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[发明专利]基于电场与飞秒激光耦合作用微悬臂梁探针的成型方法-CN202110534071.X在审
发明人：陈超;黄日鹏;朱伟华;李子烨;吴正扬;张俐楠 -专利权人：浙江工商大学
申请日： 2021-05-17 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： G01Q60/38 文献下载
摘要：本发明公开了基于电场与飞秒激光耦合作用微悬臂梁探针的成型方法，按如下步骤：步骤一，将一片尺寸在微纳米范围内的硅片置于高精度显微镜下；步骤二，将硅片的中部固定，调节飞秒激光性能参数；在硅片的其中一侧进行探针成型；步骤三，进行飞秒激光照射硅片的同时，在硅片左右两侧施加水平电场；步骤四，电场与飞秒激光耦合作用一段时间后，成型出微悬臂梁探针。本发明利用电场与飞秒激光耦合作用，在飞秒激光照射硅悬臂梁表面的同时，于硅悬臂梁的上下表面施加一定强度的电场来提高原子诱导力，使得成型出的探针尺寸精度大大提高。
基于电场激光耦合作用悬臂梁探针成型方法

[发明专利]一种水泥石微观悬臂梁疲劳性能的测试方法-CN202011224167.8有效
发明人：张洪智;姜能栋;管延华;左志武;葛智;高发亮;张宁;羊勇位;段龙飞;王林;卜令来;刘星言;陈志旻 -专利权人：山东大学;山东高速集团有限公司
申请日： 2020-11-05 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： G01N3/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种水泥石微观悬臂梁疲劳性能的测试方法，属于土木工程领域，包括：经浇筑脱模、切薄、抛光打磨、切割、清洗制备得到待测试件，待测试件为水泥石的长方体微悬臂梁；将待测试件垂直固定在载物台上，采用纳米压痕仪的压头对准待测试件的自由端，进行疲劳性能测试；每个长方体微悬臂梁进行一定次数的疲劳循环加载，待加载达到规定循环次数后，采用静态加载将长方体微悬臂梁加载至破坏；纳米压痕仪记录疲劳加载的载荷‑位移曲线。
一种水泥石微观悬臂梁疲劳性能测试方法

[发明专利]一种多芯光纤端面多参量传感器及其制备方法-CN202210654277.0在审
发明人：肖力敏;熊聪;王草源 -专利权人：复旦大学
申请日： 2022-06-10 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G01D5/353 文献下载
摘要：本发明包括：具有多个纤芯的多芯光纤；位于多芯光纤端面的多终端微悬臂梁，通过飞秒激光双光子聚合技术在多芯光纤端面打印得到；位于微悬臂梁多个终端上表面的功能性材料，通过磁控溅射镀膜技术及微操作手涂覆工艺修饰于微悬臂梁上表面本发明提出的多芯光纤端面多参量传感器及其制备方法，可以选择对不同物理量敏感的功能性材料，使各微悬臂梁终端对不同物理量具备单一选择性响应，实现对多物理量的同时测量，具有小尺寸、灵活设计、高灵敏度的特点，有效解决复杂环境下对多参量测量的难题
一种光纤端面参量传感器及其制备方法

[实用新型]原子力显微镜-CN202122405627.3有效
发明人：吴森 -专利权人：苏州知锐技术有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种原子力显微镜，包括：光杠杆检测模块，光杠杆检测模块包括激光器、光纤结构、准直镜、反射镜和光电探测器组件；扫描器模块，扫描器模块包括会聚透镜、反射面、微悬臂梁探针和扫描器组件，会聚透镜、反射面和微悬臂梁探针均设置在扫描器组件上；激光器发出的光通过光纤结构进行非相干处理进入准直镜进入会聚透镜，通过会聚透镜的光被反射面反射至探针的微悬臂梁上，微悬臂梁反射的光经反射面返回会聚透镜，然后再通过反射镜进入光电探测器组件
原子显微镜

[实用新型]原子力显微镜-CN202122405677.1有效
发明人：吴森 -专利权人：苏州知锐技术有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种原子力显微镜，包括：光杠杆检测模块，光杠杆检测模块包括非相干光源、准直镜、反射镜和光电探测器组件；扫描器模块，扫描器模块包括会聚透镜、反射面、微悬臂梁探针和扫描器组件，会聚透镜、反射面和微悬臂梁探针均设置在扫描器组件上；非相干光源发出的光通过准直镜进入会聚透镜，通过会聚透镜的光被反射面反射至探针的微悬臂梁上，微悬臂梁反射光经反射面返回会聚透镜，然后再通过反射镜进入光电探测器组件。
原子显微镜

