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- [实用新型]一种新型多弧靶电磁引弧结构-CN201420695149.1有效
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郭涛;蔡云锋;杨东恒
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深圳市莱恩顿纳米技术有限公司
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2014-11-19
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2015-03-04
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C23C14/32
- 一种新型多弧靶电磁引弧结构，包括引弧针套、引弧针、活动轴、弹簧、电磁线圈、线圈座、真空法兰、密封圈；所述引弧针固定在活动轴的顶端，该活动轴末端设置在引弧针套的真空室内；所述活动轴末端连接有滑块，该活动轴末端套接有弹簧；所述引弧针套通过螺栓固定在真空法兰上，该引弧针套与真空法兰之间设有密封圈；所述引弧针套外侧套置有线圈座，该线圈座上缠绕有电磁线圈。本实用新型通过外接电路产生磁场力，对引狐针套内部的滑块产生拉力效果，使得引弧针拉近并接触靶面产生电弧。电弧产生后，断开外部电磁线圈电路，则磁场力消失，此时引弧针纵向将只受到弹簧弹力，将远离靶面。避免了引弧针与靶材的烧结，确保工作及提升使用寿命。
- 一种新型多弧靶电磁结构
- [发明专利]非转移弧等离子枪-CN201711279703.2在审
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王晶晨;钟贵全;陈珊;侯傲;郭科宏;吴道洪
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神雾科技集团股份有限公司
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2017-12-06
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2018-04-24
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H05H1/28
- 本发明公开了一种非转移弧等离子枪，非转移弧等离子枪包括壳体、阳极结构件、阴极结构件、引弧针和流体通道。阳极结构件具有引弧孔，阴极结构件与阳极结构件间隔开，引弧针可移动地设于引弧孔内，引弧针与阴极结构件接触，流体通道通过冷却水对阳极结构件和阴极结构件进行冷却。根据本发明的非转移弧等离子枪，通过在阳极结构件设置引弧孔，引弧针可以在引弧孔内移动，从而阳极结构件和阴极结构件可以通过引弧针连通点火，结构简单、操作方便。而且，流体通道可以对阳极结构件和阴极结构件进行降温冷却，防止引弧孔内的引弧针熔融，从而可以利用引弧孔内残留的引弧针堵住引弧孔，防止等离子气体从引弧孔射出，提高了非转移弧等离子枪的性能。
- 转移等离子
- [实用新型]一种电弧靶源机构-CN202120505424.9有效
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刘晗
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宁波元吉真空科技有限公司
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2021-03-09
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2021-11-09
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C23C14/32
- 本实用新型公开一种电弧靶源机构，包括靶材和引弧针，引弧针可升降地设置在靶材上。引弧针通过气缸可升降地设置在靶材上，通过气缸的设置使得在工作时，引弧针引弧针与靶材接触。还包括横杆，所述横杆的一端固定在气缸的输出轴上，另一端固定有引弧针。本实用新型结构简单，本实用新型增加了可升降引弧针，当靶材由于电镀消耗的时候，其表面会下降，则控制升降机构，使得引弧针配合靶材下降，使其始终与靶材接触，进行靶材的电镀；本实用新型增加了磁场调节装置，能够在引弧时调节阳极稳定弧源
- 一种电弧机构
- [实用新型]引弧装置-CN202221015933.4有效
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王君;闫超颖;依君;梁惠朋
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沈阳爱科斯科技有限公司
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2022-04-27
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2022-08-30
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C23C14/32
- 本申请涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是涉及一种引弧装置，引弧装置包括：引弧机构，引弧机构包括引弧针；传动机构，传动机构包括适配连接的第一传动连接件和第二传动连接件，引弧针设置于第二传动连接件；驱动装置，驱动装置与第一传动连接件连接；驱动装置驱动第一传动连接件相对第二传动连接件运动，以使引弧针发生偏转。本申请提供的引弧装置，通过驱动装置配合传动机构作业，能够使引弧针发生偏转以靠近或远离刻蚀弧靶，以便进行点火以及在点火之后撤离，从而离开工作位置以脱离弧靶，引弧针相对弧靶偏转角度大，脱离的彻底，从而避免引弧针撤离不到位影响后续镀膜进程和膜层质量
- 装置
- [实用新型]一种防雷瓷绝缘子-CN201922353080.X有效
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刘开雄
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江西省萍乡电瓷电器厂
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2019-12-24
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2020-08-21
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H01B17/38
- 本实用新型公开了一种防雷瓷绝缘子，属于绝缘子领域，防雷瓷绝缘子包括绝缘子主体、螺栓、螺母、引弧棒、引弧球、钢脚、金属块、绝缘套、避雷针装置，引弧棒的放电端设置有螺纹连接结构，引弧棒的放电端长度可调节；避雷针装置设置有螺纹连接结构，避雷针装置的伸出长度可调节。本实用新型采用引弧棒与引弧球配合使用且在绝缘子上还设置有避雷针装置，通过两种防雷装置进一步提高绝缘子的防雷功能；并且引弧棒与引弧球之间的放电间隙可以无级调节，避雷针装置上的避雷针的高度也可以进行无级调节；通过对引弧棒与引弧球之间的放电间隙以及避雷针装置上的避雷针的高度进行调节，从使得防雷瓷绝缘子对各种地域的适应性大幅提升。
- 一种防雷绝缘子
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