁末端垂直连接的直梁、与该直梁两端垂直连接的横梁、以及与所述横梁两端分别垂直连接的纵向臂构成。该粘附消除机构通过热驱动方式消除悬臂梁在加工和使用中的粘附现象。本发明还公开了粘附消除机构的具体工作方式，方便可行。
微机系统带有驱动粘附消除机构悬臂梁结构

[发明专利]一种基于悬臂梁隧道电流的细颗粒物质量浓度检测方法-CN201910149158.8在审
发明人：许锋;王焕钦;陈大仁;孔德义;虞发军 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2019-02-28 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： G01N15/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于悬臂梁隧道电流的细颗粒物质量浓度检测方法，包括：体积为Qt升的气体样本经过静态悬臂梁前端气路的一段金属气路；上述气体样本中带电细颗粒物在静态悬臂梁自由端上表面的采样区上沉积；静态悬臂梁发生形变，检测隧道电流的大小；所述隧道电流是指流经静态悬臂梁自由端下表面的隧道电流表面上的电流，在隧道电流表面下方设置一个隧尖探针，隧尖探针与隧道电流表面的间距为x；计算出静态悬臂梁上吸附的细颗粒物的质量m，根据多依奇捕获效率本发明中静态悬臂梁的微变形量是通过隧道电流进行检测的，且微型静态悬臂梁均匀布线荷载较小，检测灵敏度较高。
静态悬臂隧道电流细颗粒物质量浓度检测气体样本电流表悬臂梁自由端气路隧尖探针隧道检测灵敏度荷载采样区上表面微变形下表面形变检测布线沉积带电吸附捕获金属

[发明专利]悬臂式微阀以及采用该阀的喷墨打印机-CN201480039361.5有效
发明人：威廉·A·巴斯柯克;史蒂文·E·福莱格;查尔斯·C·哈鲁扎克;布莱恩·邓恩;保罗·C·延森;查尔斯·吉尔森;托马斯·E·金梅林;格伦·J·T·雷顿 -专利权人：马修斯资源公司
申请日： 2014-05-09 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： B41J2/175 文献下载
摘要：一种微阀，其包括孔板和悬臂梁，该孔板包括孔，该悬臂梁与孔板以间隔的关系耦接并且能够在孔被悬臂梁关闭和打开的位置之间移动。悬臂梁包括一个或多个压电层，其有助于悬臂梁响应于应用在一个或多个压电层上的一个或多个电信号而弯曲。响应于一个或多个电信号在一个或多个压电层上各自的应用和终止，悬臂梁要么从与孔板隔开的初始位置朝向孔板移动，以及返回到与孔板隔开的初始位置；要么从邻近孔板的初始位置远离孔板移动，以及返回到邻近孔板的初始位置
孔板悬臂梁压电层隔开移动邻近喷墨打印机返回响应微阀悬臂耦接应用

[实用新型]一种基于微悬臂梁的酒驾测量仪-CN201720444622.2有效
发明人：胡凌波;吕成功;刘鑫 -专利权人：天津工业大学
申请日： 2017-04-21 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于微悬臂梁的酒驾测量仪，主要由激光器、微悬臂梁、平面镜、光电位置敏感探测器、数据采集卡、单片机、吹嘴、吹气口袋、报警器构成，激光器2发射的激光束照射到平面镜3上，经平面镜3反射到微悬臂梁4尖端，当驾驶人呼出的气体通过微悬臂梁4时，微悬臂梁4会发生形变产生位移信息，该位移信息被光电位置敏感探测器9接收，数据采集卡10采集光电位置敏感探测器9的输出信号并经处理后传输给单片机11，单片机11
微悬臂梁报警器敏感探测器光电位置单片机平面镜吹嘴本实用新型数据采集卡位移信息激光器测量仪吹气酒驾报警激光束照射可拆卸的气体通过输出信号信号传输整体装置灵敏度形变呼出反射采集驾驶传输发射