[发明专利]耐高温石油井下动态压力传感器-CN03134448.8无效
发明人：赵玉龙;蒋庄德;赵立波 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2003-07-31 - 公布日： 2004-03-24 - 主分类号： G01L9/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种压力传感器，特别是一种在油井井下使用的耐高温微动压力或微流量传感器，由弹性元件[2]、主保护盖板[3]、次保护盖板[7]和SOI硅微固态压阻芯片[5]及连接螺钉[8]组成，弹性元件和主保护盖板、次保护盖板通过螺钉连接在一起，弹性元件设计为悬臂梁形式，装有SOI硅微固态压阻芯片的悬臂梁上部安装在保护盖板内，通过保护盖板并悬在保护盖板外部的悬臂梁的下部通入具有流体的管道内。本发明的硅微固态压阻芯片采用SOI技术制造，具有耐高温、测量精度高的效果；通过改变悬臂梁的长、宽和厚度，可解决井下微压力或微流量的测量问题，该传感器动态特性好、耐高温并具有测量精度高、性能稳定等特点，适宜在高温
耐高温石油井下动态压力传感器

[发明专利]一种发动机润滑油质量监测装置及方法-CN202210922273.6在审
发明人：吴佩萱;何昌;吴裕昶;张克维;王晗 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2022-08-02 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： G01N11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种发动机润滑油质量监测装置及方法，包括检测处理电路、激励采集单元和磁致伸缩悬臂梁，激励线圈设在磁致伸缩悬臂梁的上方，磁致伸缩悬臂梁的底部置于润滑油中，激励线圈用于与磁致伸缩悬臂梁形成互感耦合并接收磁致伸缩悬臂梁的振动信号，检测处理电路用于放大和微处理振动信号并计算得到润滑油的黏度。采用激励采集单元和磁致伸缩悬臂梁对润滑油的黏度进行监测，通过激励采集单元在发出信号的同时接收信号，进而得到磁致伸缩悬臂梁的振动信号并进行处理，即可计算出润滑油的黏度，实现发动机润滑油的质量准确的监测，这样就可以适时的更换润滑油提高发动机的性能并提高汽车的寿命
一种发动机润滑油质量监测装置方法

[发明专利]基于二氧化硅薄膜的悬臂梁式点样针尖的集成制造方法-CN200510028451.7无效
发明人：丁桂甫;姚锦元 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2005-08-04 - 公布日： 2006-02-08 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：一种基于二氧化硅薄膜的悬臂梁式点样针尖的集成制造方法，首先在双面抛光的硅基体表面，通过热氧化生长一层二氧化硅薄膜，然后两次通过光刻胶掩膜反应离子刻蚀工艺，在氧化膜上开出储液槽窗口，形成液体导引通道，并形成悬臂梁和针尖精细结构图案，然后在硅片的背面通过掩膜化学刻蚀开出背刻蚀单晶硅释放悬臂梁的窗口，采用KOH溶液各向异性刻蚀，去掉悬臂梁下面的硅基体，释放已经微加工成型的二氧化硅悬臂梁针尖，形成了透明的二氧化硅悬臂梁点样针尖。本发明以热氧化二氧化硅薄膜取代一般的单晶硅膜，作为结构材料用于制作悬臂梁式点样针尖，不但能够显著提高针尖和流体通道的亲水性，完全没有内应力问题，而且集成制造流程更加方便高效。
基于二氧化硅薄膜悬臂梁式点样针尖集成制造方法

[发明专利]三维微触觉力传感器的标定方法-CN200910068883.9有效
发明人：栗大超;王和牛;傅星;徐可欣;胡小唐 -专利权人：天津大学
申请日： 2009-05-15 - 公布日： 2009-10-21 - 主分类号： G01L25/00 文献下载
摘要：一种三维微触觉力传感器的标定方法，采用悬臂梁弯曲变形原理获得三维微触觉力传感器标定所需的微小力信号；测量悬臂梁的弹性系数；基于已知弹性系数的悬臂梁，建立三维微触觉力传感器的标定系统，通过对传感器施加不同大小的作用力，测量标定系统的输入-输出特性系数；测量三维微触觉力传感器的测杆位移特性；根据测出的悬臂梁的弹性系数、标定系统的输入-输出特性系数和传感器的测杆位移特性系数，建立数学模型，获得传感器的输入-输出特性系数；根据传感器的零点输出电压值及传感器的输入-输出特性系数，建立传感器的输入-输出特性方程，完成三维微触觉力传感器的标定。本发明可以实现三维微触觉力传感器输出特性的标定，精度高、可靠，重复性好。
三维触觉传感器标定方法

[发明专利]一种转盘式微波功率检测系统-CN202111312297.1在审
发明人：王德波;马骄;李超 -专利权人：张家港芯微感半导体技术有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： G01R21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种转盘式微波功率检测系统，包括：衬底，表面安装有信号线，所述信号线的顶部设置有第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁，所述第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁的一端固定连接有衬底，测试电极，安装在衬底的表面该转盘式微波功率检测系统，第二悬臂梁和第三悬臂梁下拉的过程中，测试电极与第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁之间的电容会发生变化，从而工作人员通过测量电容量的变化即可更加便捷的测量信号功率的幅值，通过第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁不同比例的长宽比例的不同，使得第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁谐振频率不同，从而可以检测更宽的微波信号。
一种转盘式微功率检测系统

[发明专利]一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器-CN201210303612.9在审
发明人：高超群;焦斌斌;刘瑞文;尚海平;陈大鹏;叶甜春 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2012-08-23 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： G01J5/20 文献下载
摘要：发明实施例提供了一种非制冷红外焦平面阵列探测器，包括：透明衬底、具有高热导系数的衬底传热结构和微悬臂梁单元，其中，所述微悬臂梁单元以非嵌套的方式通过所述衬底传热结构平铺于所述透明衬底上；所述微悬臂梁单元包括热形变结构另外，由于该探测器所采用的透明衬底，无需将微悬臂梁单元下方的衬底掏空，降低了工艺复杂度。
一种制冷红外成像平面阵列探测器

[发明专利]一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器-CN201210303615.2在审
发明人：高超群;焦斌斌;刘瑞文;尚海平;陈大鹏;叶甜春 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2012-08-23 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：发明实施例提供了一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器，包括：透明衬底、具有高热导系数的衬底传热结构和微悬臂梁单元，其中，所述微悬臂梁单元以嵌套的方式通过所述衬底传热结构平铺于所述透明衬底上；所述微悬臂梁单元包括热形变结构另外，由于该探测器所采用的透明衬底，无需将微悬臂梁单元下方的衬底掏空，降低了工艺复杂度。
一种制冷红外成像平面阵列探测器

[发明专利]颗粒物计数器-CN201710284119.X在审
发明人：陈龙飞;李春安;董香茗;董烨 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2017-04-26 - 公布日： 2017-09-08 - 主分类号： G01N15/10 文献下载
摘要：本发明提供一种颗粒物计数器，包括进气管、粒径筛分器、微悬臂梁质敏传感器和控制单元，其中，粒径筛分器设置在进气管上，进气管的一端与微悬臂梁质敏传感器的内腔连通，微悬臂梁质敏传感器与控制单元电连接。本发明提供的颗粒物计数器，通过粒径筛分器筛分出待测气体中的纳米级颗粒物，然后通过微悬臂梁质敏传感器吸附筛分出的颗粒物，进而在吸附的颗粒物的作用下产生频移量，并将频移量转化为电信号发送给控制单元，再通过控制单元对电信号进行处理确定出待测气体中的颗粒物的质量
颗粒计数器

[发明专利]一种应用于薄膜与透明基底之间的粘附特性测量方法-CN201810024657.X在审
发明人：傅星;齐慧;宋云鹏;吴森;胡小唐 -专利权人：天津大学
申请日： 2018-01-11 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： G01N19/04 文献下载
摘要：一种应用于薄膜与透明基底之间的粘附特性测量方法，是使用测量系统以微悬臂梁与显微干涉技术组合的方法实现原位高精度测量，对微悬臂梁弹性系数和显微干涉系统进行标定；由显微干涉系统观测并定位被测薄膜样品脱粘区域；由微悬臂梁的力曲线测量被测薄膜样品的塑性功，得到界面脱粘能；由微悬臂梁Z向位移测量被测薄膜样品的脱粘区域顶点的高度，并通过显微干涉系统测量的变形值对脱粘区域顶点的高度进行补偿；提高了薄膜与基底之间的粘附特性的测量精度
粘附特性基底薄膜测量微悬臂梁脱粘显微干涉系统薄膜样品高精度测量区域顶点透明弹性系数界面能量使用测量位移测量显微干涉力曲线释放率塑性功标定应用变形观测保证

[发明专利]一种基于微悬臂梁的检测杀虫晶体蛋白Cry1Ab的方法-CN201210146515.3有效
发明人：吴骊珠;彭荣鹏;陈彬;佟振合 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2012-05-11 - 公布日： 2012-11-14 - 主分类号： G01N33/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于微悬臂梁的检测杀虫晶体蛋白Cry1Ab的方法。本发明以11-巯基十一烷酸、6-巯基己酸或3-巯基丙酸作为巯基化试剂修饰到微悬臂梁的金膜上，以1-乙基-(3-二甲基氨基丙基)碳酰二亚胺盐酸盐（EDC·HCl）和N-羟基琥珀酰亚胺（NHS）活化巯基化试剂的羧基，使之和杀虫晶体蛋白Cry1Ab抗体的氨基结合得到修饰有杀虫晶体蛋白Cry1Ab抗体的微悬臂梁。本发明将此修饰有Cry1Ab抗体的微悬臂梁用于杀虫晶体蛋白Cry1Ab的检测，取得了良好效果。
一种基于悬臂梁检测杀虫晶体蛋白 cry1ab 方法