[实用新型]一种新型微悬臂梁检测装置-CN202022220310.8有效
发明人：郝秀春;李继丰 -专利权人：江苏昊微纳科技服务有限公司
申请日： 2020-10-09 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型微悬臂梁检测装置，解决了现有的微悬臂梁在检测时一般无法较好的对其两面进行较好的检测，同时宽度不同的微悬臂梁检测不便的问题，其包括第一传送带，所述第一传送带顶端的中部安装有第一光学检测机构第一传送带和第二传送带一端的底部安装有横板，横板的顶端通过螺栓安装有安装块，安装块一端的顶部设置有支撑板，支撑板的顶端设置有防护盘，防护盘的中部插接有转轴，转轴的中部套接有转筒，转轴的一端安装有伺服电机，本实用新型结构新颖，构思巧妙，便于微悬臂梁双面的检测，同时可用于不同宽度的微悬臂梁进行翻转，有利于使用。
一种新型悬臂梁检测装置

[发明专利]微波光子滤波器-CN202111454828.0有效
发明人：徐路;王磊;肖希 -专利权人：武汉光谷信息光电子创新中心有限公司;武汉邮电科学研究院有限公司
申请日： 2021-12-01 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G02B6/122 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种微波光子滤波器，包括：基底；微环滤波模块，位于所述基底上，包括悬臂梁波导；其中，所述微环滤波模块为环形；所述悬臂梁波导为脊形多模波导，用于对微波信号进行滤波。
微波光子滤波器

[发明专利]非制冷红外焦平面阵列及其制备方法与应用-CN200910090545.5无效
发明人：于晓梅;李博翰 -专利权人：北京大学
申请日： 2009-08-19 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：该红外焦平面阵列，由微悬臂梁像元阵列、支撑所述微悬臂梁像元阵列的衬底和位于所述衬底上的电路组成；其中，所述微悬臂梁像元阵列由红外吸收面、悬臂梁支腿、MOSFET器件、输出引线和支撑锚点组成。
制冷红外平面阵列及其制备方法应用

[发明专利]一种基于双层嵌套法的挠曲电悬臂梁结构可靠性优化方法-CN202310866331.2在审
发明人：刘骁骁;徐阳冰;白凌瑋;韩诚;张峰 -专利权人：西安理工大学
申请日： 2023-07-14 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于双层嵌套法的挠曲电悬臂梁结构可靠性优化方法，属于挠曲电效应技术领域。包括以下步骤：建立多态挠曲电悬臂梁的确定性优化设计模型；基于双层嵌套法建立参数不确定性多态挠曲电悬臂梁的可靠性优化设计模型；基于双层嵌套法对参数不确定性多态挠曲电悬臂梁进行可靠性优化；基于蒙特卡罗模拟抽样法求解可靠性优化约束条件的均值发明提供的一种基于双层嵌套法的挠曲电悬臂梁结构可靠性优化方法，能够保证结构在满足指定可靠度要求的前提下使结构性能最优，即最优的挠曲电悬臂梁结构尺寸可以使挠曲电效应更为显著，使其在微纳米器件研制上更具潜力，在下一代微纳米机电系统设备中有着更为广阔的应用前景。
一种基于双层嵌套挠曲悬臂梁结构可靠性优化方法

[发明专利]一种低温度交叉灵敏度的微悬臂梁谐振器-CN200610050514.3无效
发明人：韩建强;李青;李昕欣;王跃林;韩安太;孙延伟 -专利权人：中国计量学院;中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2006-04-26 - 公布日： 2007-10-31 - 主分类号： G12B21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有较低谐振频率温度系数的微悬臂梁谐振器。该谐振器采用二氧化硅/硅或二氧化硅/氮化硅双层结构实现悬臂梁谐振频率的温度自补偿。通过理论计算和实验验证表明硅/二氧化硅双层悬臂梁谐振器的硅和二氧化硅薄膜最优厚度之比是1.1～1.7，二氧化硅/氮化硅双层悬臂梁谐振器的二氧化硅薄膜和氮化硅薄膜的最优厚度之比是0.9～1.2，其中的二氧化硅由热氧化法生长本发明所公开的低温度交叉灵敏度的微悬臂梁谐振器具有温度补偿方法简便易行，结构简单，成本低廉、不需要引入额外的温度传感器、参比悬臂梁和补偿电路等优点。
一种温度交叉灵敏度悬臂梁谐振器

[发明专利]纳米悬臂梁及其制备工艺-CN202211611871.8在审
发明人：崔开宇;黄翊东;张巍;冯雪;刘仿 -专利权人：清华大学
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及芯片，具体涉及一种纳米悬臂梁及其制备工艺。纳米悬臂梁的制备工艺，采用湿法刻蚀工艺，包括：将完成湿法刻蚀的芯片放入去离子水中停止反应；从去离子水中取出所述芯片后，立即放入第一溶剂中进行过渡；然后将所述芯片晾干；即可得到纳米悬臂梁；所述第一溶剂选自无水乙醇本发明工艺避免了悬臂梁结构的坍塌，成功实现光声晶体微腔的制备。
纳米悬臂梁及其制备工艺

[实用新型]带自支撑框架的全镂空结构光调制热成像焦平面阵列-CN200920311648.5有效
发明人：焦斌斌;陈大鹏;欧毅;叶甜春 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2009-09-28 - 公布日： 2010-06-23 - 主分类号： G01J5/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及用于获取并转换红外信号的传感元件，尤其涉及一种带自支撑框架的全镂空结构光调制热成像焦平面阵列，本实用新型由外框和内框构成，该内框为网格状，设置在所述的外框内，形成多个镂空单元；每个镂空单元内设置一个微悬臂梁单元，该微悬臂梁单元与构成镂空结构的内框或外框相连接，所有的微悬臂梁单元与内框采用相同的材料且一体成型。
支撑框架镂空结构调制成像平面阵列

[发明专利]用于微纳尺度物质投送及提取的中空悬臂探针-CN201711111195.7有效
发明人：宋杰;齐岱宗 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2017-11-13 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：一种用于微纳尺度物质投送及提取的中空悬臂探针，中空悬臂探针，为扁立方体结构，由漏斗状的探针和管状的悬臂梁组成，其中：悬臂梁与探针内部中空且相连通以输送物质，即以悬臂梁的一端为始端、探针的针尖开口一端为末端本发明以MEMS技术对传统悬臂梁与探针施以恰当改造，则可取得具有物质投送及提取功能的新结构，即将带有输送通道的悬臂梁与探针的组合结构“中空悬臂探针”。
用于尺度物质投送提取中空悬臂探针

[发明专利]一种压电式微镜的结构及制备方法-CN202010337452.4在审
发明人：黄向向;杨敏;道格拉斯·雷·斯巴克斯;关健;孙斯佳 -专利权人：罕王微电子（辽宁）有限公司
申请日： 2020-04-26 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：一种压电式微镜的结构，包括衬底晶圆，反射镜金属表面，悬臂梁结构，金属连接线，压电薄膜，盖板晶圆，键合界面，吸气剂盒；衬底晶圆作为微镜的支撑与结构层，金属连接线为薄膜状连接线，压电薄膜在悬臂梁结构上；一种压电式微镜的结构的制备方法，衬底晶圆作为微镜的支撑与结构层，在晶圆键合后形成空腔；利用物理气相沉积计划，光刻技术、刻蚀或剥离技术、剖光技术制作微镜的金属反射镜面；压电薄膜利用物理气相沉积或化学气相沉积技术、光刻技术、刻蚀技术在悬臂梁上制成本发明的优点：加工简单，采用悬臂梁结构，悬臂梁结构上沉积压电材料和利用金属表面作为反射镜，可封装一个或多组排列的镜面，具有光学开关作用及较高的偏转角度，位移控制精确。
一种压电式微结构制备方法